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φ4半导体微型应变芯片设计
1
作者
叶碧涛
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1995年第1期29-31,40,共4页
本文介绍半导体微型应变芯片的设计依据,对φ4芯片进行设计计算,提出实现的工艺途径。
关键词
微型应变芯片
设计
半导体
芯片
芯片
压力传感器
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
φ4半导体微型应变芯片设计
1
作者
叶碧涛
机构
华南师范大学量电所
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1995年第1期29-31,40,共4页
文摘
本文介绍半导体微型应变芯片的设计依据,对φ4芯片进行设计计算,提出实现的工艺途径。
关键词
微型应变芯片
设计
半导体
芯片
芯片
压力传感器
Keywords
Semiconductor, Micro Diaphragm, Design.
分类号
TN43 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
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作者
出处
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1
φ4半导体微型应变芯片设计
叶碧涛
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1995
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