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基于弱耦合谐振器的高分辨力微型电场传感器设计
1
作者
王若航
李晓南
+1 位作者
顾羽
杨鹏飞
《仪表技术与传感器》
北大核心
2025年第6期1-6,12,共7页
基于弱耦合谐振器振动模态的能量集中效应可实现传感器高灵敏检测。为满足实际应用中对电场传感器高灵敏度和高分辨力的需求,提出了一种基于弱耦合谐振器的微型电场传感器结构设计方案。传感器由封装管壳、电场引入结构、微型放电开关...
基于弱耦合谐振器振动模态的能量集中效应可实现传感器高灵敏检测。为满足实际应用中对电场传感器高灵敏度和高分辨力的需求,提出了一种基于弱耦合谐振器的微型电场传感器结构设计方案。传感器由封装管壳、电场引入结构、微型放电开关和三自由度弱耦合谐振系统组成。重点研究了电场引入结构的高灵敏设计方法,为了解决电场感应电极的静电荷积累问题,提出在敏感结构中设计微型放电开关,进一步提高电场传感器的分辨力和零点稳定性。
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关键词
MEMS
模态局部化现象
电场引入结构
微型放电开关
灵敏度
分辨力
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职称材料
题名
基于弱耦合谐振器的高分辨力微型电场传感器设计
1
作者
王若航
李晓南
顾羽
杨鹏飞
机构
北京信息科技大学理学院
北京信息科技大学
中国科学院空天信息创新研究院
出处
《仪表技术与传感器》
北大核心
2025年第6期1-6,12,共7页
基金
国家自然科学基金项目(62101054,62031025)
传感技术联合国家重点实验室开放研究基金项目(SKT2201)
+2 种基金
北京市教育委员会科学研究计划项目(KM202211232005)
北京市科技计划项目(Z231100006623012)
北京信息科技大学“勤信人才”培育计划(QXTCPB202409)。
文摘
基于弱耦合谐振器振动模态的能量集中效应可实现传感器高灵敏检测。为满足实际应用中对电场传感器高灵敏度和高分辨力的需求,提出了一种基于弱耦合谐振器的微型电场传感器结构设计方案。传感器由封装管壳、电场引入结构、微型放电开关和三自由度弱耦合谐振系统组成。重点研究了电场引入结构的高灵敏设计方法,为了解决电场感应电极的静电荷积累问题,提出在敏感结构中设计微型放电开关,进一步提高电场传感器的分辨力和零点稳定性。
关键词
MEMS
模态局部化现象
电场引入结构
微型放电开关
灵敏度
分辨力
Keywords
MEMS
mode localization phenomena
electric field introduction structure
micro discharge switch
sensitivity
resolution
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
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作者
出处
发文年
被引量
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1
基于弱耦合谐振器的高分辨力微型电场传感器设计
王若航
李晓南
顾羽
杨鹏飞
《仪表技术与传感器》
北大核心
2025
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