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微型光机电系统
被引量:
3
1
作者
叶雄英
周兆英
+1 位作者
福田敏男
新井史人
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1998年第10期30-32,35,共4页
微型电子机械系统(MEMS)与光器件融合于一体的微型光机电系统(MOEMS)成为MEMS研究的一个重要方向,它将会给光器件的发展带来新的飞跃,而光系统因无需力的输出,正是MEMS的一个理想的应用领域。本文主要介绍几种...
微型电子机械系统(MEMS)与光器件融合于一体的微型光机电系统(MOEMS)成为MEMS研究的一个重要方向,它将会给光器件的发展带来新的飞跃,而光系统因无需力的输出,正是MEMS的一个理想的应用领域。本文主要介绍几种有突破性的、具有可动部件的微型光机电系统,最后提出一种新型的微光学开关。
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关键词
MEMS
微型光机电系统
光学平台
光开关
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职称材料
混合集成微型光纤光谱仪的实验测定
被引量:
5
2
作者
陈刚
温志渝
+2 位作者
温中泉
蒋子平
黄尚廉
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第6期1232-1237,共6页
文中简述了所研制微型光谱仪的基本原理和基本结构,并对该微型光谱仪进行了实验测试和标定。在实验中采用汞灯作为测试所用的光源,分别使用不同芯径和数值孔径的光纤作为光输入元件,实验结果表明该光谱仪具有很好的线性度,在采用50μm...
文中简述了所研制微型光谱仪的基本原理和基本结构,并对该微型光谱仪进行了实验测试和标定。在实验中采用汞灯作为测试所用的光源,分别使用不同芯径和数值孔径的光纤作为光输入元件,实验结果表明该光谱仪具有很好的线性度,在采用50μm的多模光纤时,光谱分辨率可达13.8nm,在采用9μm的单模光纤时分辨率可以达到5.5nm。
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关键词
反射式混合集成
微型
光纤光谱仪
结构
实验测试
微型光机电系统
光电阵列探测器
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职称材料
微型可编程衍射光栅的特性分析
被引量:
1
3
作者
俞静峰
苑伟政
+1 位作者
乔大勇
姜澄宇
《西北工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期76-79,共4页
研究了基于微型光机电系统(MOEM S)的微型可编程衍射光栅。利用波动光学理论推导了在编程状态下它的光强分布公式,对可编程光栅每个衍射单元包含的微梁数和其中的微梁高度等参数变化对其衍射特性的影响进行分析,并对其衍射特性进行仿真...
研究了基于微型光机电系统(MOEM S)的微型可编程衍射光栅。利用波动光学理论推导了在编程状态下它的光强分布公式,对可编程光栅每个衍射单元包含的微梁数和其中的微梁高度等参数变化对其衍射特性的影响进行分析,并对其衍射特性进行仿真验证。验证结果表明:光栅衍射单元包含的微梁数会对衍射光的各个主极大空间位置产生影响,而微梁高度的变化则会引起各衍射主极大之间的光强能量重新分布。
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关键词
微型光机电系统
(MOEMS)
可编程衍射光栅
仿真
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职称材料
面向真三维立体显示的数字微镜器件应用研究
被引量:
1
4
作者
李莉
杨忠
+1 位作者
耿征
沈春林
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2008年第9期56-58,62,共4页
数字微镜器件(DMD)专门用于对空间光进行振幅和相位调制。针对DMD特有的MEMS结构和μs级响应速度,提出将DMD作为空间光调制器(SLM)来实现高性能真三维立体显示系统。研究了DMD的工作原理,进行了DMD专用显示控制模块和通用控制算法的设计...
数字微镜器件(DMD)专门用于对空间光进行振幅和相位调制。针对DMD特有的MEMS结构和μs级响应速度,提出将DMD作为空间光调制器(SLM)来实现高性能真三维立体显示系统。研究了DMD的工作原理,进行了DMD专用显示控制模块和通用控制算法的设计,实验结果表明:DMD响应速度远远优于振镜,用DMD构建简洁型的真三维立体显示系统,对提高系统处理速度和显示性能是非常有利的。
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关键词
数字微镜器件
微型光机电系统
空间光调制器
真三维立体显示
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职称材料
光电子技术与器件 其他
被引量:
1
5
《中国光学》
CAS
2005年第4期76-76,共1页
O461.21 2005042978 微空心阴极放电与准分子光源=Microhollow cathode dis- charge and excimer light source[刊,中]/江超(华中科技大学激光技术国家重点实验室.湖北,武汉(430074)),王又青//量子电子学报,-2005,22(2),-142,149 ...
O461.21 2005042978 微空心阴极放电与准分子光源=Microhollow cathode dis- charge and excimer light source[刊,中]/江超(华中科技大学激光技术国家重点实验室.湖北,武汉(430074)),王又青//量子电子学报,-2005,22(2),-142,149 综述了微空心阴极放电的基本原理;详细论述了微空心阴极放电中的准分子辐射,以及微空心阴极放电的放电方式(直流放电、脉冲放电、射频放电)对准分子辐射强度和效率的影响。最后论述了微空心阴极放电的运行方式 (串联运行、并联运行)对准分子辐射的影响。图13表1 参21(王淑平)
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关键词
光开关
微型光机电系统
国家重点实验室
空心阴极放电
微空心阴极
量子电子学
光电子技术
长周期光纤光栅
集成光电子学
分子辐射
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职称材料
题名
微型光机电系统
被引量:
3
1
作者
叶雄英
周兆英
福田敏男
新井史人
机构
清华大学精密仪器与机械学系
日本名古屋大学微系统工学科
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1998年第10期30-32,35,共4页
文摘
微型电子机械系统(MEMS)与光器件融合于一体的微型光机电系统(MOEMS)成为MEMS研究的一个重要方向,它将会给光器件的发展带来新的飞跃,而光系统因无需力的输出,正是MEMS的一个理想的应用领域。本文主要介绍几种有突破性的、具有可动部件的微型光机电系统,最后提出一种新型的微光学开关。
关键词
MEMS
微型光机电系统
光学平台
光开关
Keywords
MEMS, Micromachined Display, Micro Free Space Optical Bench, Tunable Wavelength, Micro Optical Switch.
分类号
TH-39 [机械工程]
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职称材料
题名
混合集成微型光纤光谱仪的实验测定
被引量:
5
2
作者
陈刚
温志渝
温中泉
蒋子平
黄尚廉
机构
重庆大学光电工程学院
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第6期1232-1237,共6页
基金
国家863项目(2002AA431180)
国家自然科学基金(69836050)
+1 种基金
国家教育部科学技术重点项目(99105)
国家自然科学基金(09476023)
文摘
文中简述了所研制微型光谱仪的基本原理和基本结构,并对该微型光谱仪进行了实验测试和标定。在实验中采用汞灯作为测试所用的光源,分别使用不同芯径和数值孔径的光纤作为光输入元件,实验结果表明该光谱仪具有很好的线性度,在采用50μm的多模光纤时,光谱分辨率可达13.8nm,在采用9μm的单模光纤时分辨率可以达到5.5nm。
关键词
反射式混合集成
微型
光纤光谱仪
结构
实验测试
微型光机电系统
光电阵列探测器
Keywords
microspectrometer
micro opto-electro-mechanical system (MOEMS)
photoelectric array detector
spectrum
分类号
TH744 [机械工程—光学工程]
在线阅读
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职称材料
题名
微型可编程衍射光栅的特性分析
被引量:
1
3
作者
俞静峰
苑伟政
乔大勇
姜澄宇
机构
西北工业大学微/纳米系统实验室
出处
《西北工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期76-79,共4页
文摘
研究了基于微型光机电系统(MOEM S)的微型可编程衍射光栅。利用波动光学理论推导了在编程状态下它的光强分布公式,对可编程光栅每个衍射单元包含的微梁数和其中的微梁高度等参数变化对其衍射特性的影响进行分析,并对其衍射特性进行仿真验证。验证结果表明:光栅衍射单元包含的微梁数会对衍射光的各个主极大空间位置产生影响,而微梁高度的变化则会引起各衍射主极大之间的光强能量重新分布。
关键词
微型光机电系统
(MOEMS)
可编程衍射光栅
仿真
Keywords
micro optical-electro-mechanical systern(MOEMS), programmable diffraction grating,simulation
分类号
TH744 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
面向真三维立体显示的数字微镜器件应用研究
被引量:
1
4
作者
李莉
杨忠
耿征
沈春林
机构
南京航空航天大学自动化学院
中国科学院自动化所
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2008年第9期56-58,62,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60674100)
国家"863"计划资助项目(2005AA311020)
高等学校博士点专项基金资助项目(20030287008)
文摘
数字微镜器件(DMD)专门用于对空间光进行振幅和相位调制。针对DMD特有的MEMS结构和μs级响应速度,提出将DMD作为空间光调制器(SLM)来实现高性能真三维立体显示系统。研究了DMD的工作原理,进行了DMD专用显示控制模块和通用控制算法的设计,实验结果表明:DMD响应速度远远优于振镜,用DMD构建简洁型的真三维立体显示系统,对提高系统处理速度和显示性能是非常有利的。
关键词
数字微镜器件
微型光机电系统
空间光调制器
真三维立体显示
Keywords
digital micro-mirror device (DMD)
micro-optical-electro-mechanical system (MOEMS)
spatiallight modulator(SLM)
true 3D volumetric display
分类号
TN141 [电子电信—物理电子学]
TP334.1 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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职称材料
题名
光电子技术与器件 其他
被引量:
1
5
出处
《中国光学》
CAS
2005年第4期76-76,共1页
文摘
O461.21 2005042978 微空心阴极放电与准分子光源=Microhollow cathode dis- charge and excimer light source[刊,中]/江超(华中科技大学激光技术国家重点实验室.湖北,武汉(430074)),王又青//量子电子学报,-2005,22(2),-142,149 综述了微空心阴极放电的基本原理;详细论述了微空心阴极放电中的准分子辐射,以及微空心阴极放电的放电方式(直流放电、脉冲放电、射频放电)对准分子辐射强度和效率的影响。最后论述了微空心阴极放电的运行方式 (串联运行、并联运行)对准分子辐射的影响。图13表1 参21(王淑平)
关键词
光开关
微型光机电系统
国家重点实验室
空心阴极放电
微空心阴极
量子电子学
光电子技术
长周期光纤光栅
集成光电子学
分子辐射
分类号
O461.2 [理学—电子物理学]
在线阅读
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微型光机电系统
叶雄英
周兆英
福田敏男
新井史人
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1998
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
混合集成微型光纤光谱仪的实验测定
陈刚
温志渝
温中泉
蒋子平
黄尚廉
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
微型可编程衍射光栅的特性分析
俞静峰
苑伟政
乔大勇
姜澄宇
《西北工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
面向真三维立体显示的数字微镜器件应用研究
李莉
杨忠
耿征
沈春林
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2008
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
5
光电子技术与器件 其他
《中国光学》
CAS
2005
1
在线阅读
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职称材料
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