悬臂梁式硅微加速度传感器的设计仿真 被引量：4

1

作者 单光宝 魏海龙 刘佑宝 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2003年第3期69-72,共4页

文章利用ANSYS软件对悬臂梁式硅微加速度传感器敏感芯片进行了设计仿真,给出了一种能满足:量程50g,精度10-3要求的硅微加速度传感器的结构,并对加工时可能引入的工艺误差所带来的影响进行了讨论。

关键词 悬臂梁式硅微加速度传感器 设计 仿真 MEMS器件

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压阻式硅微加速度传感器的结构设计与仿真 被引量：5

2

作者 隋丽 石庚辰 《探测与控制学报》 CSCD 北大核心 2003年第B03期52-55,共4页

一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用单梁加质量块的形式 ,这种形式的传感器灵敏度比较高 ,但它的横向效应较难克服 ,文中提出一种四梁结构的加速度传感器 ,通过仿真计算 。

关键词 压阻式硅微加速度传感器 结构设计 仿真 工作原理 受力分析 灵敏度 频率分析

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二维电容式硅微加速度传感器的刚度求解 被引量：1

3

作者 刘妤 温志渝 +3 位作者 张流强 梁玉前 温中泉 李霞 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期289-291,共3页

硅微电容式加速度传感器具有灵敏度高、噪音低、漂移小、功耗低、结构简单等优点 ,在军民两用市场中有着广泛的应用前景。本文针对自主开发设计的一种带折叠梁的二维叉指电容式硅微加速度传感器 ,采用力法求解了其主轴刚度 。

关键词 电容式硅微加速度传感器 刚度 折叠梁 二维叉指 动态响应特性

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微加速度传感器的结构刚度分析新法 被引量：1

4

作者 刘妤 温志渝 +1 位作者 杨红韵 张流强 《力学与实践》 CSCD 北大核心 2006年第4期68-72,95,共6页

微传感器结构刚度是优化传感器结构尺寸、研究传感器动态响应特性的一个重要参数．目前多采用有限元分析获取这一参数,但该方法难于给出一个物理思想比较明确的解析表达式．针对自主开发设计的一种具有复杂微结构的加速度传感器,提出综... 微传感器结构刚度是优化传感器结构尺寸、研究传感器动态响应特性的一个重要参数．目前多采用有限元分析获取这一参数,但该方法难于给出一个物理思想比较明确的解析表达式．针对自主开发设计的一种具有复杂微结构的加速度传感器,提出综合运用力法和能量法原理求解其主轴刚度,并通过仿真分析验证了理论推导．理论计算与仿真分析的结果有较好的一致性．该方法可推广应用于具有对称、静不定微结构的加速度传感器的刚度分析． 展开更多

关键词 微加速度传感器 微结构 力法 能量法 主轴刚度

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无粘连键合技术与伺服型±70g微加速度传感器 被引量：1

5

作者 彭勃 袁明权 +4 位作者 丁元萍 李红 武蕊 张茜梅 王艳丽 《信息与电子工程》 2008年第1期21-23,共3页

为了解决电容极板间隙低至3μm时传感器键合封接后内部活动部件粘连失效的问题,介绍了一种利用去除部分Au层的办法来抑制小间隙键合粘连,通过严控元件表面生产质量,合理地设计伺服控制器,制作的微加速度传感器已经达到了±70g的量程... 为了解决电容极板间隙低至3μm时传感器键合封接后内部活动部件粘连失效的问题,介绍了一种利用去除部分Au层的办法来抑制小间隙键合粘连,通过严控元件表面生产质量,合理地设计伺服控制器,制作的微加速度传感器已经达到了±70g的量程,单边线性二次项系数10-6量级,残差控制在15mg以内,相对精度达到了2×10-4,达到了设计要求。 展开更多

关键词 无粘连键合 微加速度传感器 伺服控制器 量程

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硅微加速度传感器的对称梁岛结构设计

6

作者 陈光焱 苏伟 何晓平 《信息与电子工程》 2003年第1期64-68,共5页

采用有限元方法,针对硅微加速度传感器的对称梁岛结构进行了力学特性分析,通过分析得出了该结构的尺寸对其位移量、谐振频率及模态振型的影响规律,为此类加速度传感器的设计提供参考。

关键词 有限元方法 硅微加速度传感器 对称梁岛 结构设计 谐振频率 模态振型

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新型L形梁压阻微加速度传感器 被引量：3

7

作者 高廷金 熊斌 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第12期1177-1180,共4页

介绍了一种新型的基于MEMS体硅加工工艺的L形梁压阻微加速度传感器。在加工过程中采用Si—Si直接键合完成底板与传感器支撑框体之间的粘合,使得后续加工工艺更加简单;采用DRIE释放梁结构,从而保证了梁结构的完整性。分析了该传感器的结... 介绍了一种新型的基于MEMS体硅加工工艺的L形梁压阻微加速度传感器。在加工过程中采用Si—Si直接键合完成底板与传感器支撑框体之间的粘合,使得后续加工工艺更加简单;采用DRIE释放梁结构,从而保证了梁结构的完整性。分析了该传感器的结构参数和灵敏度,并用ANSYS进行了有限元模拟,同时介绍了其工艺流程,以及封装后的测试结果。芯片尺寸为3.8 mm×3.8 mm×0.82 mm,其中敏感质量块尺寸为2 mm×2 mm×0.4 mm,梁尺寸为2 200μm×100μm×40μm。经初步测试,在采用5 V电源供电时灵敏度为0.5 mV/g左右,3 dB截止频率为520 Hz左右。 展开更多

关键词 微电子机械系统 微加速度传感器 压阻 L形梁

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微加速度传感器气膜运动方程的求解

8

作者 何晓平 文贵印 《电子技术参考》 1999年第1期1-8,共8页

用解析法求解了微结构加速度传感器气膜运动方程，其结果可用于微传感器的结构设计和系统分析。

关键词 微加速度传感器 气膜 阻尼 求解 传感器

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微加速度传感器折叠梁刚度的精确求法

9

作者 何晓平 《电子技术参考》 2001年第1期1-4,38,共5页

通过采用结构力学的力法，建立了求解叉指式微结构加速度传感器刚度的力学模型，并得到了精确解。与材料力学方法相比，该模型推导过程简单；与有限元方法相比，该模型在同等力学假设的条件，精度更高，且将计算分析的工作效率大大提高。

关键词 微加速度传感器 结构刚度 折叠梁刚度 精确求法

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基于改进遗传神经网络的微硅加速度传感器动态补偿研究 被引量：5

10

作者 俞阿龙 黄惟一 《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期455-458,共4页

比较遗传算法与神经网络的特点 ,并对将遗传算法用于函数连接型神经网络 (FLNN)的优点进行了研究 .对遗传算法的编码方法、交换和变异操作做了改进 ,提出了一种融合改进遗传算法的FLNN用于微硅加速度传感器动态性能补偿的新方法 .该方... 比较遗传算法与神经网络的特点 ,并对将遗传算法用于函数连接型神经网络 (FLNN)的优点进行了研究 .对遗传算法的编码方法、交换和变异操作做了改进 ,提出了一种融合改进遗传算法的FLNN用于微硅加速度传感器动态性能补偿的新方法 .该方法不依赖于传感器的动态模型 ,可根据传感器的动态响应数据 ,建立补偿模型 ,采用改进遗传神经网络搜索和优化补偿模型参数 ,既保留了遗传算法的全局搜索能力 ,又具有神经网络的鲁棒性和自学习能力 .介绍补偿原理及算法 ,给出动态补偿网络的数学模型 .结果表明 ,该补偿方法能克服FLNN收敛速度慢、容易陷入局部极小的缺陷 ,具有网络训练速度快、实时性好、良好的全局搜索能力、精度高。 展开更多

关键词 微硅加速度传感器 函数连接型神经网络 动态补偿 遗传算法

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基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计 被引量：6

11

作者 张建碧 《电子科技》 2009年第10期40-42,共3页

随着硅微机械加工技术(MEMS)的快速发展,各种基于MEMS技术的器件应运而生。文中首先对传感器结构及工作原理进行了简单介绍,给出了一种基于MEMS技术制作的压阻式硅微加速度传感器的结构和工艺,并对制作的加速度传感器样品进行了动态测试... 随着硅微机械加工技术(MEMS)的快速发展,各种基于MEMS技术的器件应运而生。文中首先对传感器结构及工作原理进行了简单介绍,给出了一种基于MEMS技术制作的压阻式硅微加速度传感器的结构和工艺,并对制作的加速度传感器样品进行了动态测试,测试结果表明实验与理论设计值相符。 展开更多

关键词 微加工 微压阻式加速度传感器 有限元分析 硅

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基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器设计 被引量：4

12

作者 张建碧 《电子与封装》 2009年第10期39-41,共3页

硅微加速度传感器是MEMS器件中的一个重要分支,具有十分广阔的应用前景。由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点,而且该种传感器在强辐射作用下能正常工作,因而在近年来发展迅速。文章首先对传感器结构... 硅微加速度传感器是MEMS器件中的一个重要分支,具有十分广阔的应用前景。由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点,而且该种传感器在强辐射作用下能正常工作,因而在近年来发展迅速。文章首先对传感器结构及工作原理进行了简单介绍,给出了一种基于MEMS技术制作的压阻式硅微加速度传感器的结构和工艺,并对制作的加速度传感器样品进行了动态测试,测试结果表明与理论设计值基本吻合。 展开更多

关键词 微加工 微压阻式加速度传感器 有限元分析 硅

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误差白化与Kalman滤波的微硅加速度传感器动态补偿 被引量：1

13

作者 姜乃松 刘清 《计量学报》 CSCD 北大核心 2012年第3期244-248,共5页

通过模型参考的系统辨识方法建立微硅加速度传感器的动态补偿器。由于测量噪声和补偿器对传感器的频带扩展，使得补偿器的输入／输出信号存在严重的噪声干扰。在噪声干扰下，采用均方误差为代价函数的系统辨识方法，无法得到补偿器参数... 通过模型参考的系统辨识方法建立微硅加速度传感器的动态补偿器。由于测量噪声和补偿器对传感器的频带扩展，使得补偿器的输入／输出信号存在严重的噪声干扰。在噪声干扰下，采用均方误差为代价函数的系统辨识方法，无法得到补偿器参数的无偏估计。补偿器参数的偏差和传感器频带的扩展将会使补偿器的输出信号出现严重失真和高频噪声干扰。为解决噪声对硅加速度传感器的动态补偿的影响，研究了一种新的动态补偿方法，该方法采用误差白化为代价函数的系统辨识方法得到补偿器的参数，可消除补偿器的参数在估计中的测量噪声影响，并通过卡尔曼实时滤波减小因传感器频带扩展所产生的高频噪声干扰。 展开更多

关键词 计量学 微硅加速度传感器 动态误差 误差白化 实时滤波

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10~5g压阻效应阵列式加速度微传感器硅悬臂梁结构分析 被引量：2

14

作者 谢元睿 刘晓明 《电子机械工程》 2004年第6期54-56,61,共4页

在已有105g压阻效应阵列式加速度微传感器版图设计的基础上,应用有限元理论及相关软件,对版图中的硅微悬臂梁进行了模态分析和结构动态计算。将宏观理论应用到微观结构分析中;并对该种结构的加速度传感器的样品进行了冲击实验,得到实验... 在已有105g压阻效应阵列式加速度微传感器版图设计的基础上,应用有限元理论及相关软件,对版图中的硅微悬臂梁进行了模态分析和结构动态计算。将宏观理论应用到微观结构分析中;并对该种结构的加速度传感器的样品进行了冲击实验,得到实验曲线。对计算分析与实验结果进行了比较,指出并分析了误差可能出现的方面。 展开更多

关键词 阵列式加速度微传感器 模态分析 结构分析 有限元 沙漏效应

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基于MAX1457的加速度硅微传感器的信号处理

15

作者 刘丹 刘晓明 《中国测试技术》 2005年第2期115-117,123,共4页

测高g值的加速度硅微传感器[4] 采用单晶硅材料制成,直接输出信号小,存在严重的温度误差。采用MAX14 5 7专用传感器信号处理器,它可以补偿传感器的温度误差和非线性误差。本文分析了MAX14 5 7的工作原理,设计了获得补偿参数的系统。

关键词 测高g值的加速度硅微传感器 温度补偿 MAX1457 或门 信号处理

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模糊LS-SVM在加速度传感器动态补偿中的应用 被引量：2

16

作者 张铁头 李杰 《中国测试》 CAS 北大核心 2012年第5期66-69,共4页

提出一种基于模糊LS-SVM传感器的非线性动态误差补偿器设计措施,在传感器与参考模型对输入激励响应的实测数据基础上,运用模糊LS-SVM回归算法构造补偿器,减小微硅加速度传感器因带宽有限引起的动态测量误差。既克服人工神经网络非线性... 提出一种基于模糊LS-SVM传感器的非线性动态误差补偿器设计措施,在传感器与参考模型对输入激励响应的实测数据基础上,运用模糊LS-SVM回归算法构造补偿器,减小微硅加速度传感器因带宽有限引起的动态测量误差。既克服人工神经网络非线性动态补偿过程中易出现的局部极小问题,又减小在标准LS-SVM中一些非主要数据对模型精度的影响,在测试领域中有较好的应用前景。 展开更多

关键词 模糊LS-SVM 微硅加速度传感器 动态补偿 仿真

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批量化微加速度计综合测试平台设计 被引量：2

17

作者 王华 石云波 +1 位作者 王艳阳 杨阳 《电子器件》 CAS 北大核心 2016年第6期1317-1320,共4页

为了实现微加速度传感器的批量标定,能够更加方便地进行多个传感器的性能测试。基于SolidWorks软件平台设计了一种可一次进行多只传感器综合测试装置。该装置可分别进行翻转测试和振动测试,并且能够实现传感器测试夹具与测试平台的自动... 为了实现微加速度传感器的批量标定,能够更加方便地进行多个传感器的性能测试。基于SolidWorks软件平台设计了一种可一次进行多只传感器综合测试装置。该装置可分别进行翻转测试和振动测试,并且能够实现传感器测试夹具与测试平台的自动结合与分离。通过对该装置测得的加速度计参数和原厂标定的加速度计参数对比,表明所设计测试平台的测试结果可靠。 展开更多

关键词 微加速度传感器 批量化测试 仿真设计 SOLIDWORKS

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微机械硅加速度计的性能分析 被引量：2

18

作者 贺玲 薛大同 《真空与低温》 2003年第2期63-70,共8页

介绍了各种类型的微机械硅加速度计的工作原理及特性,通过比较各类型硅加速度计的优劣,提出了高灵敏度硅加速度计的设计思路及实现方法。

关键词 微机械 硅加速度计 性能分析 工作原理 微机电系统 微加速度传感器 MEMS

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基于原子力显微镜(AFM)的微小结构加工工艺研究 被引量：2

19

作者 孙涛 闫永达 +3 位作者 夏加飞 梁迎春 程凯 董申 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期154-158,共5页

为了解决AFM单独用于机械刻蚀加工存在的局限性以及加工过程中各种因素对加工结果的影响等问题 ,提出一种基于AFM的非硅工艺微结构的加工方法。把三维微动工作台叠加到原子力显微镜工作台上组成新的微加工系统 ,采用金刚石针尖作为加工... 为了解决AFM单独用于机械刻蚀加工存在的局限性以及加工过程中各种因素对加工结果的影响等问题 ,提出一种基于AFM的非硅工艺微结构的加工方法。把三维微动工作台叠加到原子力显微镜工作台上组成新的微加工系统 ,采用金刚石针尖作为加工工具。根据AFM在线成像后的结果对该工艺过程中各种因素产生的影响进行了研究、分析和说明 ,得出主要参数优选的一般方法 ,讨论了与其他微机械加工方法相比较采用该方法的优缺点和可行性。应用该系统进行了微结构的加工实验 ,实验结果表明该系统能够实现较高尺寸精度和重复性精度的微结构的加工 。 展开更多

关键词 原子力显微镜 AFM 微小结构加工工艺 微加速度传感器 MEMS 半导体加工

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微机电系统实验建模研究 被引量：1

20

作者 陈佳品 吴智政 《半导体情报》 1997年第5期32-35,共4页

获得精确的微机电系统模型是实现系统高精度控制的前提条件，但微系统某些固有特性给系统理论建模带来一定困难。本文以微加速度传感器为例，提出一种理论分析和实验相结合的建模方法，并给出了相应的实验电路。

关键词 微机电系统 微电子机械系统 微加速度传感器

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