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纳米技术与微型机械 被引量:5
1
作者 钱碧波 潘晓弘 +2 位作者 程耀东 王正肖 刘敏 《机电工程》 CAS 1998年第1期56-58,共3页
纳米技术及微型机械被认为是21世纪的核心技术。本文介绍了微型机械的概念、加工技术、材料技术以及与其相关的一些纳米技术的应用。
关键词 纳米技术 微型机械 微型机械 超微技术
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日本的微型机械研究开发 被引量:2
2
作者 周兆英 李勇 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期85-91,共7页
日本是推进微型机械研究最为积极的国家之一,并试图在这一新的研究领域确立其领先地位。本文介绍财团法人微型机械中心,丰田中央研究所、日立机械研究所、NTT境界领域研究所等民间企业研究机构以及东京大学生产技术研究所、东北大... 日本是推进微型机械研究最为积极的国家之一,并试图在这一新的研究领域确立其领先地位。本文介绍财团法人微型机械中心,丰田中央研究所、日立机械研究所、NTT境界领域研究所等民间企业研究机构以及东京大学生产技术研究所、东北大学工学部等从事微型机械研究的现状。 展开更多
关键词 微型机械 研究开发 微致动器 研究机构 微电子机械系统 日本 微细加工技术 微型机械技术 微细电火花加工 研究室
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特种微型机械加工技术 被引量:10
3
作者 李勇 郭旻 周兆英 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2000年第3期287-291,共5页
综述微型机电系统/微型机械的三维形状加工及极限尺寸加工的研究开发现状。相对硅微细加工和LIGA工艺,不采用掩膜版的特种微细加工技术,如微细激光成型、微细电火花加工以及微细机械加工等近年来取得较大进展,在三维微小机械结... 综述微型机电系统/微型机械的三维形状加工及极限尺寸加工的研究开发现状。相对硅微细加工和LIGA工艺,不采用掩膜版的特种微细加工技术,如微细激光成型、微细电火花加工以及微细机械加工等近年来取得较大进展,在三维微小机械结构成型上有独到优势;同时扫描隧道显微加工技术的开发将微型机械向极限尺寸领域推进。微型机电系统/微型机械的长足发展有赖于融合已有先进技术和交叉学科思想的微型机械加工技术的进一步研究开发。 展开更多
关键词 微型机电系统 微型机械 微细加工 微细激光成型
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激光光刻成型法在微型机械研究中的应用 被引量:7
4
作者 沈连官 王翔 邓益民 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1995年第2期11-15,共5页
本文扼要介绍了现阶段国内外用于研制微型机械的主要方法,着重介绍了激光光刻成型法的基本原理、制作微型机械的工艺途径、技术特色及其应用前景。
关键词 微型机械 激光光刻 CAD CAM 感光树脂
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剪切变稀效应对微型机械模内组装成型流固耦合变形的影响 被引量:8
5
作者 周国发 胡舵 刘岑 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期183-186,共4页
系统研究了聚合物微型机械模内组装成型熔体的剪切变稀效应对一次成型固体微型零件的流固耦合作用效应和流固耦合变形的影响规律,并揭示了其机理。研究结果表明,二次成型熔体剪切变稀效应减小会使其熔体的充填流动与一次成型固体微型轴... 系统研究了聚合物微型机械模内组装成型熔体的剪切变稀效应对一次成型固体微型零件的流固耦合作用效应和流固耦合变形的影响规律,并揭示了其机理。研究结果表明,二次成型熔体剪切变稀效应减小会使其熔体的充填流动与一次成型固体微型轴的流固耦合作用效应增强,并使其整体温度场趋于不均匀,从而导致一次成型固体微型零件流固耦合弯曲变形和热变形增加,减小二次成型熔体剪切变稀效应可提高聚合物微型机械模内组装成型加工精度与组装配合精度。 展开更多
关键词 模内组装成型 微型机械 流固耦 数值模拟
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激光烧结金属粉末制造微型机械的研究 被引量:5
6
作者 李宝明 邱复生 +1 位作者 李涤尘 卢秉恒 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第12期1391-1393,共3页
采用激光直接烧结微细金属粉末技术制造 3维微型机械。分析了采用不同激光器进行烧结的优缺点 ,总结了多种工艺参数 ,包括激光功率密度、扫描速度、离焦量对烧结精度的影响 ,并给出部分烧结样件以及多种材料集成的扫描电镜显微照片 ,同... 采用激光直接烧结微细金属粉末技术制造 3维微型机械。分析了采用不同激光器进行烧结的优缺点 ,总结了多种工艺参数 ,包括激光功率密度、扫描速度、离焦量对烧结精度的影响 ,并给出部分烧结样件以及多种材料集成的扫描电镜显微照片 ,同时提出采用电子束烧结亚微米级粉末成形微米级 展开更多
关键词 微型机械 激光烧结 金属粉末 多种材料集成
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显微精密成像与微型机械尺寸检测技术 被引量:25
7
作者 王向军 王峰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第6期511-513,共3页
讨论了利用半导体或纳米制备技术和手段提供的物理空间晶格作为显微成像基准 ,对显微视觉成像系统的四维空间畸变进行提取、修正和实时标定 ,以实现视觉检测系统的精密数字成像 ,为微机械量、微几何量提供检测、评价和计量手段。对若干... 讨论了利用半导体或纳米制备技术和手段提供的物理空间晶格作为显微成像基准 ,对显微视觉成像系统的四维空间畸变进行提取、修正和实时标定 ,以实现视觉检测系统的精密数字成像 ,为微机械量、微几何量提供检测、评价和计量手段。对若干问题进行了详细的讨论 ,显微视觉检测是微机械量微几何量计量中最有效的方法之一 ,而精密数字成像是必须解决的问题之一。研究精密数字成像是视觉检测技术向微观检测领域发展所必须解决的科研课题。 展开更多
关键词 视觉计量 微电机械系统 纳米基准 显微精密成像 微型机械 尺寸控制
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微型机械和微机器人的发展状况 被引量:9
8
作者 蔡鹤皋 孙立宁 +1 位作者 安辉 张涛 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期38-41,共4页
微型机械和微机器人的发展状况蔡鹤皋,孙立宁,安辉,张涛(哈尔滨工业大学)0引言近年来,国外在微型机构的开发和研究方面出现一个新兴的势头,即微机械电子学,利用IC的微细加工技术,将机构、传感器、控制器等集成在一个多晶硅... 微型机械和微机器人的发展状况蔡鹤皋,孙立宁,安辉,张涛(哈尔滨工业大学)0引言近年来,国外在微型机构的开发和研究方面出现一个新兴的势头,即微机械电子学,利用IC的微细加工技术,将机构、传感器、控制器等集成在一个多晶硅片上,不仅将传统的无源机构变为有源... 展开更多
关键词 微机器人 微型机械 微型机器人系统 发展状况 微型机构 装配机器人 微动机器人 压电陶瓷驱动 机械电子学 应用领域
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抓住机遇,推动我国微型机械的快速发展 被引量:18
9
作者 王立鼎 吴一辉 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期121-122,206,共3页
阐明微型机械新型学科的内涵和广阔的应用前景。综述美、日等发达国家从事微型机械的研究与开发状况和国内微型机械的研究现状。提出了推动我国微型机械快速发展的建议。
关键词 微型机械 研究现状 发展建议
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过程参数对微型机械模内组装成型流固耦合变形影响 被引量:6
10
作者 周国发 王文光 刘岑 《塑性工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期107-112,共6页
聚合物模内组装成型,是解决聚合物微型机械成型加工技术难题的先进成型技术,其成型的微型零件的制造精度和零件组装配合精度,主要受控于二次成型熔体充填流动与固体微型零件之间的流固耦合作用。该文通过有限元数值模拟技术,研究聚合物... 聚合物模内组装成型,是解决聚合物微型机械成型加工技术难题的先进成型技术,其成型的微型零件的制造精度和零件组装配合精度,主要受控于二次成型熔体充填流动与固体微型零件之间的流固耦合作用。该文通过有限元数值模拟技术,研究聚合物微型机械模内组装二次成型过程参数,对一次成型固体微型零件的流固耦合作用效应和流固耦合变形的影响规律。研究结果表明,增加二次成型熔体注射速度,可使二次成型熔体的充填流动与一次成型固体微型轴表面间的流固耦合作用效应增强,并使一次成型微型零件整体温度场趋于均匀,从而导致一次成型固体微型零件流固耦合弯曲应力和弯曲变形增加,热应力和热变形减小;降低二次成型熔体注射速度,可提高聚合物微型机械模内组装成型的成型加工精度及组装配合的精度。 展开更多
关键词 模内组装成型 微型机械 流固耦 数值模拟
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微型机械的特点、研究现状和应用 被引量:17
11
作者 赵淳生 陈启东 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 1998年第1期8-15,共8页
简明地叙述了微型机械的特点,综述了微型机械在国内外的研究现状,强调了微型马达的研究在微型机械发展中的重要地位,列举了微型机械应用的典型实例。最后对我国在九五期间发展微型机械提出了一些建议。
关键词 微型机械 微电子机械系统 微系统 微型机器人
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微型机械的摩擦学特性及其表面润滑技术的研究 被引量:13
12
作者 上官倩芡 程先华 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期87-89,共3页
综述了微型机械的摩擦学特性,阐述了微型机械中摩擦学问题研究的重要性,分析了影响微摩擦力的关键因素。基于目前国内外对微型机械表面润滑问题的研究现状,探讨了LB膜、自组装膜和分子沉积膜各自的特点及其在微型机械表面润滑领域的应... 综述了微型机械的摩擦学特性,阐述了微型机械中摩擦学问题研究的重要性,分析了影响微摩擦力的关键因素。基于目前国内外对微型机械表面润滑问题的研究现状,探讨了LB膜、自组装膜和分子沉积膜各自的特点及其在微型机械表面润滑领域的应用进展,对它们性能的优缺点进行了比较,并提出降低微型机械的表面能是减轻微摩擦磨损的有效措施。 展开更多
关键词 微型机械 摩擦学特性 微摩擦力 润滑 LB膜 自组装膜 分子沉积膜
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聚合物微型机械模内组装成型流固耦合变形分析研究 被引量:4
13
作者 周国发 徐智迅 刘岑 《中国塑料》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期68-73,共6页
通过有限元数值模拟技术,系统研究了聚合物微型机械模内组装的二次成型聚合物熔体流变性能参数对一次成型固体微型零件的流固耦合作用效应和流固耦合变形的影响规律,并揭示了其产生机理。结果表明,随着二次成型熔体材料的零剪切黏度增加... 通过有限元数值模拟技术,系统研究了聚合物微型机械模内组装的二次成型聚合物熔体流变性能参数对一次成型固体微型零件的流固耦合作用效应和流固耦合变形的影响规律,并揭示了其产生机理。结果表明,随着二次成型熔体材料的零剪切黏度增加,使二次成型熔体的充填流动与一次成型固体微型轴表面间的流固耦合的作用效应增强,则微型轴外表面流固耦合作用压力增加,而微型轴整体温度场趋于均匀,从而导致一次成型固体微型轴流固耦合压力场的弯曲应力和弯曲变形增加,而温度场不均的热应力和热变形减小。 展开更多
关键词 模内组装成型 微型机械 流固耦合 数值模拟
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基于管道检查用微型机械驱动器试验研究 被引量:2
14
作者 王广振 季林红 温诗铸 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2003年第4期635-638,共4页
提出了一种通过电磁感应加热感应导体 ,再通过感应导体加热其周围石蜡的无导线热膨胀微型机械驱动器。电磁感应加热不仅加热速度快 ,而且可以实现驱动器与驱动源之间的无导线连接。石蜡在其熔点附近具有很大的膨胀系数 ,而且其熔点可以... 提出了一种通过电磁感应加热感应导体 ,再通过感应导体加热其周围石蜡的无导线热膨胀微型机械驱动器。电磁感应加热不仅加热速度快 ,而且可以实现驱动器与驱动源之间的无导线连接。石蜡在其熔点附近具有很大的膨胀系数 ,而且其熔点可以调节。在对 7个不同尺寸的原理性驱动器模型进行位移输出性能试验的基础上 ,制作了 4个可以实现单向运动的驱动器模型 ,并采用气冷和水冷两种冷却方式对其运动性能进行了试验研究 ,其最大平均运动速度可以达到 0 .13 9mm/s。 展开更多
关键词 微型机械 驱动器 石蜡 感应加热
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成型温度对聚合物微型机械模内组装成型流固耦合变形的影响 被引量:2
15
作者 周国发 杨先鲁 张宇 《工程塑料应用》 CAS CSCD 北大核心 2013年第2期43-47,共5页
由于聚合物模内组装成型的微型机械制造精度和组装配合精度主要受控于二次成型熔体充填流动与一次成型固体微型零件之间的流固耦合作用,因此通过有限元数值模拟,系统研究了二次成型熔体注射温度对流固耦合变形的影响,并揭示了其影响机... 由于聚合物模内组装成型的微型机械制造精度和组装配合精度主要受控于二次成型熔体充填流动与一次成型固体微型零件之间的流固耦合作用,因此通过有限元数值模拟,系统研究了二次成型熔体注射温度对流固耦合变形的影响,并揭示了其影响机理。研究结果表明,增加二次成型熔体的注射温度,可使二次成型熔体的充填流动与一次成型固体微型轴表面间的流固耦合作用效应减弱,并使一次成型固体微型轴整体温度场趋于不均匀,从而导致一次成型固体微型轴流固耦合弯曲应力和弯曲变形减小,而热应力和热变形增加。增加二次成型熔体的注射温度可减小流固耦合变形,但二次成型熔体的注射温度过大,又会导致一次成型固体微型轴表面融化,影响装配配合界面的成型质量。 展开更多
关键词 模内组装成型 微型机械 流固耦合 数值模拟
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微型机械运动副模内微组装成型热流固耦合变形模拟 被引量:4
16
作者 周国发 江先念 杨先鲁 《中国塑料》 CAS CSCD 北大核心 2015年第9期60-66,共7页
提出了一种新型规模化高效低成本聚合物微型机械系统模内微组装成型加工技术,并针对其成型过程特点,建立了描述模内微组装成型过程成型热-流-固耦合变形机理的理论模型。通过有限元数值模拟,研究了模壁温度对模内微组装成型过程的影... 提出了一种新型规模化高效低成本聚合物微型机械系统模内微组装成型加工技术,并针对其成型过程特点,建立了描述模内微组装成型过程成型热-流-固耦合变形机理的理论模型。通过有限元数值模拟,研究了模壁温度对模内微组装成型过程的影响规律。结果表明,模内微组装成型的微装配加工精度受控于热-流-固耦合压力场和不均匀温度场,且其热-流-固耦合变形随着模壁温度的升高而增大;减小模壁温度有利于提高其微装配加工精度。 展开更多
关键词 微型机械 模内微组装成型 热流固耦合
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无导线微型机械驱动器试验研究 被引量:1
17
作者 王广振 季林红 温诗铸 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第7期555-559,共5页
针对医用内窥镜驱动系统 ,提出了一种通过电磁感应加热感应导体、再通过感应导体加热其周围石蜡的无导线热膨胀微型机械驱动器。电磁感应加热不仅加热速度快 ,而且驱动器与驱动源之间无需导线连接 ,使驱动器的使用更加方便。石蜡在其熔... 针对医用内窥镜驱动系统 ,提出了一种通过电磁感应加热感应导体、再通过感应导体加热其周围石蜡的无导线热膨胀微型机械驱动器。电磁感应加热不仅加热速度快 ,而且驱动器与驱动源之间无需导线连接 ,使驱动器的使用更加方便。石蜡在其熔点附近具有很大的膨胀系数 ,而且其熔点可以调节 (所用石蜡的熔点在 3 7~ 3 9℃之间 ,适合在人体内使用 )。在对 1 0个不同尺寸的原理性驱动器模型进行位移输出性能试验的基础上 ,制作了 4个可以实现单向运动的驱动器模型 ,并对其运动性能进行了试验 ,其最大平均运动速度可以达到 0 .1 3 9mm/ 展开更多
关键词 微型机械 驱动器 石蜡 感应加热 无导线驱动
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微型机械及相关理论和技术 被引量:6
18
作者 宣明 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1994年第3期1-5,共5页
微型机械是一门新兴学科,它的发展十分迅速,本文介绍了微型机械的研究现状,相关理论和技术以及已取得的一些成果。
关键词 微型机械 技术 相关理论
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微型机械运动参数测试仪光学机械系统研究 被引量:5
19
作者 张二星 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1996年第2期48-52,共5页
微型机械运动参数的测试是微型机械研究工作的基础。本文介绍微型机械运动参数测试仪的工作原理和关键技术,并对仪器的精度进行了分析。
关键词 微型机械 动态特性 光学机械系统 运动参数
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微型齿轮、涡轮等微型机械零件的研制
20
作者 蒋庄德 李心平 +4 位作者 金涛 苑国英 陈培基 陈晓南 吴序堂 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第7期8-11,共4页
论述了对微型齿轮、微型涡轮和微型悬臂梁等微型机械零件的研制.介绍了通过计算机辅助设计,利用IC的微细加工技术。
关键词 光刻 微型机械 射频溅射 零件 齿轮 涡轮
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