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太赫兹真空电子器件微加工技术及后处理方法 被引量:11
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作者 陆希成 童长江 +4 位作者 王建国 李小泽 王光强 李爽 王雪锋 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期506-516,共11页
太赫兹频段真空电子器件的尺寸很小,其加工精度和表面质量要求很高,需要采用微加工技术及其一些特殊的加工工艺。本文主要介绍了几种常用于制作太赫兹真空电子器件的微加工方法,主要讨论了微机械加工、微细电火花加工、LIG-A/UV-LIGA和D... 太赫兹频段真空电子器件的尺寸很小,其加工精度和表面质量要求很高,需要采用微加工技术及其一些特殊的加工工艺。本文主要介绍了几种常用于制作太赫兹真空电子器件的微加工方法,主要讨论了微机械加工、微细电火花加工、LIG-A/UV-LIGA和DRIE等加工技术的特点及适用范围。为了提高器件的表面质量,讨论了清洗、净化及表面化学抛光技术等后处理技术。此外,太赫兹器件的设计结构特征也会限制微加工技术的选择,由此文中分析了几种常见太赫兹真空器件的特点及其可采用的加工方法和工艺。 展开更多
关键词 太赫兹 真空电子器件 微加工技术 表面抛光
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硅微通道板微加工技术研究 被引量:5
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作者 王国政 袁云龙 +5 位作者 杨超 凌海容 王蓟 杨继凯 李野 端木庆铎 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第9期1804-1810,共7页
微通道板(MCP)是二维通道电子倍增器,广泛用于电子、离子、紫外辐射和X-射线的探测与成像。提出一种硅微通道板(Si-MCP)制备工艺,分别采用干法刻蚀和电化学腐蚀微加工技术制备了硅微通道阵列(SMA)。重点研究了硅感应耦合等离子体刻蚀和... 微通道板(MCP)是二维通道电子倍增器,广泛用于电子、离子、紫外辐射和X-射线的探测与成像。提出一种硅微通道板(Si-MCP)制备工艺,分别采用干法刻蚀和电化学腐蚀微加工技术制备了硅微通道阵列(SMA)。重点研究了硅感应耦合等离子体刻蚀和光电化学腐蚀的特性,结果表明:硅光电化学腐蚀技术易于制备高长径比微通道,微通道侧壁更光滑、可制备倾斜通道、更适合制备Si-MCP.制备出通道周期为6μm、长径比大于50的SMA结构。采用厚层氧化实现了Si-MCP基体绝缘,采用原子层沉积工艺制备了连续倍增极,制作出Si-MCP样品。测试结果表明,采用半导体微加工技术制备的Si-MCP电子增益特性具有可行性。 展开更多
关键词 通道板 光电化学腐蚀 原子层沉积 微加工技术
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PCR生物芯片微加工技术的研究 被引量:6
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作者 何文波 闫卫平 郭吉洪 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2003年第1期10-13,共4页
聚合酶链式反应 (PCR)在生命科学研究及诸多相关领域已经得到了广泛应用。PCR生物芯片是利用微加工技术制作的能够实现PCR扩增反应的微装置。文中给出了基于MEMS技术的PCR生物芯片的微加工技术及加工方法 ,特别对集成在芯片上的加热器... 聚合酶链式反应 (PCR)在生命科学研究及诸多相关领域已经得到了广泛应用。PCR生物芯片是利用微加工技术制作的能够实现PCR扩增反应的微装置。文中给出了基于MEMS技术的PCR生物芯片的微加工技术及加工方法 ,特别对集成在芯片上的加热器及温度传感器的微加工方法进行了重点介绍 ,并对它们的特性进行了分析比较。 展开更多
关键词 全分析系统 PCR 微加工技术 生物芯片
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微型传感器中氮化硅薄膜的微加工技术 被引量:2
4
作者 金鹏 谭久彬 刘岩 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2001年第3期51-53,共3页
简要介绍了基于磁控射频溅射技术的Si3 N4 薄膜沉积技术及Si3 N4 薄膜基于剥离 (lift-off)技术的微加工技术。
关键词 型传感器 氮化硅薄膜 微加工技术
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医用μTAS微型葡萄糖生物传感器中的微加工技术
5
作者 金鹏 谭久彬 三泽弘明 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第19期1663-1666,共4页
研制了一种基于 IDA薄膜电极的微型葡萄糖生物传感器 ,结合该传感器 IDA薄膜电极的加工 ,介绍了目前 μTAS加工中的微加工技术。
关键词 型葡萄糖生物传感器 IDA电极 ΜTAS 微加工技术
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面向太赫兹真空电子器件应用的基于微加工技术的矩形环-杆结构慢波特性研究 被引量:1
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作者 付成芳 赵波 +3 位作者 杨玉东 居勇峰 何晓凤 杨定礼 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第8期719-725,共7页
提出了一种基于微加工技术的行波管矩形环-杆慢波结构的简便等效电路分析方法,采用准-TEM近似方法得出了其色散方程和耦合阻抗表达式,并数值计算了复色散方程和耦合阻抗。理论计算结果和3D电磁仿真软件HFSS的结果吻合得很好。数值计算... 提出了一种基于微加工技术的行波管矩形环-杆慢波结构的简便等效电路分析方法,采用准-TEM近似方法得出了其色散方程和耦合阻抗表达式,并数值计算了复色散方程和耦合阻抗。理论计算结果和3D电磁仿真软件HFSS的结果吻合得很好。数值计算结果表明:结合介质基底后,慢波结构的色散变弱,相速降低,带宽变宽,耦合阻抗却在降低。最后,通过和对应的矩形螺旋线慢波结构进行了比较,得出了该慢波结构高增益和高功率的特性。作为一种平面结构,矩形环-杆慢波结构可以结合微加工技术并应用到毫米波甚至THz波段的紧凑行波管领域。 展开更多
关键词 色散特性 矩形环-杆 微加工技术 准-TEM法 行波管 慢波结构
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微磨料气射流加工技术研究现状与展望
7
作者 张桂冠 赵玉刚 +4 位作者 赵国勇 高跃武 孟建兵 孙玉利 左敦稳 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2024年第5期14-26,共13页
微磨料射流加工技术是一种基于高能流体的磨粒冲蚀磨损加工技术,已广泛应用于难加工材料、复杂三维型面、光滑表面的加工。为进一步提高磨料射流加工过程中的精准控形控性能力,国内外学者开展了诸多基础加工理论与工艺探索等方面的研究... 微磨料射流加工技术是一种基于高能流体的磨粒冲蚀磨损加工技术,已广泛应用于难加工材料、复杂三维型面、光滑表面的加工。为进一步提高磨料射流加工过程中的精准控形控性能力,国内外学者开展了诸多基础加工理论与工艺探索等方面的研究工作。本文在概述磨料射流加工技术发展的基础上,全面总结了国内外学者在微磨料气射流加工(MAJM)技术中的微磨料气射流束发散效应及其抑制策略、材料力学性能对材料冲蚀去除模式的影响、材料冲蚀加工过程磨料嵌入抑制策略、微结构冲蚀加工几何特征等方面的主要研究成果,并对微磨料射流加工技术的难点与发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 磨料气射流加工(MAJM)技术 材料冲蚀去除机理 结构几何特征 磨料 磨料嵌入 加工材料
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复杂三维超微图形的复制加工技术的困难及对策 被引量:5
8
作者 田昭武 田中群 +1 位作者 林仲华 谢兆雄 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期14-19,共6页
现有用于批量复制的微加工技术较难用于加工复杂的三维图形元件(如微凹凸面镜、。微锥形齿轮等)。主要原因是:1.只能加工简单三维图形;2.只能控制刻蚀深度,刻蚀后的表面仍保留着刻蚀前的表面的粗糙度。针对上述问题,本课题组... 现有用于批量复制的微加工技术较难用于加工复杂的三维图形元件(如微凹凸面镜、。微锥形齿轮等)。主要原因是:1.只能加工简单三维图形;2.只能控制刻蚀深度,刻蚀后的表面仍保留着刻蚀前的表面的粗糙度。针对上述问题,本课题组首先提出用于三维超微图形复制加工的约束刻蚀剂层技术(ConfinedEtchantLayerTechnique,简称CELT),该技术具有距离选择性并能控制保留量,可望用于批量复制加工微米乃至纳米级的复杂三维图形元件。 展开更多
关键词 图形 微加工技术 约束刻蚀剂层技术 三维图形 刻蚀技术 抗蚀剂 高分辨图形 图形元件 连续曲面 方向选择性
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基于微/纳米加工技术的微型电化学免疫传感器研究 被引量:4
9
作者 许媛媛 边超 +1 位作者 陈绍凤 夏善红 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2149-2152,共4页
生物传感器的研制越来越趋向于微型化、集成化、智能化以及无创伤的方向发展.研制基于微/纳米加工技术的电化学免疫传感器顺应了这一趋势,利用微电子机械系统(MEMS)技术在硅基芯片上制备微型三电极系统和SU-8微型池,并采用自组装单层膜... 生物传感器的研制越来越趋向于微型化、集成化、智能化以及无创伤的方向发展.研制基于微/纳米加工技术的电化学免疫传感器顺应了这一趋势,利用微电子机械系统(MEMS)技术在硅基芯片上制备微型三电极系统和SU-8微型池,并采用自组装单层膜和纳米金修饰微型电极表面用于抗体的固定化,研制出新型的电化学免疫传感器.研究表明,这种微型电化学免疫传感器易于实现批量生产,便于集成,检测过程只需要少量的样品,大大降低有毒试剂的消耗,减少环境污染,同时具有分析成本低,响应时间快,检测下限低和适用于现场快速检测等优点. 展开更多
关键词 /纳米加工技术 型电化学免疫传感器 电子机械系统(MEMS) 抗体
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基于约束电解的不锈钢表面微凹坑阵列加工技术研究
10
作者 夏道朋 赖磊捷 吴建民 《制造技术与机床》 北大核心 2019年第1期131-134,共4页
利用约束电解微加工技术在不锈钢表面上加工出微凹坑阵列图案。首先对影响凝胶弹性模量的因素进行了分析,制备了具有纳米级孔隙的高强度聚丙烯酰胺凝胶模板,随后使用优化的聚丙烯酰胺凝胶模板在不锈钢表面进行约束电解刻蚀加工。实验结... 利用约束电解微加工技术在不锈钢表面上加工出微凹坑阵列图案。首先对影响凝胶弹性模量的因素进行了分析,制备了具有纳米级孔隙的高强度聚丙烯酰胺凝胶模板,随后使用优化的聚丙烯酰胺凝胶模板在不锈钢表面进行约束电解刻蚀加工。实验结果显示:在不锈钢表面上加工出的微凹坑直径在212μm左右,与母模板上的微凹坑相比,误差仅为6%,取得了良好的加工效果。 展开更多
关键词 约束电解微加工技术 凹坑阵列 聚丙烯酰胺凝胶 弹性模量
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航空微机电系统非硅材料微纳加工技术 被引量:1
11
作者 王凌云 杜晓辉 +2 位作者 张方方 李岸林 孙道恒 《航空制造技术》 2016年第17期16-22,共7页
随着对航空飞行器智能控制的迫切需求,硅基微机电系统MEMS(Micro-electromechanical Systems)传感器和执行器难以满足飞行器恶劣的运行环境,因而以碳化硅、氮化铝等为代表的多种MEMS特种材料被不断研究和使用。概述这些特种材料的机电... 随着对航空飞行器智能控制的迫切需求,硅基微机电系统MEMS(Micro-electromechanical Systems)传感器和执行器难以满足飞行器恶劣的运行环境,因而以碳化硅、氮化铝等为代表的多种MEMS特种材料被不断研究和使用。概述这些特种材料的机电特性有利于缩小特种传感器研发的材料选择范围;而针对兼具机械和电学两方面应用的碳化硅、氮化铝和聚合物前驱体陶瓷开展微纳加工技术的综述,有利于全面了解这3种材料的成型成性关键工艺,进而揭示从航空特种材料到MEMS器件的加工技术发展规律,为普遍使用电信号的航空特种传感器的研发提供加工手段借鉴。 展开更多
关键词 机电系统 航空恶劣环境 传感器和执行器 加工技术 碳化硅 氮化铝 聚合物前驱体陶瓷
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太赫兹微加工波导滤波器 被引量:4
12
作者 杜亦佳 鲍景富 +1 位作者 赵兴海 郑英彬 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第3期728-732,共5页
该文提出应用微加工(Micromachining)技术设计制作太赫兹6阶并联电感耦合波导带通滤波器的方法。立足于现有工艺条件,通过分析加工因素对滤波器电磁性能的影响,将工艺和设计参数相互折中达到优化设计的目的,避免因工艺原因造成的器件性... 该文提出应用微加工(Micromachining)技术设计制作太赫兹6阶并联电感耦合波导带通滤波器的方法。立足于现有工艺条件,通过分析加工因素对滤波器电磁性能的影响,将工艺和设计参数相互折中达到优化设计的目的,避免因工艺原因造成的器件性能急剧恶化,最终得到插入损耗小、可靠性好、可集成的太赫兹滤波器。采用微加工深刻蚀(ICP)、溅射电镀金属、键合等工艺步骤,最终制作完成的单个微加工滤波器划片后体积为24.0 mm×5.0 mm×1.66 mm。应用可调测试夹具固定微加工滤波器,通过功率计测试其功率衰减,得到其中心频率为141.5 GHz,3dB带宽为10.6%,中心频率处功率衰减小于1 dB,验证了工艺方法的有效性。 展开更多
关键词 微加工技术 太赫兹器件 波导滤波器
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微纳加工技术在包装防伪中的应用研究进展 被引量:1
13
作者 季建军 倪志林 +1 位作者 薛银春 高克鑫 《包装工程》 CAS 北大核心 2023年第19期149-157,共9页
目的 对国内外微纳加工技术在包装防伪中的应用研究进行梳理,帮助相关行业从业者更清晰、全面地了解当前微纳加工技术包装防伪领域的发展和应用现状,推动微纳加工技术在该领域的推广应用。方法 本文将相关研究大致分为微纳加工技术在新... 目的 对国内外微纳加工技术在包装防伪中的应用研究进行梳理,帮助相关行业从业者更清晰、全面地了解当前微纳加工技术包装防伪领域的发展和应用现状,推动微纳加工技术在该领域的推广应用。方法 本文将相关研究大致分为微纳加工技术在新型防伪标签的制备、新型防伪材料制备和数字防伪领域的应用研究等3个方面,并对相关研究概况、关键科学技术实现方法以及核心防伪机理进行梳理,分析微纳加工技术应用于包装防伪中的优缺点和发展趋势,聚焦复合防伪技术的挑战和未来发展方向。结论 国内外研究综述表明,微纳加工技术的快速发展为防伪技术提供了一种全新的技术和方法,微纳加工技术与信息技术等构成的复合防伪技术更是表现出了巨大的商业化应用潜力。但目前微纳加工技术在包装防伪中的应用还处于初级阶段,大部分实验室成果在面临产业化落地时仍受到成本、可靠性等因素的限制。未来在如何满足精度要求的同时,进一步降低设备和材料成本,优化工艺流程,还需要进行更深入的探索研究。 展开更多
关键词 加工技术 防伪技术 防伪标签 防伪材料 数字防伪
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激光微加工电热微夹钳设计与FEA仿真 被引量:1
14
作者 严雪萍 张慧 +4 位作者 韩庆福 李俊 成立 徐志春 刘德林 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第8期727-731,共5页
选用厚度为12.5μm的镍箔,采用激光微加工技术制备尺寸为2.8 mm×1.4 mm×0.0125 mm的微夹钳。其每一对级联元件由一系列致动单元组成,而每个致动单元由一个制约器和两个呈半圆形的动作梁构成,其驱动原理是电热效应。运用有限... 选用厚度为12.5μm的镍箔,采用激光微加工技术制备尺寸为2.8 mm×1.4 mm×0.0125 mm的微夹钳。其每一对级联元件由一系列致动单元组成,而每个致动单元由一个制约器和两个呈半圆形的动作梁构成,其驱动原理是电热效应。运用有限元分析(FEA)仿真了微夹钳的动态性能,对其动态性能进行了实验测试。测试结果表明,当电压为1.9 V时,最大位移量达到28.8μm,延迟时间小于200 ms。 展开更多
关键词 夹钳 有限元分析 电子机械系统 激光微加工技术
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基于UV-LIGA技术的微型火箭及微型动力系统技术 被引量:2
15
作者 金鹏 谭久彬 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第14期1233-1234,1242,共3页
采用基于UV-LIGA技术的微型陶瓷结构微加工技术进行微型火箭和微型动力系统中高温零件的加工,获得了微型火箭与微型动力系统中的耐高温关键部件。新工艺成功实现了深宽比大于13的微型氧化铝陶瓷结构的加工。
关键词 UV—UGA 陶瓷微加工技术 型火箭 型动力系统 高温特性
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铜-康铜微细热电偶丝的光纤激光微细焊接技术 被引量:3
16
作者 阳建华 张帅 陈继民 《电加工与模具》 2005年第4期29-31,共3页
以铜-康铜微细热电偶测量端的激光焊接过程为例,介绍了微细热电偶的激光制造方法,利用光纤激光光束质量好、功率密度高的特点,对铜-康铜微细热电偶丝进行了光纤激光微细焊接实验。通过测量证明利用激光焊接制造的热电偶性能可靠,并指出... 以铜-康铜微细热电偶测量端的激光焊接过程为例,介绍了微细热电偶的激光制造方法,利用光纤激光光束质量好、功率密度高的特点,对铜-康铜微细热电偶丝进行了光纤激光微细焊接实验。通过测量证明利用激光焊接制造的热电偶性能可靠,并指出利用光纤激光微加工技术可制造出各种不同种类、不同尺寸的微细热电偶,且加工便捷、高效,该技术具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 细热电偶 细焊接 光纤激光 热电偶丝 焊接技术 铜-康铜 微加工技术 激光光束质量 制造方法
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高气密性碱金属微气室低温阳极键合技术研究 被引量:5
17
作者 杜婷 李兴辉 +3 位作者 韩攀阳 陈海军 蔡军 冯进军 《传感器与微系统》 CSCD 2020年第11期14-17,共4页
对基于硅孔成型和玻璃—硅低温阳极键合实现微型气室的工艺技术进行研究。分析了不同基片表面状态、温度和电压对阳极键合工艺的影响并进行实验验证。基片表面气泡观察、气室剖面电镜照片分析、键合强度测试和气室密封性测试结果表明,... 对基于硅孔成型和玻璃—硅低温阳极键合实现微型气室的工艺技术进行研究。分析了不同基片表面状态、温度和电压对阳极键合工艺的影响并进行实验验证。基片表面气泡观察、气室剖面电镜照片分析、键合强度测试和气室密封性测试结果表明,该工艺技术能够得到综合性能良好的微气室。在180~300℃温度范围内,样品的键合强度在几兆帕(MPa)到几十兆帕范围,微气室漏气率均优于1.0×10-13Pa·m3·s-1,表明该工艺技术可用于碱金属微气室制备。 展开更多
关键词 碱金属 气室 微加工技术 低温阳极键合 表面处理
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纸基微流控芯片的加工及其应用 被引量:4
18
作者 闫宇 许长华 谷东陈 《食品与机械》 CSCD 北大核心 2017年第8期204-209,共6页
纸基微流控芯片以其低成本、制作简易、方便携带可以实现现场实时检测等优点得到了广泛的应用。文章主要介绍纸基微流控芯片的加工技术,包括蜡印法、紫外光刻法、等离子体处理技术、喷墨印刷技术、融蜡浸透技术、切纸技术以及纸基微流... 纸基微流控芯片以其低成本、制作简易、方便携带可以实现现场实时检测等优点得到了广泛的应用。文章主要介绍纸基微流控芯片的加工技术,包括蜡印法、紫外光刻法、等离子体处理技术、喷墨印刷技术、融蜡浸透技术、切纸技术以及纸基微流控芯片的应用,以期为食品快速检测提供更先进的方法和更高效的途径,加速纸基微流控芯片的发展。 展开更多
关键词 流控纸芯片 微加工技术 检测技术 应用
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新型智能电化学微加工系统的研究 被引量:4
19
作者 刘品宽 孙立宁 +2 位作者 荣伟彬 蒋利民 田昭武 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2002年第6期83-87,共5页
约束刻蚀剂层技术是三维超微图形复制加工的新型技术。本文根据约束刻蚀剂层技术的工艺特点 ,介绍了约束刻蚀剂层电化学微加工仪器的组成 ,讨论了具有微力传感的纳米级微定位系统的研究与开发。利用研制的加工仪器 ,在半导体GaAs进行刻... 约束刻蚀剂层技术是三维超微图形复制加工的新型技术。本文根据约束刻蚀剂层技术的工艺特点 ,介绍了约束刻蚀剂层电化学微加工仪器的组成 ,讨论了具有微力传感的纳米级微定位系统的研究与开发。利用研制的加工仪器 ,在半导体GaAs进行刻蚀加工 ,复制出微孔阵列 ,其排列周期与模板的微锥阵列的排列周期吻合得很好 。 展开更多
关键词 智能电化学加工系统 约束刻蚀剂层技术 压电陶瓷驱动器 半导体 三维超图形复制加工技术
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激光微纳加工领域的代表人物 被引量:1
20
《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2017年第12期1230-1233,共4页
自1960年激光问世以来,激光制造技术经历了以激光打标、激光表面处理、激光切割、激光打孔和激光焊接等为代表的激光宏观制造技术,以激光精密切割、激光精密钻孔和激光烧蚀等为代表的激光微加工技术,和以激光制备纳米颗粒、激光诱导表... 自1960年激光问世以来,激光制造技术经历了以激光打标、激光表面处理、激光切割、激光打孔和激光焊接等为代表的激光宏观制造技术,以激光精密切割、激光精密钻孔和激光烧蚀等为代表的激光微加工技术,和以激光制备纳米颗粒、激光诱导表面微纳米结构、干涉光刻和近场纳米制造为代表的激光微纳加工技术等多个发展阶段,覆盖了从毫米到纳米等不同的尺度,成为不可或缺的先进制造技术。其中,激光微纳加工技术涉及光学、物理、材料、化学、生物、信息、控制、机械、纳米科技等学科,必将推动制造及相关学科的深入发展,并为航空、能源、集成电路制造、国防、汽车、生物医疗等领域实现跨越式发展提供重要的制造支撑。各国科研工作者纷纷投身于激光微纳加工技术的研究之中,以期用先进的科技力量,改写人类社会的工业文明。作为行业研究中的佼佼者,美国的陆永枫教授、英国的李琳教授、日本的杉冈幸次教授以及我国的钟敏霖教授正以其卓越的科研成就引领着激光微纳加工领域的发展方向。 展开更多
关键词 加工技术 激光打标 先进制造技术 激光表面处理 人物 激光精密切割 集成电路制造 纳米颗粒
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