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一种3-RSS微动并联平台的误差分析 被引量:3
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作者 乔智 程刚 山显雷 《科学技术与工程》 北大核心 2016年第35期77-82,共6页
微动并联平台应用于微芯片装配、光纤对接、细胞操作具有亚微米运动精度的工作场合,因此必须保持很高的精度。但是实际微动并联平台存在着各种制造误差,这些误差会对微动并联平台的精度产生影响。以一种3-RSS微动并联平台为例,考虑到杆... 微动并联平台应用于微芯片装配、光纤对接、细胞操作具有亚微米运动精度的工作场合,因此必须保持很高的精度。但是实际微动并联平台存在着各种制造误差,这些误差会对微动并联平台的精度产生影响。以一种3-RSS微动并联平台为例,考虑到杆长误差、转动副和球副的偏移误差,分析了各种误差模型下的闭环矢量方程。选常用微动并联平台的运动轨迹,反解出各个误差模型下陶瓷驱动器的驱动曲线,将驱动曲线导入ANSYS14.0中各误差模型的有限元模型中,通过探针命令求出微动动平台中心点应变值,与理想轨迹进行对比,得到轨迹对比图。分析各种误差模型的轨迹对比图,最后得出结论:球副的加工误差对微动并联平台的精度影响最大。分析了得到各种误差模型下的误差值,为之后的控制奠定了基础。 展开更多
关键词 微动并联平台 误差源分析 闭环矢量法 ANSYS有限元分析
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新型并联柔性铰链微动精密平台的研究 被引量:13
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作者 李仕华 韩雪艳 +1 位作者 马琦翔 李富娟 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第7期888-893,共6页
基于3-PRC并联机构提出一种由压电陶瓷驱动的新型3-PRC并联微动平台,并进行了构型优化设计;采用矢量法对该平台的位置进行分析,并给出了该平台的理论耦合性误差;采用有限元对其运动解耦性进行了研究。最后制作了实验样机,并进行了实验... 基于3-PRC并联机构提出一种由压电陶瓷驱动的新型3-PRC并联微动平台,并进行了构型优化设计;采用矢量法对该平台的位置进行分析,并给出了该平台的理论耦合性误差;采用有限元对其运动解耦性进行了研究。最后制作了实验样机,并进行了实验测试。研究结果表明,该并联微动平台可以实现微米级三维移动,具有较高的精度和良好的运动解耦特性。 展开更多
关键词 3-PRC 并联微动平台 解耦 三维移动
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新型3-RRRRR并联微动平台的位置及误差分析 被引量:4
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作者 李仕华 句彦儒 +1 位作者 马琦翔 李富娟 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第23期3142-3146,共5页
对一种新提出的由压电陶瓷驱动的并联微动平台进行了运动学分析。采用D-H法对该微动平台进行了位置分析,推导出了微动平台的反解表达式;在对单分支进行误差分析的基础上,建立了该并联微动平台的末端误差模型,并进行了误差分析。研究结果... 对一种新提出的由压电陶瓷驱动的并联微动平台进行了运动学分析。采用D-H法对该微动平台进行了位置分析,推导出了微动平台的反解表达式;在对单分支进行误差分析的基础上,建立了该并联微动平台的末端误差模型,并进行了误差分析。研究结果对3-RRRRR并联微动平台的设计和制造有参考价值。 展开更多
关键词 3-RRRRR 并联微动平台 位置分析 误差分析
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