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高阶显微分析技术在CDM失效问题上的应用
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作者 晁拴社 林欣毅 +4 位作者 何潇 梅娜 杨丹 王梦华 欧阳可青 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第10期934-939,共6页
带电器件模型(CDM)是引起静电放电(ESD)失效问题的主要模型,特别是先进制程和高速射频电路,CDM的故障定位与根因分析对优化ESD设计和改善ESD防护至关重要。借助高阶显微分析技术,如等离子体聚焦离子束(PFIB)、导电原子力显微镜(C-AFM)... 带电器件模型(CDM)是引起静电放电(ESD)失效问题的主要模型,特别是先进制程和高速射频电路,CDM的故障定位与根因分析对优化ESD设计和改善ESD防护至关重要。借助高阶显微分析技术,如等离子体聚焦离子束(PFIB)、导电原子力显微镜(C-AFM)、电子束感应电流(EBIC)、透射电子显微镜(TEM),可以快速准确地定位失效位置并确认失效机理。通过分析先进制程芯片射频电路增益降低问题,确定了CDM泄放路径与失效形貌,并解释了CDM的损伤机理。通过高阶显微分析技术研究CDM失效问题,有助于优化ESD防护电路,提高芯片可靠性。 展开更多
关键词 带电器件模型(CDM) 先进制程 高阶显微分析技术 泄放路径 失效形貌
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微束分析技术在研究伴生金元素赋存状态中的应用 被引量:11
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作者 戴婕 徐金沙 +2 位作者 潘晓东 任静 张茜 《岩矿测试》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期655-663,共9页
运用微束分析技术扫描电子显微镜(SEM)及其配套的背散射电子像功能,特征X射线线扫描、面扫描功能,能谱仪(EDAX)鉴定功能,观察里伍铜矿矿石中纳米级至微米级的伴生金(超微细金)矿物,获取其形貌照片、能谱图和定性定量分析结果,得到了清... 运用微束分析技术扫描电子显微镜(SEM)及其配套的背散射电子像功能,特征X射线线扫描、面扫描功能,能谱仪(EDAX)鉴定功能,观察里伍铜矿矿石中纳米级至微米级的伴生金(超微细金)矿物,获取其形貌照片、能谱图和定性定量分析结果,得到了清晰的金元素及与其共生的元素线、面分布图像,查明了里伍铜矿中的金元素是以类质同象的形式分布于含银的铋矿物和金银矿中,含银的铋矿物和金银矿分布在黄铜矿与磁黄铁矿的裂隙中及含锰的铁闪锌矿中,排除了基体成分的干扰,载金矿物颗粒至少大于20 nm。该方法操作简便,过程简单,分析结果直观、可靠,提高了研究伴生金元素赋存状态的效率。测试的样品为里伍铜矿热液型矿石,经分析形成于燕山中晚期(104~142.2 Ma),为局部构造运动和岩浆期后热液使成矿元素再富集成矿的地质产物,晚于主成矿期——燕山中期。里伍铜矿中Ag和Au的质量比值为1.38~4.59,推测伴生金的成矿温度应小于或等于227℃。里伍铜矿在成矿过程中至少经历了早期的中高温热液阶段和晚期的中低温热液阶段,早期大量硫化物的析出和晚期中低温绿泥石、绢云母矿物的大量出现也证实了这一过程的存在。 展开更多
关键词 分析技术 里伍铜矿 金元素 赋存状态
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原位微区X射线荧光光谱分析装置与技术研究进展 被引量:17
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作者 许涛 罗立强 《岩矿测试》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期375-383,共9页
原位微区X射线荧光(Micro-XRF)光谱分析技术是X射线光谱学领域一重要分支。近年来X射线毛细管光学透镜聚焦技术不断进步,以实验室X光源为基础的原位微区X射线光谱分析装置与应用技术快速发展,已成功应用于多领域样品的原位、多维、动态... 原位微区X射线荧光(Micro-XRF)光谱分析技术是X射线光谱学领域一重要分支。近年来X射线毛细管光学透镜聚焦技术不断进步,以实验室X光源为基础的原位微区X射线光谱分析装置与应用技术快速发展,已成功应用于多领域样品的原位、多维、动态和非破坏性微区分析。文章介绍了近年来X射线毛细管光学透镜技术发展和原位微区X射线光谱分析装置研制进展,对近年来micro-XRF光谱分析技术在大气气溶胶颗粒物分析与来源识别、考古样品产地和真伪鉴别、古气候古环境重建研究中沉积纹层样品元素分析,以及刑侦科学中指纹样品的鉴定等应用领域进行了系统介绍,阐述了micro-XRF光谱分析技术性能的影响因素(空间分辨率和强度增益)。micro-XRF光谱分析技术不仅可以获取样品表面的信息,还能够获取样品内部的信息,成为目前国际上一门迅速发展的竞争技术。我国在毛细管透镜制造技术与性能研究,以及micro-XRF应用领域取得了重要进展。由于X射线焦斑尺寸对能量的依赖性以及样品基质对X射线的吸收效应,在微区定量分析中易引入较大误差,利用X射线毛细管透镜获取更小光斑尺寸与高稳定性的X射线光束,提高micro-XRF分析技术的空间高分辨率性能和对基体效应进行校正实验将是今后一个重要的研究目标和分析研究难点。 展开更多
关键词 聚毛细管透镜 X射线荧光光谱仪 分析技术 X射线聚焦
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微束分析技术在有机岩石学研究中的应用现状 被引量:1
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作者 刘大锰 《地质科技情报》 CAS CSCD 北大核心 1995年第2期91-97,共7页
介绍了扫描电镜能谱、透射电镜、二次离子质谱、激光微探针质谱、显微傅立叶红外光谱等几种微束分析技术的性能特点,系统地论述了其在有机岩石学中的应用现状与进展,并较详细地阐述了利用上述技术研究塔里木盆地烃源岩显微组分的结果。
关键词 分析技术 烃源岩 有机岩石学 岩石学
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微束分析技术——TOF-SIMS在洁净煤技术中的应用
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作者 蒋金鹏 侯孝强 毛鹤龄 《洁净煤技术》 CAS 1996年第1期48-51,共4页
通过使用微呸分析技术-TOF-SIMS研究了贵州贵定煤。研究表明,煤中硫主要以有机硫形式赋存于煤中,胜相对含量较高,通过对谱图进行归一化,实现了丝质体中有机持贩半定量化,同时也对今后的洁净为研究工作提出了一些建议。
关键词 分析技术 洁净煤 加工应用
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离子探针质谱分析技术
6
作者 周士涛 《矿物岩石地球化学通报》 CAS CSCD 1992年第3期176-177,共2页
1、离子探针的特点和功能:(1)检测灵敏度高,能测量包括氢在内的元素周期表上全部元素。绝对灵敏度为10<sup>-15</sup>~10<sup>19</sup>,能检测相对含量为10<sup>-6</sup>~10<sup>-9</... 1、离子探针的特点和功能:(1)检测灵敏度高,能测量包括氢在内的元素周期表上全部元素。绝对灵敏度为10<sup>-15</sup>~10<sup>19</sup>,能检测相对含量为10<sup>-6</sup>~10<sup>-9</sup>原子浓度的微量杂质。因此它可以作金属超纯分析,半导体微量杂质测量和矿物微量元素分析。(2) 微区表面薄膜分析。它的横向(X—Y)分辨率为1~2μm,能在1~6nm厚的表面薄膜上检测样品表面杂质含量和分布,可以观测晶体界面结构信息和矿物离子显微图像。(3) 深度分析。其深度Z方向上分辨本领为5~10nm,可以提供包括轻元素在内的三维空间分析图像,可研究矿物元素氧化过程和离子扩散。(4) 同位素分析。同位素比值测量精度0.1%,在测定陨石,月岩和地球样品的微量元素和同位素组或以及地质年代学研究方面都能发挥作用。(5)绝缘体样品分析。要在试样表面上先镀一层碳膜(或金属膜),或者利用低能量电子喷射样品表面,或用负离子轰击样品来解决绝缘非导电体样品分析过程中在其表面积累电荷,以及由此产生的电位变化现象。(6)样品需要量少。消耗样品量仅1ng左右。 展开更多
关键词 分析技术 分析测试 离子探针
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角质层的离析及显微观察方法 被引量:8
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作者 马清温 张秀省 李凤兰 《植物研究》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期307-310,共4页
植物角质层的离析方法很多,获取化石植物的角质层可以同时用几种化学处理方法。舒氏液浸解是最常用的方法,也是几种方法共用时最关键的步骤。浸解液浓度过大或处理时间过长有可能破坏角质层的结构。对于已经获取到的角质层,利用相差光... 植物角质层的离析方法很多,获取化石植物的角质层可以同时用几种化学处理方法。舒氏液浸解是最常用的方法,也是几种方法共用时最关键的步骤。浸解液浓度过大或处理时间过长有可能破坏角质层的结构。对于已经获取到的角质层,利用相差光学显微技术可以增加反差。利用微分干涉光学显微技术不仅反差增加,而且有立体感,背景颜色也可以调节。荧光显微分析技术在不破坏标本的前提下,可以获取到表皮的特征。扫描电子显微镜具有观察不透明物体,放大范围广以及高的分辨力等优越性,可作为光学显微镜的必要补充。 展开更多
关键词 离析 技术 角质层 光学显技术 观察方法 扫描电子显 化学处理方法 化石植物 微分析技术 光学显
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镁合金搅拌摩擦焊接头晶粒取向和织构分析 被引量:4
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作者 徐卫平 邢丽 +1 位作者 柯黎明 孙德超 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期254-257,共4页
利用背散射电子衍射分析技术(EBSD)和取像显微分析技术(OIM),通过定量测量变形镁合金AZ80A搅拌摩擦焊搭接接头的焊核区晶粒取向和织构,探讨了搅拌摩擦焊焊核区形成的微观过程.结果表明:AZ80A合金在搅拌摩擦焊过程中,存在塑性变形和动态... 利用背散射电子衍射分析技术(EBSD)和取像显微分析技术(OIM),通过定量测量变形镁合金AZ80A搅拌摩擦焊搭接接头的焊核区晶粒取向和织构,探讨了搅拌摩擦焊焊核区形成的微观过程.结果表明:AZ80A合金在搅拌摩擦焊过程中,存在塑性变形和动态再结晶两种微观过程,导致焊核区所形成的晶粒织构密度不强、取向呈多样化的趋势;晶粒为再结晶细晶粒;在焊核区,变形织构{1,-1,0,4}<1,0,-1,0>略偏离板法向20o,且随板厚方向向下越来越强,同时再结晶取向越来越多;焊核区晶粒继承了母材中的{1,-1,0,4}<1,0,-1,0>变形织构,在焊核区所发生的动态再结晶含有一定程度的原位再结晶. 展开更多
关键词 晶粒取向 摩擦焊接头 织构分析 搅拌摩擦焊 背散射电子衍射 动态再结晶 观过程 变形织构 微分析技术 变形镁合金 搭接接头 定量测量 塑性变形 结晶取向 焊核 多样化 细晶粒 板厚
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成矿模式与找矿模式研究的现代科学技术 被引量:9
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作者 曾庆栋 底青云 +2 位作者 薛国强 王功文 荆林海 《地学前缘》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第3期295-308,共14页
为保障资源的可持续发展,地下深部资源勘探与开发是当前国内外许多国家重要的战略选择。地下深部是否存在优质矿产资源研究是开展深部找矿的前提。理想的成矿模式对指导找矿模式的构建具有重要的理论意义,而合理找矿模式的建立对于深部... 为保障资源的可持续发展,地下深部资源勘探与开发是当前国内外许多国家重要的战略选择。地下深部是否存在优质矿产资源研究是开展深部找矿的前提。理想的成矿模式对指导找矿模式的构建具有重要的理论意义,而合理找矿模式的建立对于深部找矿具有重要的指导意义。随着现代科学技术的持续发展,各种新技术不断用于地质研究及勘探中,使深入理解成矿作用,建立理想的成矿模式成为可能。目前,一些新技术如矿物原位U-Pb定年、原位成分、原位同位素分析等在成矿模式研究中已发挥重要作用,指导人们重新建立新的成矿模式;同样一些地球物理探测技术、地球化学探测技术等也正在找矿模式的建立中发挥重要作用,为深部矿的找寻提供更可靠的依据。因而成矿理论及综合地球物理、综合地球化学等现代科学技术的应用是当前及未来深部矿找矿工作的趋势。 展开更多
关键词 成矿模式 找矿模式 矿物分析技术 地球物理探测技术 地球化学探测技术
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基于耳石微化学的黄河垦利段刀鲚生活史初步研究 被引量:11
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作者 丛旭日 李秀启 +5 位作者 董贯仓 王亚楠 孙鲁峰 客涵 杨健 姜涛 《渔业科学进展》 CSCD 北大核心 2022年第1期31-37,共7页
为研究黄河刀鲚(Coilia nasus)生境履历特征,利用电子探针微区分析技术(EPMA)对采集自黄河垦利段5尾刀鲚个体(D1、D2、D4、D5和D6)的矢耳石进行微化学特征研究。定量线分析结果显示,黄河口刀鲚生境履历较为复杂,所有个体核心区Sr/Ca值较... 为研究黄河刀鲚(Coilia nasus)生境履历特征,利用电子探针微区分析技术(EPMA)对采集自黄河垦利段5尾刀鲚个体(D1、D2、D4、D5和D6)的矢耳石进行微化学特征研究。定量线分析结果显示,黄河口刀鲚生境履历较为复杂,所有个体核心区Sr/Ca值较低,表明其淡水孵化特征,但随着个体生长表现出不同的生活履历。个体D2生活史较复杂,其生长轨迹多次往返于淡水—半咸水生境,不具备洄游型刀鲚应有的规律性特征;个体D1、D4、D5和D6具有明显的洄游特征,不同的是个体D1和D4的Sr/Ca最大值分别为6.1和6.2,D5、D6生境已延伸至Sr/Ca值较高的区域,最大值分别达到8.44、8.63,但是由于调水、调沙对黄河口盐度变化影响较大,尚不能判断D5、D6个体生境已延伸至海水区域。分析的结果显示了同样的特征,个体D1、D4核心区表现为蓝色,外缘区域表现为蓝绿色;个体D2核心区表现为蓝色、绿色、黄色交替出现,个体D5、D6核心区域表现为Sr值较低的蓝色区域,随着生长耳石外围逐渐形成较为明显的黄色圆环。基于以上结果,本研究重新建立了黄河口刀鲚的生境履历,多数个体孵化和早期的生活主要在淡水生境完成,之后进入盐度较高的区域,往返于半咸水—海水生境中进行索饵、育肥,直至被捕获。以个体D2为代表的群体生活史较为复杂,推测可能是由于当年山东东平湖汛期放水而被动进入黄河的定居型刀鲚。 展开更多
关键词 黄河垦利段 刀鲚 耳石 电子探针分析技术
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太原市灰霾期间黑碳气溶胶形貌与成分分析 被引量:5
11
作者 冯小姣 耿红 +3 位作者 彭妍 康鑫 武力 Ro Chul-Un 《地球化学》 CAS CSCD 北大核心 2021年第1期75-87,共13页
为掌握太原市冬季灰霾发生期间黑碳气溶胶形貌特征和化学成分变化特点,分别于2011-12-30 T 08:00至2012-01-01 T 04:00和2018-11-25 T 08:00至2018-11-27 T 04:00灰霾发生期间在山西大学环境与资源学院楼顶使用MAY七级冲击式颗粒采样器... 为掌握太原市冬季灰霾发生期间黑碳气溶胶形貌特征和化学成分变化特点,分别于2011-12-30 T 08:00至2012-01-01 T 04:00和2018-11-25 T 08:00至2018-11-27 T 04:00灰霾发生期间在山西大学环境与资源学院楼顶使用MAY七级冲击式颗粒采样器每隔4 h采集空气动力学直径分别为0.25~0.5μm、0.5~1.0μm以及1~2μm的大气单颗粒分析样品,运用带超薄窗口能谱仪的扫描电镜(JEOL JSM-6390)测定了样品中4330个颗粒的二次电子像及X射线能谱,通过基于蒙特卡罗模拟程序的定量电子探针微区分析技术对每个颗粒的元素原子浓度进行了计算,并对颗粒进行了分类与计数。共检测到6类颗粒,分别是矿物尘、碳质颗粒、钠盐颗粒、二次颗粒、富铁颗粒和其他,其中黑碳气溶胶数量相对丰度在2011和2018年样品中平均为26.8%和34.2%。按照伸长率(E)、纵横比(R)、是否与其他物质结合等将其分为伸展型、支链型、嵌入或粘附型和团聚型4种,反映了黑碳颗粒不同的老化过程。2011年样品中团聚型和支链型数量较多,而2018年样品中伸展型和嵌入型多于团聚型和支链型,提示2011年黑碳气溶胶老化程度大于2018年,与灰霾严重程度相一致。本研究表明,与2011年相比,太原市2018年冬季灰霾污染特征和燃料结构可能发生了较大改变。 展开更多
关键词 电子探针分析技术 灰霾 黑碳气溶胶 形貌与成分 太原市
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碳酸盐岩储层模拟与地球化学实验技术进展及应用 被引量:12
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作者 沈安江 胡安平 +1 位作者 梁峰 佘敏 《中国石油勘探》 CAS CSCD 北大核心 2022年第4期16-29,共14页
中国海相碳酸盐岩具年代老、埋藏深、经历多旋回构造—成岩叠加改造的特点,导致储层非均质性强、成因复杂,储层发育主控因素与成藏过程研究难度大。依托国家“十一五”“十二五”“十三五”碳酸盐岩油气专项和中国石油天然气集团有限公... 中国海相碳酸盐岩具年代老、埋藏深、经历多旋回构造—成岩叠加改造的特点,导致储层非均质性强、成因复杂,储层发育主控因素与成藏过程研究难度大。依托国家“十一五”“十二五”“十三五”碳酸盐岩油气专项和中国石油天然气集团有限公司碳酸盐岩储层重点实验室,开展有针对性的储层模拟和地球化学实验技术攻关,取得3项进展:(1)基于多阶段—连续流装置、渗透率在线检测和可视化装置、高温高压流体原位检测改进装置,解决了中国多旋回叠合盆地古老深层碳酸盐岩储层模拟实验的难题,为埋藏溶蚀孔洞预测和评价、埋藏环境孔喉结构发育样式和演化路径研究提供了手段;(2)建立了以碳酸盐矿物激光原位U—Pb同位素测年为核心的9项微区多参数地球化学实验分析技术,解决了储层成因研究中的定年、定温和定流体属性的难题;(3)微区多参数地球化学实验分析技术的创新应用,解决了绝对年龄坐标系下构造—埋藏史、成岩—孔隙演化史、烃源岩埋藏和成烃史、油气成藏史重建的多解性和不确定性难题,为碳酸盐岩油气勘探研究发挥了重要的支撑作用。 展开更多
关键词 古老海相碳酸盐岩 区多参数地球化学实验分析技术 储层模拟实验技术 储层成因与分布规律 油气勘探应用
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高延性水泥基复合材料的流变特性和纤维分散性 被引量:26
13
作者 张丽辉 郭丽萍 +2 位作者 孙伟 张文潇 谌正凯 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期1037-1040,共4页
为了研究高延性水泥基复合材料(HDCC)流变特性对短切聚乙烯醇(PVA)纤维分散性的影响规律,采用流变仪和荧光显微分析技术分别对HDCC浆体的流变特性以及短切PVA纤维在HDC C基体中的分散性进行研究.实验结果表明:HDC C浆体流变行为... 为了研究高延性水泥基复合材料(HDCC)流变特性对短切聚乙烯醇(PVA)纤维分散性的影响规律,采用流变仪和荧光显微分析技术分别对HDCC浆体的流变特性以及短切PVA纤维在HDC C基体中的分散性进行研究.实验结果表明:HDC C浆体流变行为符合赫切尔巴尔克模型,浆体流动后,应变梯度随应力增量按幂指数增长;当HDCC浆体塑性黏度为1.3~7.3 Pa·s时,即使短切PVA纤维的体积掺量为1.5%~2.0%,纤维在HDCC 基体中的分散系数均大于0.92,实现了均匀分散.合理调整配比中粉煤灰、减水剂和功能性组分的掺量,可调控HDCC浆体塑性黏度并实现短切PVA纤维的均匀分散,为HDCC高延性的理论设计提供实验支持. 展开更多
关键词 高延性水泥基复合材料 流变特性 荧光显微分析技术 分散系数 聚乙烯醇纤维
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非导电材料的荷电衬度的探讨 被引量:2
14
作者 吉元 张隐奇 +2 位作者 权雪玲 张虹 钟涛兴 《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第4期376-376,共1页
关键词 非导电材料 荷电效应 观结构特征 电子束辐照 衬度 物理性能 成像条件 微分析技术 EPMA
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55NiCrMoV7钢的回火组织演化
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作者 张占平 齐育红 +1 位作者 D DELAGNES G BERNHART 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期568-569,共2页
关键词 55NICRMOV7钢 回火过程 回火组织 机械性能 回火温度 回火时间 微分析技术 图像分析技术 组织 定量分析
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硫化物中“不可见金”的赋存状态研究进展 被引量:19
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作者 李增胜 朱笑青 +1 位作者 卢焕章 韩涛 《地质科技情报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期81-86,共6页
综述了近年来造山带型金矿床、浅成低温热液型金矿床、卡林型金矿床以及块状硫化物矿床等不同类型矿床中"不可见金"的研究进展,探讨了"不可见金"的形成机制。微束分析技术能定量分析和给出元素分布图,波谱法是通过... 综述了近年来造山带型金矿床、浅成低温热液型金矿床、卡林型金矿床以及块状硫化物矿床等不同类型矿床中"不可见金"的研究进展,探讨了"不可见金"的形成机制。微束分析技术能定量分析和给出元素分布图,波谱法是通过解谱来确定元素的化合价。研究中存在的问题主要有微束分析技术的分辨率和灵敏度还有待提升、波谱法解谱难以及晶体化学和热力学数据的缺乏。最后提出了研究"不可见金"赋存状态的意义及前景展望。 展开更多
关键词 “不可见金” 赋存状态 硫化物 金矿床 分析技术 波谱法
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太原市交通路口大气PM_(2.5)单颗粒成分研究 被引量:1
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作者 靳春嵩 耿红 +4 位作者 李梦琪 李硕 李静姝 王倩芝 卢铁彦 《环境科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2017年第3期34-41,共8页
为了解冬季采暖期交通路口大气细颗粒物(PM_(2.5))成分随时间变化规律及影响因素,于2011年12月19日-23日每日8:30、11:30、14:30、17:30左右在太原市主城区典型交通路口采集大气PM_(2.5)样品20组,经电子探针微区分析技术(EPMA)测定后,对... 为了解冬季采暖期交通路口大气细颗粒物(PM_(2.5))成分随时间变化规律及影响因素,于2011年12月19日-23日每日8:30、11:30、14:30、17:30左右在太原市主城区典型交通路口采集大气PM_(2.5)样品20组,经电子探针微区分析技术(EPMA)测定后,对1 678个颗粒的二次电子像和X-射线能谱进行了分析,结果表明:(1)矿物尘和含碳颗粒占样品总数80%以上,含硫的反应矿物尘是含氮的2.5倍;(2)在每天4个不同采样时段,初级矿物尘、有机碳(OC)及富铁颗粒相对丰度的变化均无统计学意义(P>0.05),但元素碳(EC)和反应矿物尘的变化差异均显著(P<0.05);(3)OC/EC数量比>2且OC、EC相关性差。说明太原市采暖期与交通相关的大气PM_(2.5)成分复杂、来源广泛,其中矿物尘颗粒主要来自工地和道路扬尘,EC以煤炭燃烧和机动车尾气一次排放为主;OC受一次排放及二次产生的共同影响;富铁颗粒含量比较恒定,可能受机动车影响较大。 展开更多
关键词 太原市 交通环境细颗粒物 单颗粒分析 电子探针分析技术
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