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飞秒激光加工不锈钢微型悬臂梁的工艺研究被引量：4: 1; 作者王英李玉华 +2 位作者王新林廖常锐陆培祥《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期347-350,共4页; 为了研究飞秒激光对不锈钢材料的加工工艺,采用基于飞秒激光材料烧蚀的微细加工方法,深入研究了飞秒激光高效高质量微细加工不锈钢材料的工艺条件与参量优化,并应用于微型不锈钢悬臂梁的制作。分析了激光能量密度、激光扫描速度、重复... 展开更多; 关键词激光技术飞秒激光微加工微型悬臂梁参量优化; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于微型悬臂梁的发电机制探索被引量：5: 2; 作者杜小振褚金奎 +1 位作者朴相镐张海军《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期41-43,共3页; 微机电系统(MEMS)微型化过程中,要求电源装置也必须向微型化发展.在现有微电源研究基础上,结合微型硅悬臂梁的力学分析以及压电晶体材料压电效应特性,提出一种新的压电陶瓷(PZT)微型硅悬臂梁发电装置.借助微型硅悬臂梁质量块的振动和PZ... 展开更多; 关键词微型悬臂梁压电陶瓷微能源 MEMS; 在线阅读下载PDF 职称材料

用于红外探测的微型悬臂梁的结构模拟: 3; 作者邓大卫张流强温志渝《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期233-235,共3页; 一种用MEMS微加工技术制造的微型悬臂梁已经开始应用于红外探测技术中,悬臂梁由双层材料构成,衬底由硅、氮化硅等半导体材料制作,另一层则是一种热敏金属材料薄膜.在没有红外辐射情况下,悬臂梁的两侧表面应力是平衡的,而一旦有红外辐射... 展开更多; 关键词微型悬臂梁红外探测灵敏度模拟; 在线阅读下载PDF 职称材料

低刚度高谐振频率的新型微压电悬臂梁探针的结构设计被引量：1: 4; 作者赵钢褚家如《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1348-1353,共6页; 以超高密度信息存储技术为应用背景,设计了低刚度高谐振频率的新型微压电悬臂梁探针,并安排了探针加工工艺流程.通过建立更接近真实结构的悬臂梁模型,推导出了非矩形不等截面多层材料复合悬臂梁的弹性常数和谐振频率计算公式,并算出设... 展开更多; 关键词超高密度信息存储微型压电悬臂梁结构设计刚度谐振频率; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名飞秒激光加工不锈钢微型悬臂梁的工艺研究被引量：4: 1; 作者王英李玉华王新林廖常锐陆培祥; 机构华中科技大学光电子科学与工程学院武汉光电国家实验室南华大学电气工程学院; 出处《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期347-350,共4页; 文摘为了研究飞秒激光对不锈钢材料的加工工艺,采用基于飞秒激光材料烧蚀的微细加工方法,深入研究了飞秒激光高效高质量微细加工不锈钢材料的工艺条件与参量优化,并应用于微型不锈钢悬臂梁的制作。分析了激光能量密度、激光扫描速度、重复扫描次数对加工形貌和蚀除速率的影响,制作出了高质量的微米量级的不锈钢微型悬臂梁。结果表明,飞秒激光微细加工是一种极具前途与极具柔性的微机电系统器件加工手段。; 关键词激光技术飞秒激光微加工微型悬臂梁参量优化; Keywords laser technique femtosecond laser micromachining micro-cantilever parametric optimization; 分类号 TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床] TN249 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于微型悬臂梁的发电机制探索被引量：5: 2; 作者杜小振褚金奎朴相镐张海军; 机构大连理工大学微系统研究中心; 出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期41-43,共3页; 基金国家自然科学基金资助项目(50475153) 教育部新世纪优秀人才支持项目; 文摘微机电系统(MEMS)微型化过程中,要求电源装置也必须向微型化发展.在现有微电源研究基础上,结合微型硅悬臂梁的力学分析以及压电晶体材料压电效应特性,提出一种新的压电陶瓷(PZT)微型硅悬臂梁发电装置.借助微型硅悬臂梁质量块的振动和PZT的正压电效应,实现振动机械能向电能转换.该装置结构简单、体积小、质量小,可以用MEMS集成加工工艺实现结构加工,因此与其他微型MEMS器件可以集成在一个基础上.; 关键词微型悬臂梁压电陶瓷微能源 MEMS; 分类号 TK01 [动力工程及工程热物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用于红外探测的微型悬臂梁的结构模拟: 3; 作者邓大卫张流强温志渝; 机构重庆大学; 出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期233-235,共3页; 基金国家自然科学基金资助项目(60307006); 文摘一种用MEMS微加工技术制造的微型悬臂梁已经开始应用于红外探测技术中,悬臂梁由双层材料构成,衬底由硅、氮化硅等半导体材料制作,另一层则是一种热敏金属材料薄膜.在没有红外辐射情况下,悬臂梁的两侧表面应力是平衡的,而一旦有红外辐射到一侧的热敏薄膜材料后,引发该材料膨胀,迫使微型悬臂梁发生弯曲变形.用有限元分析软件ANSYS对该悬臂梁进行模拟仿真,改变结构参数,观察灵敏度的变化情况.除灵敏度外,还给出了悬臂梁的温度场分布和应力场分布图.获得的数据证明结构参数的设计对微型悬臂梁的灵敏度至关重要.; 关键词微型悬臂梁红外探测灵敏度模拟; 分类号 TH89 [机械工程—精密仪器及机械] TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名低刚度高谐振频率的新型微压电悬臂梁探针的结构设计被引量：1: 4; 作者赵钢褚家如; 机构中国科学技术大学精密机械与精密仪器系; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1348-1353,共6页; 基金中国科学技术大学青年基金资助项目(KB0910); 文摘以超高密度信息存储技术为应用背景,设计了低刚度高谐振频率的新型微压电悬臂梁探针,并安排了探针加工工艺流程.通过建立更接近真实结构的悬臂梁模型,推导出了非矩形不等截面多层材料复合悬臂梁的弹性常数和谐振频率计算公式,并算出设计的悬臂梁探针的弹性常数和谐振频率分别为4N/m和245kHz.通过悬臂梁几何参数对力学性能影响的分析,从力学性能的角度对用于超高密度信息存储的悬臂梁探针进行了几何尺寸的优化.; 关键词超高密度信息存储微型压电悬臂梁结构设计刚度谐振频率; Keywords ultra-high-density data storage micro piezoelectric cantilever structural design stiffness resonant frequency; 分类号 TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学] O343 [理学—固体力学]; 在线阅读下载PDF 职称材料