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扫描探针显微镜针尖电容的测量与应用
被引量：
2
1
作者
孙浩明
王志红
+1 位作者
曾慧中
古曦
《电子测量技术》
2009年第2期163-165,169,共4页
本文基于扫描探针显微镜(SPM)建立了微区电容的低频测量系统,最小测量电容为30aF,工作频率为20～100kHz。试验测量了SPM导电针尖与金属样品之间的电容Ctip与它们之间的距离z关系曲线,并同时通过光学系统测量了针尖的关于频率的一次受力...
本文基于扫描探针显微镜(SPM)建立了微区电容的低频测量系统,最小测量电容为30aF,工作频率为20～100kHz。试验测量了SPM导电针尖与金属样品之间的电容Ctip与它们之间的距离z关系曲线,并同时通过光学系统测量了针尖的关于频率的一次受力信号Fw与z的关系曲线。推导了两种测量方法所获曲线的内在关系,并获得了针尖与样品的表面势之差。并且,利用此系统测量了Al0.3Ga0.7N/GaN薄膜的微区C-V曲线,获得和宏观C-V曲线趋势一致的结果。
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关键词
扫描探针显
微
镜
微区电容
锁相放大
C-z曲线
C-V曲线
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职称材料
题名
扫描探针显微镜针尖电容的测量与应用
被引量：
2
1
作者
孙浩明
王志红
曾慧中
古曦
机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
出处
《电子测量技术》
2009年第2期163-165,169,共4页
文摘
本文基于扫描探针显微镜(SPM)建立了微区电容的低频测量系统,最小测量电容为30aF,工作频率为20～100kHz。试验测量了SPM导电针尖与金属样品之间的电容Ctip与它们之间的距离z关系曲线,并同时通过光学系统测量了针尖的关于频率的一次受力信号Fw与z的关系曲线。推导了两种测量方法所获曲线的内在关系,并获得了针尖与样品的表面势之差。并且,利用此系统测量了Al0.3Ga0.7N/GaN薄膜的微区C-V曲线,获得和宏观C-V曲线趋势一致的结果。
关键词
扫描探针显
微
镜
微区电容
锁相放大
C-z曲线
C-V曲线
Keywords
SPM
micro-area capacitance
lock-in amplify
C-z curve
C-V curve
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
扫描探针显微镜针尖电容的测量与应用
孙浩明
王志红
曾慧中
古曦
《电子测量技术》
2009
2
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