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金属薄膜加热器的研究被引量：10: 1; 作者闫卫平朱剑波 +1 位作者马灵芝杜立群《传感技术学报》 CAS CSCD 2004年第4期615-618,共4页; 采用射频溅射方法制备了Cr和Ni-Cr(Ni:80 % ,Cr :2 0 % )金属薄膜 ,探讨了热处理温度和时间对Cr薄膜电阻温度系数和电阻率的影响。在一定直流电压条件下 ,Ni-Cr和Cr薄膜微型加热器的加热温度可达到 10 0℃ ,且升温速率皆大于 0 5 0 C/... 展开更多; 关键词微型加热器 TCR Cr和Ni-Cr薄膜 PCR生物芯片微流量传感器; 在线阅读下载PDF 职称材料

局部微型加热下液滴表面温度分布特性被引量：3: 2; 作者胡定华吴慧英吴信宇《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期3039-3045,共7页; 液滴表面温度分布直接影响液滴内部微流状况,而目前文献对液滴表面温度研究主要基于平板全局加热模式。采用MEMS集成工艺和红外热像分析手段,对基于中心局部微型加热下的液滴表面温度分布特性进行了实验研究。研究发现:局部加热液滴表... 展开更多; 关键词液滴局部加热微型加热器表面温度分布温度梯度; 在线阅读下载PDF 职称材料

NiCr薄膜微加热器在低温环境下的电学特性研究: 3; 作者吴婷婷刘景全 +3 位作者江水东徐斌郭杰杨斌《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第9期38-41,共4页; 设计了一种适用于深低温环境的微型加热器。使用AC磁控溅射技术将NiCr(80/20 at.%)合金沉积到SiO2/Si基底上,并采用微加工工艺实现薄膜图形化,作为加热器的加热元件。研究了NiCr薄膜的电学性能和晶体结构与退火条件之间的关系。实验表明... 展开更多; 关键词微型加热器 MEMS 镍铬合金深低温退火处理; 在线阅读下载PDF 职称材料

Evanohm合金的双环线型微加热器特性研究: 4; 作者仲逸飞刘景全《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第1期7-9,14,共4页; 以Evanohm合金为材料,设计了一种双环线型微加热器。使用AC磁控溅射技术在硅基底上沉积合金薄膜,并采用微机电系统(MEMS)微加工工艺实现薄膜图形化,以此作为加热器的加热元件。在常温下,研究了所制备的薄膜加热器件的加热性能与电学特性... 展开更多; 关键词微型加热器微机电系统 Evanohm合金低温; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于AIBN材料的微流体驱动用微型正压源被引量：1: 5; 作者栗大超姬永婕 +2 位作者于海霞梁文帅徐可欣《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期2245-2250,共6页; 针对本课题组早些时候研制的用于微量组织液透皮抽取的微流控芯片,研究了一种基于偶氮双异丁腈(azobi-sisobutyronitrile,AIBN)热分解产生气体的微型正压源,用于为微流控芯片中微量组织液的收集和输运提供驱动力。将AIBN固定到微型加热... 展开更多; 关键词微流控芯片微流体驱动微型正压源偶氮双异丁腈(AIBN) 微型加热器; 在线阅读下载PDF 职称材料

微尺度瞬态气泡生长及湮灭的数值模拟被引量：1: 6; 作者李帆倪明玖李骥《中国科学院大学学报（中英文）》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期31-37,共7页; 对脉冲加热过程中,微型加热器表面气泡的生长及湮灭进行三维数值模拟.通过几何重构和界面追踪的方法获取气液相界面的移动和变化,分析气泡生长过程中整个计算区域内的温度和速度分布.数值模拟结果与同等条件下的实验结果相比,气泡的生... 展开更多; 关键词气液相变微型加热器微气泡传热; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名金属薄膜加热器的研究被引量：10: 1; 作者闫卫平朱剑波马灵芝杜立群; 机构大连理工大学电子工程系大连理工大学微系统技术研究中心; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 2004年第4期615-618,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目 (6 0 174 0 34); 文摘采用射频溅射方法制备了Cr和Ni-Cr(Ni:80 % ,Cr :2 0 % )金属薄膜 ,探讨了热处理温度和时间对Cr薄膜电阻温度系数和电阻率的影响。在一定直流电压条件下 ,Ni-Cr和Cr薄膜微型加热器的加热温度可达到 10 0℃ ,且升温速率皆大于 0 5 0 C/s。通过测量微加热器的电阻温度曲线 ,表明所制备的金属薄膜式微型加热器具有较好的稳定性和重复性 ,能够满足PCR生物芯片和硅基热分布式微流量传感器的要求。; 关键词微型加热器 TCR Cr和Ni-Cr薄膜 PCR生物芯片微流量传感器; Keywords micro heater TCR Cr and Ni-Cr thin film PCR biochip micro-fluidic sensor; 分类号 TN605 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名局部微型加热下液滴表面温度分布特性被引量：3: 2; 作者胡定华吴慧英吴信宇; 机构上海交通大学机械与动力工程学院; 出处《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期3039-3045,共7页; 基金国家杰出青年科学基金项目(50925624) 国家重点基础研究发展计划项目(2012CB720404) 上海市曙光计划跟踪项目(08GG05)~~; 文摘液滴表面温度分布直接影响液滴内部微流状况,而目前文献对液滴表面温度研究主要基于平板全局加热模式。采用MEMS集成工艺和红外热像分析手段,对基于中心局部微型加热下的液滴表面温度分布特性进行了实验研究。研究发现:局部加热液滴表面温度分布与平板全局加热液滴表面温度分布不同,呈现顶端温度高、边缘温度低的凸形温度分布规律;随着加热功率增加,液滴表面温度和温度梯度都会随之增加,而当加热功率增加到一定值后,液滴表面温度增幅趋于一致,表面温度梯度趋于稳定分布状态。同时对液滴局部沸腾时气泡破裂前后液滴表面温度分布进行了研究。研究结果有助于理解和控制液滴微流分布。; 关键词液滴局部加热微型加热器表面温度分布温度梯度; Keywords droplet local heating microheater surface temperature distribution temperature gradient; 分类号 TK124 [动力工程及工程热物理—工程热物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名NiCr薄膜微加热器在低温环境下的电学特性研究: 3; 作者吴婷婷刘景全江水东徐斌郭杰杨斌; 机构上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第9期38-41,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(51035005 61076107) +2 种基金 11JC1405700) 无锡研究院交大专项资金资助项目(2011JDZX017); 文摘设计了一种适用于深低温环境的微型加热器。使用AC磁控溅射技术将NiCr(80/20 at.%)合金沉积到SiO2/Si基底上,并采用微加工工艺实现薄膜图形化,作为加热器的加热元件。研究了NiCr薄膜的电学性能和晶体结构与退火条件之间的关系。实验表明:在450℃氮气环境下退火30min,可以获得深低温性能优良的NiCr加热器。该加热器在20K时的电阻温度系数(TCR)为80.80×10-6/K。X射线衍射(XRD)分析显示NiCr薄膜在450℃氮气环境下退火后,薄膜的结晶度增大,因此,退火条件对薄膜的电阻率和电阻温度系数有较大的影响。; 关键词微型加热器 MEMS 镍铬合金深低温退火处理; Keywords micro-heater MEMS NiCr alloy cryogenic annealing treatment; 分类号 TN42 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名Evanohm合金的双环线型微加热器特性研究: 4; 作者仲逸飞刘景全; 机构上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第1期7-9,14,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(61728402)。; 文摘以Evanohm合金为材料,设计了一种双环线型微加热器。使用AC磁控溅射技术在硅基底上沉积合金薄膜,并采用微机电系统(MEMS)微加工工艺实现薄膜图形化,以此作为加热器的加热元件。在常温下,研究了所制备的薄膜加热器件的加热性能与电学特性,并在深低温下进一步测试了其电学性能。研究结果表明:此种微型加热器电阻值稳定。在[5,300]K的温度区间内,加热器的电阻值变化不超过2%;在40 K的温度,电阻值达到Kondo最小值;在[35,55]K的温度区间,温度系数降至8.9×10^(-6) K^(-1)。器件可在较宽低温区保持良好的电阻值稳定性,具有在低温环境中应用的潜力。; 关键词微型加热器微机电系统 Evanohm合金低温; Keywords micro-heater micro-electro-mechanical system(MEMS) Evanohm alloy low temperature; 分类号 TN42 [电子电信—微电子学与固体电子学] TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于AIBN材料的微流体驱动用微型正压源被引量：1: 5; 作者栗大超姬永婕于海霞梁文帅徐可欣; 机构天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期2245-2250,共6页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.61176107) 天津市科技支撑计划重点项目(No.11ZCKFSY01500) 国家公益性行业科研专项重点项目(No.GYHY2009060371); 文摘针对本课题组早些时候研制的用于微量组织液透皮抽取的微流控芯片,研究了一种基于偶氮双异丁腈(azobi-sisobutyronitrile,AIBN)热分解产生气体的微型正压源,用于为微流控芯片中微量组织液的收集和输运提供驱动力。将AIBN固定到微型加热器上,微型加热器加热AIBN至70℃即可产生一定的正压力。实验结果表明,设计的微型正压源压力可控、易于制造、体积小,8.7mg的AIBN在900mA加热电流下可产生182kPa的压力,满足对微流控芯片中组织液透皮抽取所需的驱动力。; 关键词微流控芯片微流体驱动微型正压源偶氮双异丁腈(AIBN) 微型加热器; Keywords Key words： microfluidic chip driving micro fluidies micro positive pressure generator azobisisobutyronitrile （AIBN） micro-heater; 分类号 O35 [理学—流体力学] TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微尺度瞬态气泡生长及湮灭的数值模拟被引量：1: 6; 作者李帆倪明玖李骥; 机构中国科学院大学物理学院; 出处《中国科学院大学学报（中英文）》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期31-37,共7页; 基金国家自然科学基金(51176202)资助; 文摘对脉冲加热过程中,微型加热器表面气泡的生长及湮灭进行三维数值模拟.通过几何重构和界面追踪的方法获取气液相界面的移动和变化,分析气泡生长过程中整个计算区域内的温度和速度分布.数值模拟结果与同等条件下的实验结果相比,气泡的生长和萎缩过程具有较好的一致性.; 关键词气液相变微型加热器微气泡传热; Keywords gas-liquid phase transition micro-heater micro-bubble heat transfer; 分类号 TK124 [动力工程及工程热物理—工程热物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	金属薄膜加热器的研究	闫卫平朱剑波马灵芝杜立群	《传感技术学报》 CAS CSCD	2004	10	在线阅读下载PDF 职称材料
2	局部微型加热下液滴表面温度分布特性	胡定华吴慧英吴信宇	《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2011	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	NiCr薄膜微加热器在低温环境下的电学特性研究	吴婷婷刘景全江水东徐斌郭杰杨斌	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2014	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	Evanohm合金的双环线型微加热器特性研究	仲逸飞刘景全	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2022	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	基于AIBN材料的微流体驱动用微型正压源	栗大超姬永婕于海霞梁文帅徐可欣	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2012	1	在线阅读下载PDF 职称材料
6	微尺度瞬态气泡生长及湮灭的数值模拟	李帆倪明玖李骥	《中国科学院大学学报（中英文）》 CAS CSCD 北大核心	2015	1	在线阅读下载PDF 职称材料