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超精密车床的闭环控制系统 被引量:1
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作者 汪建新 董申 +1 位作者 刘晋春 李国伟 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期434-434,共1页
超精密车床的闭环控制系统汪建新,董申,刘晋春,李国伟(哈尔滨工业大学特种加工研究室)本机床主要用于车削圆柱面、端面、沟槽和圆锥面。要求机床分辨率为0.01μm。机床的运动是通过精密伺服电机、精密丝杠和十六位工业控制机... 超精密车床的闭环控制系统汪建新,董申,刘晋春,李国伟(哈尔滨工业大学特种加工研究室)本机床主要用于车削圆柱面、端面、沟槽和圆锥面。要求机床分辨率为0.01μm。机床的运动是通过精密伺服电机、精密丝杠和十六位工业控制机来控制的,使用双路双频激光干涉仪实... 展开更多
关键词 超精密车床 闭环控制系统 微动刀架 干涉仪 伺服电机 工控机 工业控制机 双频激光 电容测微仪 分辨率
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