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微型光扫描器研究 被引量:6
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作者 黄鹰 向思桦 +2 位作者 陈四海 赖建军 易新建 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期26-29,共4页
设计了由正负微透镜阵列和压电陶瓷驱动器组成的微型光扫描器,它工作于中、短波红外光及可见光等波段,微透镜阵列规模为256×256元、单元直径为50μm,扫描视场角约为6.6°,扫描频率可达200Hz,体积小到几个立方厘米.实验测试表... 设计了由正负微透镜阵列和压电陶瓷驱动器组成的微型光扫描器,它工作于中、短波红外光及可见光等波段,微透镜阵列规模为256×256元、单元直径为50μm,扫描视场角约为6.6°,扫描频率可达200Hz,体积小到几个立方厘米.实验测试表明微扫描器的设计参数与实验测量结果基本相符. 展开更多
关键词 微透镜阵列 压电驱动器 微光机电系统 微型光扫描器
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