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闪耀角可调微型可编程光栅的优化设计与仿真模拟
被引量：
2
1
作者
李晓莹
吴焱
+2 位作者
虞益挺
刁金帅
闫治晚
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期49-53,共5页
基于体硅微加工技术,设计了一种闪耀角可调的微型可编程光栅,对该光栅进行优化设计,并理论计算不同闪耀角、入射角条件下相对光强分布,采用COMSOL有限元仿真软件模拟不同入射参量下远场相对光强分布.结果表明：设计的可编程光栅有效反...
基于体硅微加工技术,设计了一种闪耀角可调的微型可编程光栅,对该光栅进行优化设计,并理论计算不同闪耀角、入射角条件下相对光强分布,采用COMSOL有限元仿真软件模拟不同入射参量下远场相对光强分布.结果表明：设计的可编程光栅有效反射面积占光栅总面积的83.63%,比表面微加工技术设计的光栅提高8%以上,最大工作闪耀角为6.84°;当532nm波长垂直入射时,0-10°闪耀角调制范围内最大衍射效率为96.67%.
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关键词
微型可编程光栅
闪耀角可调
硅微加工
微机电系统
衍射效率
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职称材料
MEMS微型可编程光栅的研究现状(下)
被引量：
4
2
作者
虞益挺
苑伟政
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第6期1339-1344,共6页
近十几年来,微机电系统——MEMS技术作为一种使能技术,在各个领域(如机械、生物、光学、射频、能源等)得到了迅速发展,并实现了一定的产业化应用,取得了良好的经济效益。光学MEMS使光学元器件具备了体积小、重量轻、性能稳定、成本及功...
近十几年来,微机电系统——MEMS技术作为一种使能技术,在各个领域(如机械、生物、光学、射频、能源等)得到了迅速发展,并实现了一定的产业化应用,取得了良好的经济效益。光学MEMS使光学元器件具备了体积小、重量轻、性能稳定、成本及功耗低等显著优点,实现了器件中关键结构的动态可控性,这是传统技术所无法比拟的。本文将在前文的基础上,重点介绍国际上其他的科研机构在MEMS微型可编程光栅相关方面的研究情况,对于每一种光栅结构的特点、制作工艺及其面向的应用领域进行了详细说明,最后讨论了MEMS微型可编程光栅的发展趋势。
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关键词
衍射
光栅
微机电系统
微光机电系统
微型可编程光栅
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职称材料
MEMS微型可编程光栅的研究现状(上)
被引量：
1
3
作者
虞益挺
苑伟政
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第5期1109-1114,共6页
近10几年来,微机电系统——MEMS技术作为一种使能技术,在各个领域(如机械、生物、光学、射频、能源等)得到了迅速发展,并实现了一定的产业化应用,取得了良好的经济效益。光学MEMS使光学元器件具备了体积小、重量轻、性能稳定、成本及功...
近10几年来,微机电系统——MEMS技术作为一种使能技术,在各个领域(如机械、生物、光学、射频、能源等)得到了迅速发展,并实现了一定的产业化应用,取得了良好的经济效益。光学MEMS使光学元器件具备了体积小、重量轻、性能稳定、成本及功耗低等显著优点,实现了器件中关键结构的动态可控性,这是传统技术所无法比拟的。本文以MEMS微型可编程光栅为核心,介绍了它的特点及其优异性能,并重点阐述了国外已经实现商品化应用的3种MEMS微型可编程光栅的工作原理、结构特点及其典型应用。
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关键词
衍射
光栅
微机电系统
微光机电系统
微型可编程光栅
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职称材料
题名
闪耀角可调微型可编程光栅的优化设计与仿真模拟
被引量：
2
1
作者
李晓莹
吴焱
虞益挺
刁金帅
闫治晚
机构
西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室
西北工业大学陕西省微纳机电系统重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期49-53,共5页
基金
航空科学基金(No.2013ZC53036)
国家自然科学基金(No.51375400)
+2 种基金
教育部新世纪优秀人才支持计划
中央高校基本科研业务费重大项目培育基金(No.3102014JC02020504)
全国优秀博士论文作者专项资金(No.201430)资助~~
文摘
基于体硅微加工技术,设计了一种闪耀角可调的微型可编程光栅,对该光栅进行优化设计,并理论计算不同闪耀角、入射角条件下相对光强分布,采用COMSOL有限元仿真软件模拟不同入射参量下远场相对光强分布.结果表明：设计的可编程光栅有效反射面积占光栅总面积的83.63%,比表面微加工技术设计的光栅提高8%以上,最大工作闪耀角为6.84°;当532nm波长垂直入射时,0-10°闪耀角调制范围内最大衍射效率为96.67%.
关键词
微型可编程光栅
闪耀角可调
硅微加工
微机电系统
衍射效率
Keywords
Micro programmable gratigns
Tunable blazed angle
Silicon micromachining
Microelectromechanical systems
Diffraction efficiency
分类号
TN36 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
MEMS微型可编程光栅的研究现状(下)
被引量：
4
2
作者
虞益挺
苑伟政
机构
西北工业大学微/纳米系统实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第6期1339-1344,共6页
基金
教育部高等学校科技创新工程(706055)
教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET-05-0869)
+1 种基金
西安应用材料创新基金(XA-AM-200610)
西北工业大学博士论文创新基金(CX200611)资助项目
文摘
近十几年来,微机电系统——MEMS技术作为一种使能技术,在各个领域(如机械、生物、光学、射频、能源等)得到了迅速发展,并实现了一定的产业化应用,取得了良好的经济效益。光学MEMS使光学元器件具备了体积小、重量轻、性能稳定、成本及功耗低等显著优点,实现了器件中关键结构的动态可控性,这是传统技术所无法比拟的。本文将在前文的基础上,重点介绍国际上其他的科研机构在MEMS微型可编程光栅相关方面的研究情况,对于每一种光栅结构的特点、制作工艺及其面向的应用领域进行了详细说明,最后讨论了MEMS微型可编程光栅的发展趋势。
关键词
衍射
光栅
微机电系统
微光机电系统
微型可编程光栅
Keywords
diffraction gratings
MEMS
MOEMS
micro programmable gratings
分类号
TP211 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
MEMS微型可编程光栅的研究现状(上)
被引量：
1
3
作者
虞益挺
苑伟政
机构
西北工业大学微/纳米系统实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第5期1109-1114,共6页
基金
教育部高等学校科技创新工程(706055)
教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET-05-0869)
+1 种基金
西安应用材料创新基金(XA-AM-200610)
西北工业大学博士论文创新基金(CX200611)资助项目
文摘
近10几年来,微机电系统——MEMS技术作为一种使能技术,在各个领域(如机械、生物、光学、射频、能源等)得到了迅速发展,并实现了一定的产业化应用,取得了良好的经济效益。光学MEMS使光学元器件具备了体积小、重量轻、性能稳定、成本及功耗低等显著优点,实现了器件中关键结构的动态可控性,这是传统技术所无法比拟的。本文以MEMS微型可编程光栅为核心,介绍了它的特点及其优异性能,并重点阐述了国外已经实现商品化应用的3种MEMS微型可编程光栅的工作原理、结构特点及其典型应用。
关键词
衍射
光栅
微机电系统
微光机电系统
微型可编程光栅
Keywords
diffraction gratings
MEMS
MOEMS
micro programmable gratings
分类号
TP211 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
闪耀角可调微型可编程光栅的优化设计与仿真模拟
李晓莹
吴焱
虞益挺
刁金帅
闫治晚
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
2
在线阅读
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职称材料
2
MEMS微型可编程光栅的研究现状(下)
虞益挺
苑伟政
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
4
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职称材料
3
MEMS微型可编程光栅的研究现状(上)
虞益挺
苑伟政
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
1
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职称材料
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