期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
微米／纳米技术在微惯性器件中的应用
1
作者
陈锦杜
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第S1期153-156,共4页
微型硅加速度计采用挠性结构、电容传感器和电容静电力矩器。挠性接头厚度和电容极板间隙均在微米量级。而电极表面绝缘层厚度应在纳米量级。它的结构设计和制作工艺紧密依靠细微加工技术。从需要出发，合理设计，采用新技术新工艺，发...
微型硅加速度计采用挠性结构、电容传感器和电容静电力矩器。挠性接头厚度和电容极板间隙均在微米量级。而电极表面绝缘层厚度应在纳米量级。它的结构设计和制作工艺紧密依靠细微加工技术。从需要出发，合理设计，采用新技术新工艺，发展微型惯性器件。
展开更多
关键词
微型
硅加速度计
纳米技术
微型惯性器件
电容传感器
差动电容
力矩器
摆片
电容器极板
静电力
挠性结构
在线阅读
下载PDF
职称材料
硅微振动轮式陀螺仪的研究
被引量：
6
2
作者
罗晓章
张燕娥
+1 位作者
吴本寿
周百令
《东南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
1998年第6期146-149,共4页
论述了硅微振动轮式陀螺仪的结构组成，分析了其动态过程，探讨了提高其灵敏度的途径以及影响其精度的误差来源，最后给出了测试电路和制作工艺．
关键词
硅微振动轮式陀螺仪
微型惯性器件
误差
灵敏度
测试电路
制作工艺
结构组成
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
微米／纳米技术在微惯性器件中的应用
1
作者
陈锦杜
机构
航天工业总公司十六研究所
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第S1期153-156,共4页
文摘
微型硅加速度计采用挠性结构、电容传感器和电容静电力矩器。挠性接头厚度和电容极板间隙均在微米量级。而电极表面绝缘层厚度应在纳米量级。它的结构设计和制作工艺紧密依靠细微加工技术。从需要出发，合理设计，采用新技术新工艺，发展微型惯性器件。
关键词
微型
硅加速度计
纳米技术
微型惯性器件
电容传感器
差动电容
力矩器
摆片
电容器极板
静电力
挠性结构
分类号
TB4 [一般工业技术]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
硅微振动轮式陀螺仪的研究
被引量：
6
2
作者
罗晓章
张燕娥
吴本寿
周百令
机构
东南大学仪器科学与工程系
出处
《东南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
1998年第6期146-149,共4页
基金
国防科技预研基金
文摘
论述了硅微振动轮式陀螺仪的结构组成，分析了其动态过程，探讨了提高其灵敏度的途径以及影响其精度的误差来源，最后给出了测试电路和制作工艺．
关键词
硅微振动轮式陀螺仪
微型惯性器件
误差
灵敏度
测试电路
制作工艺
结构组成
Keywords
vibrating wheel micromechanical gyro
miniature inertial instrument
error
sensitivity
分类号
U666.123 [交通运输工程—船舶及航道工程]
V241.5 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微米／纳米技术在微惯性器件中的应用
陈锦杜
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
硅微振动轮式陀螺仪的研究
罗晓章
张燕娥
吴本寿
周百令
《东南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
1998
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
