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微光电子机械系统技术及其应用被引量：3: 1; 作者李红光《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第11期1-3,7,共4页; 概述微光电子机械系统(MOEMS)技术发展历史,分析其现状。以美国陆军研究开发和工程指挥部的"战略研究规划"中的7个研究领域为例,分析MOEMS技术应用潜力和未来发展趋势。提出现在MOEMS工程遇到的技术挑战:MOEMS加工工艺,达到... 展开更多; 关键词微光电子机械系统微电子机械系统微系统微结构小型系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

MOEMS光学系统的发展与应用被引量：3: 2; 作者耿凡《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2005年第1期110-113,共4页; 概述了MOEMS光学系统的种类和特点,介绍了几种主要的MOEMS光学产品、机理和应用方向,阐明了其作为光电技术的前沿所具有的重要作用和广阔前景,提出了相关的研究建议。; 关键词微光电子机械系统光学系统制作技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

体硅MOEMS阵列光开关的制作被引量：2: 3; 作者董玮梁静秋 +5 位作者刘彩霞张歆东贾翠萍周敬然王立军陈维友《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第8期573-575,587,共4页; 设计了一种新型结构的MOEMS阵列光开关,开关由上电极阵列、倾斜下电极阵列和准直光纤阵列三部分组成。上电极阵列利用(110)硅片制作,其中包括反射镜阵列和扭臂驱动结构的上电极阵列。具有集成性好,制作工艺简单,微反射镜的表面平整垂直... 展开更多; 关键词光开关阵列微光电子机械系统微反射镜倾斜下电极; 在线阅读下载PDF 职称材料

MOEMS 2D扫描镜的研究进展被引量：3: 4; 作者马天义余跃 +1 位作者许敬吴建东《传感器与微系统》 CSCD 2016年第6期1-3,8,共4页; 微光电子机械系统(MOEMS)扫描镜凭借其在成本、功耗和封装上的优势,在军民用多领域都有广泛的应用前景。在分析MOEMS扫描镜的分类方式的基础上,针对静电驱动中的微机械集成方式,展开框架式和无框架式两种MOEMS扫描镜的工作原理的探讨,... 展开更多; 关键词微光电子机械系统扫描镜静电驱动框架式; 在线阅读下载PDF 职称材料

光学镜头、光学零部件: 5; 《中国光学》 EI CAS 2001年第6期3-4,共2页; TH703 2001063768微镜单元的设计与加工工艺研究=Research on design and fabrication process of micromirror cell[刊,中]/蒋军彪,冯培德,魏芳琳,徐建东(飞行自动控制所.陕西,西安(710065))//航空精密制造技术.—2001,37(1).; 关键词飞行自动控制微镜单元微光学电子机械系统工艺研究精密制造技术角锥棱镜微型反射镜阵列矩阵光学光学镜头应用前景; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微光电子机械系统技术及其应用被引量：3: 1; 作者李红光; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第11期1-3,7,共4页; 文摘概述微光电子机械系统(MOEMS)技术发展历史,分析其现状。以美国陆军研究开发和工程指挥部的"战略研究规划"中的7个研究领域为例,分析MOEMS技术应用潜力和未来发展趋势。提出现在MOEMS工程遇到的技术挑战:MOEMS加工工艺,达到全反射的光学表面的加工工艺,可与电子线路和MOEMS集成兼容的CMOS半导体材料,MOEMS器件的组装。; 关键词微光电子机械系统微电子机械系统微系统微结构小型系统; Keywords micro-opto-eletro-mechanical system（MOEMS） MEMS microsystems microstructures miniature system; 分类号 TN256 [电子电信—物理电子学] TN252 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MOEMS光学系统的发展与应用被引量：3: 2; 作者耿凡; 机构天津津航技术物理研究所; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2005年第1期110-113,共4页; 文摘概述了MOEMS光学系统的种类和特点,介绍了几种主要的MOEMS光学产品、机理和应用方向,阐明了其作为光电技术的前沿所具有的重要作用和广阔前景,提出了相关的研究建议。; 关键词微光电子机械系统光学系统制作技术; Keywords Electrooptical effects Fabrication Microelectromechanical devices Optoelectronic devices Technology; 分类号 TN2 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名体硅MOEMS阵列光开关的制作被引量：2: 3; 作者董玮梁静秋刘彩霞张歆东贾翠萍周敬然王立军陈维友; 机构中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林大学电子科学与工程学院; 出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第8期573-575,587,共4页; 基金国家自然科学基金项目(60377019) 吉林省科技发展计划项目(20050319); 文摘设计了一种新型结构的MOEMS阵列光开关,开关由上电极阵列、倾斜下电极阵列和准直光纤阵列三部分组成。上电极阵列利用(110)硅片制作,其中包括反射镜阵列和扭臂驱动结构的上电极阵列。具有集成性好,制作工艺简单,微反射镜的表面平整垂直,各单元的微镜面平行,反射镜面的尺寸较大等优点。对光开关的参数进行了测试,指出了体硅MOEMS阵列光开关制作过程中存在的问题。; 关键词光开关阵列微光电子机械系统微反射镜倾斜下电极; Keywords optical switch array MOEMS reflective micro mirror slant counter electrode; 分类号 TN25 [电子电信—物理电子学] TN929.11 [电子电信—通信与信息系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MOEMS 2D扫描镜的研究进展被引量：3: 4; 作者马天义余跃许敬吴建东; 机构上海航天控制技术研究所中国航天科技集团公司红外探测技术研发中心; 出处《传感器与微系统》 CSCD 2016年第6期1-3,8,共4页; 文摘微光电子机械系统(MOEMS)扫描镜凭借其在成本、功耗和封装上的优势,在军民用多领域都有广泛的应用前景。在分析MOEMS扫描镜的分类方式的基础上,针对静电驱动中的微机械集成方式,展开框架式和无框架式两种MOEMS扫描镜的工作原理的探讨,并给出了典型产品及系统应用,总结了目前在MOEMS扫描镜的系统应用方面存在的难点问题。介绍了国内MOEMS扫描镜的研究现状,并分析了与国外产品的差距。; 关键词微光电子机械系统扫描镜静电驱动框架式; Keywords micro-opto-electro-mechanical system（MOEMS） scanning mirror electrostatic drive frame style; 分类号 TN27 [电子电信—物理电子学] TN249 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名光学镜头、光学零部件: 5; 出处《中国光学》 EI CAS 2001年第6期3-4,共2页; 文摘 TH703 2001063768微镜单元的设计与加工工艺研究=Research on design and fabrication process of micromirror cell[刊,中]/蒋军彪,冯培德,魏芳琳,徐建东(飞行自动控制所.陕西,西安(710065))//航空精密制造技术.—2001,37(1).; 关键词飞行自动控制微镜单元微光学电子机械系统工艺研究精密制造技术角锥棱镜微型反射镜阵列矩阵光学光学镜头应用前景; 分类号 TH74 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	微光电子机械系统技术及其应用	李红光	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2011	3	在线阅读下载PDF 职称材料
2	MOEMS光学系统的发展与应用	耿凡	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2005	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	体硅MOEMS阵列光开关的制作	董玮梁静秋刘彩霞张歆东贾翠萍周敬然王立军陈维友	《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心	2006	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	MOEMS 2D扫描镜的研究进展	马天义余跃许敬吴建东	《传感器与微系统》 CSCD	2016	3	在线阅读下载PDF 职称材料
5	光学镜头、光学零部件		《中国光学》 EI CAS	2001	0	在线阅读下载PDF 职称材料