检索结果-维普期刊中文期刊服务平台

新型智能电化学微加工系统的研究被引量：4: 1; 作者刘品宽孙立宁 +2 位作者荣伟彬蒋利民田昭武《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2002年第6期83-87,共5页; 约束刻蚀剂层技术是三维超微图形复制加工的新型技术。本文根据约束刻蚀剂层技术的工艺特点 ,介绍了约束刻蚀剂层电化学微加工仪器的组成 ,讨论了具有微力传感的纳米级微定位系统的研究与开发。利用研制的加工仪器 ,在半导体GaAs进行刻... 展开更多; 关键词智能电化学微加工系统约束刻蚀剂层技术压电陶瓷驱动器半导体三维超微图形复制加工技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

激光微加工系统中运动控制的实现被引量：3: 2; 作者裴红星刘建华 +1 位作者杨雷刘晓《组合机床与自动化加工技术》北大核心 2004年第3期53-54,57,共3页; 在自行研制的激光微加工系统中 ,激光光源固定 ,待加工工件置于 X- Y移动平台上 ,驱动平台运动带动工件运动 ,利用光束与工件的相对运动加工出各种图形。 X- Y移动平台运动控制的核心是控制器 ,控制器通过串行通讯接口与 PC机串行通讯 ... 展开更多; 关键词激光微细加工单片机串行通讯光栅尺步进电机运动控制激光微加工系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于二极管泵浦Nd：YAG激光器的紫外微加工系统研制被引量：2: 3; 作者董云升郭强 +3 位作者张少飞吴边王首长胡爱兰《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期478-482,共5页; 自行研制紫外微加工系统,系统有效工作范围120 mm×120 mm,最小加工线宽80μm,系统操作简单、运行稳定高效。实验中完成对Nd:YAG紫外激光器、XY扫描振镜以及F-Theta平场透镜设计。实现波长355 nm紫外激光最高平均功率2.13W稳定输出... 展开更多; 关键词激光技术微加工系统紫外激光 XY振镜 F—Theta平场镜; 在线阅读下载PDF 职称材料

激光微加工系统中控制器的设计: 4; 作者刘晓旻杨雷裴红星《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2004年第6期84-86,共3页; 在自行研制的激光微加工系统中,激光光源固定,待加工工件置于X-Y移动平台上,驱动平台运动带动工件运动,利用光束与工件的相对运动加工出各种图形。X-Y移动平台运动控制的核心是控制器。控制器通过串行通讯接口与PC机串行通讯,接收PC机... 展开更多; 关键词激光微细加工单片机串行通讯光栅尺激光微加工系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于原子力显微镜(AFM)的微加工系统被引量：5: 5; 作者夏加飞孙涛 +3 位作者闫永达梁迎春程凯董申《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第2期125-129,共5页; 目前原子力显微镜(AFM)已经成为纳米加工领域中一种重要的加工手段,但由于其自身扫描陶管及针尖等因素的影响,AFM的微加工能力在很大程度上受到限制。利用三维微动工作台结合原子力显微镜以及锋利的金刚石针尖组成微加工系统,通过编程... 展开更多; 关键词原子力显微镜微加工系统 AFM 串口通讯纳米加工; 在线阅读下载PDF 职称材料

理化所研制成功纳米光子学超细微加工系统: 6; 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期33-33,共1页; 中科院理化技术研究所承担的院仪器研制项目“纳米光子学超细微加工系统”近日通过中科院综合计划局组织的专家验收。现场加工测试结果表明，所研制的纳米光子学超细微加工系统最小加工分辨率小于80nm，加工定位精度达到10nm，最大加工... 展开更多; 关键词微加工系统纳米光子学超细综合计划研制项目现场加工定位精度加工范围; 在线阅读下载PDF 职称材料

准分子激光微加工应用研究进展被引量：3: 7; 作者何立文方晓东《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期641-648,共8页; 准分子激光加工技术基于光化学机制.准分子激光具有波长短、重复频率高、单脉冲能量大、输出光斑大且能量分布均匀等特点,在精准和高效微加工领域有着独特的优势.准分子激光微加工可以减小热影响区(Heat affected zone, HAZ),有效避免... 展开更多; 关键词激光技术准分子激光微加工集成芯片3D封装微机电系统材料微加工; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名新型智能电化学微加工系统的研究被引量：4: 1; 作者刘品宽孙立宁荣伟彬蒋利民田昭武; 机构哈尔滨工业大学机器人研究所厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室; 出处《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2002年第6期83-87,共5页; 基金国家自然科学基金 ( 2 98330 70 50 1750 19)资助项目; 文摘约束刻蚀剂层技术是三维超微图形复制加工的新型技术。本文根据约束刻蚀剂层技术的工艺特点 ,介绍了约束刻蚀剂层电化学微加工仪器的组成 ,讨论了具有微力传感的纳米级微定位系统的研究与开发。利用研制的加工仪器 ,在半导体GaAs进行刻蚀加工 ,复制出微孔阵列 ,其排列周期与模板的微锥阵列的排列周期吻合得很好。; 关键词智能电化学微加工系统约束刻蚀剂层技术压电陶瓷驱动器半导体三维超微图形复制加工技术; Keywords Confined Etchant Layer Technique, Nanopositioning, Piezo actuator; 分类号 TH705 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名激光微加工系统中运动控制的实现被引量：3: 2; 作者裴红星刘建华杨雷刘晓; 机构郑州大学物理工程学院河南职业技术学院; 出处《组合机床与自动化加工技术》北大核心 2004年第3期53-54,57,共3页; 文摘在自行研制的激光微加工系统中 ,激光光源固定 ,待加工工件置于 X- Y移动平台上 ,驱动平台运动带动工件运动 ,利用光束与工件的相对运动加工出各种图形。 X- Y移动平台运动控制的核心是控制器 ,控制器通过串行通讯接口与 PC机串行通讯 ,接收 PC机下载的加工轨迹文件和运动控制命令 ,以步进电机作为执行机构、以光栅尺作为反馈部件构成闭环控制系统。以光栅尺测量为标准 ,系统的位置控制误差小于 2 μm。; 关键词激光微细加工单片机串行通讯光栅尺步进电机运动控制激光微加工系统; Keywords precision laser machining grating-ruler single chip serial communication; 分类号 TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于二极管泵浦Nd：YAG激光器的紫外微加工系统研制被引量：2: 3; 作者董云升郭强张少飞吴边王首长胡爱兰; 机构中国科学院安徽光学精密机械研究所; 出处《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期478-482,共5页; 基金合肥市科学技术局(20051039)资助项目; 文摘自行研制紫外微加工系统,系统有效工作范围120 mm×120 mm,最小加工线宽80μm,系统操作简单、运行稳定高效。实验中完成对Nd:YAG紫外激光器、XY扫描振镜以及F-Theta平场透镜设计。实现波长355 nm紫外激光最高平均功率2.13W稳定输出,1h内输出功率波动小于7%;XY振镜最大扫描角度±28°,线性响应速度0.35～0.5 ms;F-Theta视场角为±25°,有效焦距为250 mm。最后对系统存在的问题进行了分析。; 关键词激光技术微加工系统紫外激光 XY振镜 F—Theta平场镜; Keywords laser techniques micro-processing system ultraviolet laser XY shake lens F-Theta lens; 分类号 TN249 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名激光微加工系统中控制器的设计: 4; 作者刘晓旻杨雷裴红星; 机构郑州大学物理工程学院; 出处《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2004年第6期84-86,共3页; 文摘在自行研制的激光微加工系统中,激光光源固定,待加工工件置于X-Y移动平台上,驱动平台运动带动工件运动,利用光束与工件的相对运动加工出各种图形。X-Y移动平台运动控制的核心是控制器。控制器通过串行通讯接口与PC机串行通讯,接收PC机下载的加工轨迹文件和运动控制命令。以步进电动机作为执行机构、以光栅尺作为反馈部件构成闭环控制系统。以光栅尺测量为标准,系统的位置控制误差小于2μm。; 关键词激光微细加工单片机串行通讯光栅尺激光微加工系统; Keywords Laser Micro - machining Grating Ruler Single Chip Serial Communication; 分类号 TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于原子力显微镜(AFM)的微加工系统被引量：5: 5; 作者夏加飞孙涛闫永达梁迎春程凯董申; 机构哈尔滨工业大学精密工程研究所; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第2期125-129,共5页; 基金 863MEMS专项基金(No.2002AA404120) 海外青年学者合作研究基金(No.50028504) 航天支撑基金资助(No.2001_HT_HGD); 文摘目前原子力显微镜(AFM)已经成为纳米加工领域中一种重要的加工手段,但由于其自身扫描陶管及针尖等因素的影响,AFM的微加工能力在很大程度上受到限制。利用三维微动工作台结合原子力显微镜以及锋利的金刚石针尖组成微加工系统,通过编程获取微结构的轮廓,选择RS＿232串口作为通讯方式,发送字符串命令控制工作台的运动实现预定的轨迹,从而消除了扫描陶管运动范围有限且存在漂移和滞后的影响,解决了氮化硅和单晶硅针尖加工材料范围有限的问题,提升了AFM的加工能力,并加工出较为复杂的微结构及微传感器。实验表明这是一种可行的微加工方法。; 关键词原子力显微镜微加工系统 AFM 串口通讯纳米加工; Keywords AFM micro machining serial communication; 分类号 TH16 [机械工程—机械制造及自动化] TH742.9 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名理化所研制成功纳米光子学超细微加工系统: 6; 出处《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期33-33,共1页; 文摘中科院理化技术研究所承担的院仪器研制项目“纳米光子学超细微加工系统”近日通过中科院综合计划局组织的专家验收。现场加工测试结果表明，所研制的纳米光子学超细微加工系统最小加工分辨率小于80nm，加工定位精度达到10nm，最大加工范围达到560μm，具备了良好的三维加工能力。; 关键词微加工系统纳米光子学超细综合计划研制项目现场加工定位精度加工范围; 分类号 TH16 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名准分子激光微加工应用研究进展被引量：3: 7; 作者何立文方晓东; 机构合肥工业大学电子科学与应用物理学院中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室; 出处《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期641-648,共8页; 文摘准分子激光加工技术基于光化学机制.准分子激光具有波长短、重复频率高、单脉冲能量大、输出光斑大且能量分布均匀等特点,在精准和高效微加工领域有着独特的优势.准分子激光微加工可以减小热影响区(Heat affected zone, HAZ),有效避免产生裂纹等缺陷,在材料精细加工领域有很好的应用前景。介绍了准分子激光微加工的研究进展,及准分子激光微加工应用于微电子集成电路封装、微机电系统(Micro-electro-mechanical system, MEMS)材料加工和生物医疗等领域的研究结果,总结了准分子激光微加工技术的发展趋势。; 关键词激光技术准分子激光微加工集成芯片3D封装微机电系统材料微加工; Keywords laser technique excimer laser micromachining integrated chip 3D package micro-electro-mechanical system material micromachining; 分类号 TN249 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	新型智能电化学微加工系统的研究	刘品宽孙立宁荣伟彬蒋利民田昭武	《高技术通讯》 EI CAS CSCD	2002	4	在线阅读下载PDF 职称材料
2	激光微加工系统中运动控制的实现	裴红星刘建华杨雷刘晓	《组合机床与自动化加工技术》北大核心	2004	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于二极管泵浦Nd：YAG激光器的紫外微加工系统研制	董云升郭强张少飞吴边王首长胡爱兰	《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心	2008	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	激光微加工系统中控制器的设计	刘晓旻杨雷裴红星	《制造技术与机床》 CSCD 北大核心	2004	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	基于原子力显微镜(AFM)的微加工系统	夏加飞孙涛闫永达梁迎春程凯董申	《光学精密工程》 EI CAS CSCD	2003	5	在线阅读下载PDF 职称材料
6	理化所研制成功纳米光子学超细微加工系统		《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心	2007	0	在线阅读下载PDF 职称材料
7	准分子激光微加工应用研究进展	何立文方晓东	《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心	2018	3	在线阅读下载PDF 职称材料