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微型光扫描器研究
被引量:
6
1
作者
黄鹰
向思桦
+2 位作者
陈四海
赖建军
易新建
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第1期26-29,共4页
设计了由正负微透镜阵列和压电陶瓷驱动器组成的微型光扫描器,它工作于中、短波红外光及可见光等波段,微透镜阵列规模为256×256元、单元直径为50μm,扫描视场角约为6.6°,扫描频率可达200Hz,体积小到几个立方厘米.实验测试表...
设计了由正负微透镜阵列和压电陶瓷驱动器组成的微型光扫描器,它工作于中、短波红外光及可见光等波段,微透镜阵列规模为256×256元、单元直径为50μm,扫描视场角约为6.6°,扫描频率可达200Hz,体积小到几个立方厘米.实验测试表明微扫描器的设计参数与实验测量结果基本相符.
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关键词
微透镜阵列
压电驱动器
微光机电系统
微型光扫描器
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职称材料
题名
微型光扫描器研究
被引量:
6
1
作者
黄鹰
向思桦
陈四海
赖建军
易新建
机构
华中科技大学光电子科学与工程学院
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第1期26-29,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60677025)
教育部2005年重点科技项目(105115)
文摘
设计了由正负微透镜阵列和压电陶瓷驱动器组成的微型光扫描器,它工作于中、短波红外光及可见光等波段,微透镜阵列规模为256×256元、单元直径为50μm,扫描视场角约为6.6°,扫描频率可达200Hz,体积小到几个立方厘米.实验测试表明微扫描器的设计参数与实验测量结果基本相符.
关键词
微透镜阵列
压电驱动器
微光机电系统
微型光扫描器
Keywords
microlens arrays
PZT actuator
MOEMS
microoptical scanner
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
TN305 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微型光扫描器研究
黄鹰
向思桦
陈四海
赖建军
易新建
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
6
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