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立体微型器件的微制造技术及其在微机电系统(MEMS)的应用 被引量:8
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作者 李敬锋 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期657-664,共8页
综述了近年来与微型机电系统(MEMS)相关的材料微制造和微加工技术的最新研究进展.重点介绍了如何利用硅晶片作为微型模具来制备压电陶瓷和热电材料的微型柱状阵列结构和反应烧结碳化硅微型转子等微制造技术,并展望了材料微制造技术在... 综述了近年来与微型机电系统(MEMS)相关的材料微制造和微加工技术的最新研究进展.重点介绍了如何利用硅晶片作为微型模具来制备压电陶瓷和热电材料的微型柱状阵列结构和反应烧结碳化硅微型转子等微制造技术,并展望了材料微制造技术在研制微型医疗器件和微型移动能源方面的应用前景. 展开更多
关键词 立体型器件 微制造技术 机电系统 MEMS 碳化硅 柱阵列 硅模工艺 压电陶瓷 型转子 热电器件
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微/纳米制造技术的摩擦学挑战 被引量:37
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作者 雒建斌 何雨 +1 位作者 温诗铸 钟掘 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期283-288,共6页
评述了国内外航天、信息和军事等高技术领域中微/纳米制造技术的研究现状和发展趋势,介绍了微/纳米制造技术特征及其关键技术问题,揭示了当器件的尺度由毫米量级减小到微米甚至纳米量级时,微器件材料表面和界面的摩擦学(摩擦磨损及润滑... 评述了国内外航天、信息和军事等高技术领域中微/纳米制造技术的研究现状和发展趋势,介绍了微/纳米制造技术特征及其关键技术问题,揭示了当器件的尺度由毫米量级减小到微米甚至纳米量级时,微器件材料表面和界面的摩擦学(摩擦磨损及润滑)、力学和化学等及其控制方法是微/纳米制造研究中急需解决的关键技术问题.这些问题的解决对摩擦学研究提出了严峻挑战,新的摩擦学理论和技术的出现将为微/纳米制造技术的发展以及相关问题的解决提供保障. 展开更多
关键词 /纳米制造技术 表面与界面 摩擦学 挑战
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微纳米生物制造技术的基础研究 被引量:3
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作者 张德远 蔡军 +3 位作者 张波 陈博 李雅芹 乐加昌 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2004年第12期4-6,共3页
叙述采用生物加工方法实现微纳米材料、微纳米器件、微纳米系统制造的技术体系。介绍微纳米生物加工的最新进展 ,展望生物加工领域的未来发展趋势。
关键词 纳米制造技术 生物制造 生物 蛋白质
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微机电系统科学与技术发展趋势 被引量:32
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作者 王立鼎 刘冲 《大连理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2000年第5期505-508,共4页
阐明了微机电系统 (MEMS)的学科内涵与应用范畴 .着重介绍了国外MEMS的研究情况 .研究表明微尺度下一些物理现象与宏观世界的存在差别 ;论述了LIGA加工、刻蚀技术等微制造技术 .总结了国内的研究工作 ,给出了我国在基础理论、材料、工... 阐明了微机电系统 (MEMS)的学科内涵与应用范畴 .着重介绍了国外MEMS的研究情况 .研究表明微尺度下一些物理现象与宏观世界的存在差别 ;论述了LIGA加工、刻蚀技术等微制造技术 .总结了国内的研究工作 ,给出了我国在基础理论、材料、工艺、元器件、测试及微系统等方面的研究情况 ,并提出发展我国微机电系统的几点建议 . 展开更多
关键词 传感器 机电系统 微制造技术
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2024年全国电化学加工技术研讨会成功举办
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《电加工与模具》 北大核心 2024年第4期60-60,共1页
本刊讯2024年8月12日-14日,由中国机械工程学会特种加工分会主办,河南理工大学机械与动力工程学院和机械工业电化学微制造技术重点实验室承办,《电加工与模具》作为媒体支持的2024年全国电化学加工技术研讨会在河南焦作成功举办。
关键词 电化学加工 工程学院 特种加工 重点实验室 河南焦作 微制造技术 河南理工大学 电加工
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低能离子束诱导Ag表面纳米金字塔微结构 被引量:3
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作者 陈智利 刘卫国 +1 位作者 张锦 王蒙皎 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期82-86,共5页
利用离子柬溅射诱导实验方法,在单晶Si(100)基底上辅助沉积银膜,研究了低能Ar+离子束30。入射时,不同离子束能量和束流密度以及基底温度对Ag纳米结构的影响.结果表明:在较低基底温度下(32~100℃)辅助沉积银膜,膜层表面会呈... 利用离子柬溅射诱导实验方法,在单晶Si(100)基底上辅助沉积银膜,研究了低能Ar+离子束30。入射时,不同离子束能量和束流密度以及基底温度对Ag纳米结构的影响.结果表明:在较低基底温度下(32~100℃)辅助沉积银膜,膜层表面会呈现排列紧密、晶粒尺寸一致的金字塔状纳米结构.当温度升高时(32~200℃),纳米微结构横向尺寸λ2迅速增加,而粗糙度先减小(32~100℃)后迅速增大(100~200℃);当离子束能量1400eV、束流密度15~45uA/cm2时,在相同温度下,随着离子束束流密度的增大,纳米晶粒横向尺寸基本不变,粗糙度略有增加;当离子柬流密度为15μA/cm2、能量1000~1800eV时,在相同温度下,随着离子束能量的增加,银纳米结构尺寸增加,而表面粗糙度先增加,然后缓慢减小.自组织纳米结构的转变是溅射粗糙化和表面驰豫机制相互作用的结果. 展开更多
关键词 纳米制造技术 低能离子束刻蚀 自组装纳米结构 离子束辅助 银金字塔结构
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微反应器研究与应用新进展 被引量:13
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作者 黑瑟尔.沃尔克 勒韦.霍尔格 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2004年第7期9-16,18,共9页
近5年许多研究和开发活动集中于进行小尺度反应这一未开发领域。着重分析了基于微反应器的生产装置设想的可行性以及它是否是一个理智的选择。侧重介绍了微反应器在热交换、光化学反应和电化学反应、气相/液相反应以及不同种类气相反应... 近5年许多研究和开发活动集中于进行小尺度反应这一未开发领域。着重分析了基于微反应器的生产装置设想的可行性以及它是否是一个理智的选择。侧重介绍了微反应器在热交换、光化学反应和电化学反应、气相/液相反应以及不同种类气相反应等方面的应用实例。指出应采取冷静乐观的态度对待微反应器和微化学工程,它不仅需要现代的加工方法,还特别需要大量的适用知识。 展开更多
关键词 化学工程 反应器 微制造技术 热交换 气相/液相反应 气相反应 结构 通道
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涡轮导叶片表面MEMS高温测量技术 被引量:3
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作者 段力 姬中林 +3 位作者 翁昊天 李继保 林宇震 曹学强 《航空制造技术》 2020年第5期62-67,共6页
利用MEMS微制造集成技术,在航空发动机涡轮叶片表面成功地制作了薄膜高温温度传感器,攻克了叶片表面高温绝缘、曲表面光刻及高温可靠导线互联等一系列关键技术难关。对薄膜传感器及高温连线系统进行了一系列温度循环测量试验,读数可靠... 利用MEMS微制造集成技术,在航空发动机涡轮叶片表面成功地制作了薄膜高温温度传感器,攻克了叶片表面高温绝缘、曲表面光刻及高温可靠导线互联等一系列关键技术难关。对薄膜传感器及高温连线系统进行了一系列温度循环测量试验,读数可靠稳定、重复性好,并承受住了苛刻的振动冲击试验(10~2000Hz/40g的振动及8g的半正弦波冲力试验)。该涡轮叶片表面MEMS原位集成热电偶薄膜传感器也经历了温度高达1200℃的航空发动机燃动环境下燃气压力0.5MPa、热流量1.24L·J/(kg·K)的测试,获得了可靠的气动环境温度。该传感器尺寸小而且可以批量地形成传感器阵列,尽可能地避免了传感器对气动环境的扰动及叶片本身的破坏,而且便于安装和连接,可以用于航空发动机涡轮部位的高温温度测量。 展开更多
关键词 高温温度测量 航空发动机 薄膜传感器 原位集成 曲面光刻 MEMS制造集成技术
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MEMS原位集成传感器振动冲击试验研究 被引量:2
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作者 邵靖 段力 +4 位作者 胡铭楷 丁桂甫 毛成龙 沈杰 静波 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2018年第3期548-552,共5页
智能航空发动机及其他机械系统的智能化需要抗高振动和大冲力的原位集成传感器,要满足高温、高振动、高冲击的苛刻工作环境。为此制作了发动机涡轮叶片原位集成高温温度传感器,并且进行了一系列的高温试验和振动冲击试验。该原位集成传... 智能航空发动机及其他机械系统的智能化需要抗高振动和大冲力的原位集成传感器,要满足高温、高振动、高冲击的苛刻工作环境。为此制作了发动机涡轮叶片原位集成高温温度传感器,并且进行了一系列的高温试验和振动冲击试验。该原位集成传感器利用微机电系统(micro-electro-mechanical-system,简称MEMS)制造技术制作在涡轮叶片表面,不仅可以原位测量高达800℃的环境温度,并且具有很高的机械强度,可以承受高达40g的振动和100g的冲力。 展开更多
关键词 传感器 振动试验 冲击试验 MEMS微制造技术 原位集成
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基于双层薄膜热电偶的热障涂层隔温温度精确测量 被引量:2
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作者 段力 翁昊天 +3 位作者 姬中林 谢子仪 邹兵林 王盈 《航空发动机》 北大核心 2020年第5期49-54,共6页
为了解决热障涂层隔温温度测量方法缺乏规范性及精确测量体系欠缺的问题,提出在热障涂层上、下两侧制作薄膜型热电偶测量热障涂层隔温温度的试验方案,利用MEMS工艺在热障涂层两侧实现Pt/PtRh薄膜型(<1 um厚)热电偶微制造工艺,进行热... 为了解决热障涂层隔温温度测量方法缺乏规范性及精确测量体系欠缺的问题,提出在热障涂层上、下两侧制作薄膜型热电偶测量热障涂层隔温温度的试验方案,利用MEMS工艺在热障涂层两侧实现Pt/PtRh薄膜型(<1 um厚)热电偶微制造工艺,进行热障涂层在高温热流动态环境下的隔温效果初步测定试验,并提出1种热障涂层隔温效果的标准化测量体系与测量规范。结果表明:该Pt/PtRh薄膜型传感器可以测量1200℃左右的高温。 展开更多
关键词 热障涂层 温度测量 薄膜传感器 制造集成技术 隔温温度 航空发动机
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Femtosecond-laser direct writing 3D micro/nano-lithography using VIS-light oscillator 被引量:3
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作者 Antanas BUTKUS Edvinas SKLIUTAS +1 位作者 Darius GAILEVIČIUS Mangirdas MALINAUSKAS 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第10期3270-3276,共7页
Here we report a femtosecond laser direct writing(a precise 3D printing also known as two-photon polymerization lithography) of hybrid organic-inorganic SZ2080^(TM)pre-polymer without using any photo-initiator and app... Here we report a femtosecond laser direct writing(a precise 3D printing also known as two-photon polymerization lithography) of hybrid organic-inorganic SZ2080^(TM)pre-polymer without using any photo-initiator and applying ~100 fs oscillator operating at 517 nm wavelength and 76 MHz repetition rate. The proof of concept was experimentally demonstrated and benchmarking 3D woodpile nanostructures, micro-scaffolds, free-form micro-object “Benchy” and bulk micro-cubes are successfully produced. The essential novelty underlies the fact that non-amplified laser systems delivering just 40-500 p J individual pulses are sufficient for inducing localized cross-linking reactions within hundreds of nanometers in cross sections. And it is opposed to the prejudice that higher pulse energies and lower repetition rates of amplified lasers are necessary for structuring non-photosensitized polymers. The experimental work is of high importance for fundamental understanding of laser enabled nanoscale 3D additive manufacturing and widens technology’ s field of applications where the avoidance of photo-initiator is preferable or is even a necessity, such as micro-optics, nano-photonics, and biomedicine. 展开更多
关键词 laser direct writing two-photon polymerization multi-photon lithography 3D printing additive manufacturing SZ2080TM MICROSTRUCTURES NANOTECHNOLOGY
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