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光电导开关中的隧穿现象
1
作者
刘庆纲
高霞
+2 位作者
赵琳
江宁川
胡小唐
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期269-272,共4页
采用光刻和大气环境下原子力显微镜(AFM)阳极诱导氧化加工相结合的加工方法,加工由Ti-TiOx-Ti纳米级隧道结构成其基本结构的微型光电导开关(PCSS),并对其电特性进行了研究和分析。研究结果表明在大气室温条件下,微型PC-SS的输出特性随...
采用光刻和大气环境下原子力显微镜(AFM)阳极诱导氧化加工相结合的加工方法,加工由Ti-TiOx-Ti纳米级隧道结构成其基本结构的微型光电导开关(PCSS),并对其电特性进行了研究和分析。研究结果表明在大气室温条件下,微型PC-SS的输出特性随氧化物宽度不同而不同,当宽度小于100nm时,其输出特性表现为在一个线性峰值的输出过后,又出现了一个非线性的峰值;在一定条件下Ti-TiOx-Ti纳米级隧道结存在隧穿效应,且其隧穿特性随绝缘金属氧化物的宽度不同而不同。
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关键词
微型
光电
导
开关
(
pcss
)
隧道结
隧穿现象
AFM阳极诱
导
氧化
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职称材料
题名
光电导开关中的隧穿现象
1
作者
刘庆纲
高霞
赵琳
江宁川
胡小唐
机构
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期269-272,共4页
基金
天津市自然基金重点项目资助(06YFJZJC01000)
文摘
采用光刻和大气环境下原子力显微镜(AFM)阳极诱导氧化加工相结合的加工方法,加工由Ti-TiOx-Ti纳米级隧道结构成其基本结构的微型光电导开关(PCSS),并对其电特性进行了研究和分析。研究结果表明在大气室温条件下,微型PC-SS的输出特性随氧化物宽度不同而不同,当宽度小于100nm时,其输出特性表现为在一个线性峰值的输出过后,又出现了一个非线性的峰值;在一定条件下Ti-TiOx-Ti纳米级隧道结存在隧穿效应,且其隧穿特性随绝缘金属氧化物的宽度不同而不同。
关键词
微型
光电
导
开关
(
pcss
)
隧道结
隧穿现象
AFM阳极诱
导
氧化
Keywords
photoconductive semiconductor switch（
pcss
）
tunneling junction
tunneling phenomenon
AFM tip-induced anodic oxidation
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
光电导开关中的隧穿现象
刘庆纲
高霞
赵琳
江宁川
胡小唐
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008
0
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