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微光电机械系统在光通信中的应用 被引量:3
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作者 李文宇 马君显 杨淑雯 《深圳大学学报(理工版)》 EI CAS 2002年第3期43-48,共6页
介绍微光电机械系统(MOEMS)技术在国内外的发展现状,通过多个应用实例和方案,展示了其在光通信领域的广阔应用前景.
关键词 微光电机械系统 电机系统 光通信 光交换
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微型光谱仪的发展现状 被引量:43
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作者 鞠挥 吴一辉 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第4期372-376,共5页
光谱仪是种类繁多、应用极为广泛的一种理化分析仪器,微加工技术的发展和MEMS(微机电系统)、MOEMS(微光机电系统)技术的出现为其微小型化提供了可能性,本文着重就采用新型滤光技术的微型光谱仪、利用光纤制作的微型光谱... 光谱仪是种类繁多、应用极为广泛的一种理化分析仪器,微加工技术的发展和MEMS(微机电系统)、MOEMS(微光机电系统)技术的出现为其微小型化提供了可能性,本文着重就采用新型滤光技术的微型光谱仪、利用光纤制作的微型光谱仪以及集成式光谱仪进行介绍。光谱仪的微小型化是我国微型仪器的一个重要发展方向。 展开更多
关键词 微光电机械系统 光学纤维 光谱仪 MEMS MOEMS
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