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引信微光机电系统安全系统研究现状与发展趋势 被引量:1
1
作者 张笑 谢晋 +2 位作者 熊壮 张德 代俊 《探测与控制学报》 CSCD 北大核心 2024年第1期1-11,共11页
随着引信微小型化和智能化不断发展,电磁兼容性要求不断提升,对其安全系统提出了更高的要求。基于微光机电系统(MOEMS)技术的器件具有体积小、重量轻、能耗低、集成度高和可批量生产等特点,在引信安全系统中有较好的应用前景。对引信MO... 随着引信微小型化和智能化不断发展,电磁兼容性要求不断提升,对其安全系统提出了更高的要求。基于微光机电系统(MOEMS)技术的器件具有体积小、重量轻、能耗低、集成度高和可批量生产等特点,在引信安全系统中有较好的应用前景。对引信MOEMS安全系统的国内外研究现状开展分析,介绍了引信MOEMS安全系统的基本原理,分析了MOEMS安全系统驱动方式、加工与封装工艺、激光起爆技术与安全系统性能测试方法的现状与发展规律,归纳了当前引信MOEMS安全系统研制过程中亟待解决的问题,为推动MOEMS安全系统在火炮引信中的应用提供重要的借鉴。 展开更多
关键词 微光机电系统 引信安全系统 安全与解除隔离装置 激光起爆
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微光机电系统封装芯片粘结剂层温度循环应力应变分析 被引量:1
2
作者 梁颖 黄春跃 +2 位作者 张欣 黄伟 李天明 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期6-10,129,共5页
对微光机电系统(micro optical electro mechanical systems,MOEMS)芯片粘结剂层进行了温度循环应力应变有限元分析.以粘结剂厚度、溢出高度和溢出宽度三个结构参数作为关键因素,采用正交表设计了25种不同水平组合的粘结剂层,获取了25... 对微光机电系统(micro optical electro mechanical systems,MOEMS)芯片粘结剂层进行了温度循环应力应变有限元分析.以粘结剂厚度、溢出高度和溢出宽度三个结构参数作为关键因素,采用正交表设计了25种不同水平组合的粘结剂层,获取了25组应力应变数据并进行方差分析.结果表明,在置信度95%时,粘结层厚度和溢出宽度对应力有显著影响;粘结层厚度对应变有显著影响;各因素对应力应变影响排序为:粘结层厚度影响最大,其次是溢出宽度,最后是溢出高度;粘结剂层内最大应力应变随粘结剂层厚度和溢出宽度的增加而减小. 展开更多
关键词 微光机电系统 粘结剂 温度循环加载 有限元分析 方差分析
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环形静电排斥旋转驱动器微光机电系统微镜
3
作者 马文英 魏耀华 +1 位作者 汪为民 王强 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期29-33,共5页
微光机电系统(MOEMS)微镜在激光显示、光束扫描、自适应光学等领域都有重要应用。现有的MOEMS微镜驱动器一般为静电吸引型,难以克服其吸合效应造成的各种问题,同时,方形的驱动器难以与圆形的镜面形成良好匹配,填充比较低。提出了一种环... 微光机电系统(MOEMS)微镜在激光显示、光束扫描、自适应光学等领域都有重要应用。现有的MOEMS微镜驱动器一般为静电吸引型,难以克服其吸合效应造成的各种问题,同时,方形的驱动器难以与圆形的镜面形成良好匹配,填充比较低。提出了一种环形静电排斥驱动器的MOEMS微镜,该静电排斥驱动器以环形排列,并围绕在镜面的周围,达到了与圆形镜面的良好匹配。所设计的微镜口径为204μm,并利用PolyMUMPS表面工艺进行加工。模拟仿真及实验测试结果显示,该微镜具有0.62°的最大旋转角,494μs的响应时间和1.191kHz的工作带宽,适用于一般光束扫描等的应用需求。 展开更多
关键词 微光机电系统 微镜 表面工艺 静电排斥 环形驱动器 旋转角
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微光机电引信芯片光纤抗高过载设计方法
4
作者 张笑 谢晋 +2 位作者 曹骏 代俊 张德 《探测与控制学报》 CSCD 北大核心 2024年第6期29-36,45,共9页
针对微光机电系统(MOEMS)芯片在中大口径榴弹炮引信中的应用需求,提出一种MOEMS封装方法。通过在光纤槽部分设计光纤定位结构,实现光纤的被动对准,光纤对准后在芯片外部使用环氧胶对光纤进行轴向的可靠固定。采用ANSYS Workbench软件对... 针对微光机电系统(MOEMS)芯片在中大口径榴弹炮引信中的应用需求,提出一种MOEMS封装方法。通过在光纤槽部分设计光纤定位结构,实现光纤的被动对准,光纤对准后在芯片外部使用环氧胶对光纤进行轴向的可靠固定。采用ANSYS Workbench软件对光纤定位结构进行有限元仿真分析,通过力锤试验与高速离心试验完成光纤光路的抗高过载能力测试。仿真与试验结果表明,封装后的光纤光路在勤务处理意外跌落环境与正常发射环境中均能实现光能的稳定传输,对于推动MOEMS技术在中大口径榴弹炮引信中的应用具有一定意义。 展开更多
关键词 微光机电系统 引信 光纤 高过载 封装
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微光学机电系统的发展和应用 被引量:4
5
作者 傅丹鹰 殷纯永 乌崇德 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1998年第4期7-14,共8页
论述了微光学机电系统(MOEMS)的研究状况和已研制的系统的结构工艺与工作原理,对其发展和应用前景进行讨论。
关键词 微光机电系统 微机械 MEMS MOEMS 结构工艺
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微光机电(MOEMS)陀螺的技术及发展 被引量:12
6
作者 林恒 刘惠兰 +1 位作者 杨德伟 张春熹 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2005年第2期85-88,共4页
提出微光机电(MOEMS)惯性器件技术,对其优势和研究价值进行了理论分析。介绍了国外MOEMS陀螺的工作原理、结构、性能指标及研究状况,初步探讨了微光机电陀螺的应用前景和技术发展途径,以及惯性器件的发展方向。
关键词 陀螺仪 微光机电系统 惯性器件 发展方向 性能指标
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基于Fabry-Perot干涉仪的闭环微光机电加速度计 被引量:3
7
作者 冯丽爽 刘惠兰 +1 位作者 林恒 张春熹 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期691-694,共4页
设计了一种闭环反馈差动式双FP腔的微光机电(MOEMS)加速度计,介绍了其工作原理及系统构成.利用惯性敏感单元将对载体加速度的测量转变为对载体位移的测量,利用光纤自聚焦透镜的端面与质量块组成的FP腔测量载体位移.为了提高系统的测量... 设计了一种闭环反馈差动式双FP腔的微光机电(MOEMS)加速度计,介绍了其工作原理及系统构成.利用惯性敏感单元将对载体加速度的测量转变为对载体位移的测量,利用光纤自聚焦透镜的端面与质量块组成的FP腔测量载体位移.为了提高系统的测量灵敏度和抑制温度等环境因素的影响,设计了一种差动式双FP腔测量机构.为提高微加速度计的输出线性度和动态测量范围,提出了采用静电力平衡技术构成闭环加速度计.建立了其数学模型,对所设计的加速度计重要参数指标———灵敏度、敏感头受载、固有频率等一一进行了详细计算和分析.在此基础上完成了设计背景要求下加速度计参数的优化设计,结果表明:该系统精度可以达到5×10-6g以上. 展开更多
关键词 微光机电系统 加速度计 法布里-珀罗干涉仪 闭环
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光纤读出的微光机电振动传感器 被引量:1
8
作者 肖文 李瑞 +1 位作者 刘德文 伊小素 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1358-1361,共4页
针对采用半导体工艺加工的微机械结构对振动进行测量的问题,提出了基微光机电系统(MOEMS)结构并采用光纤读出的振动传感器的设计方案,分析了该传感器的基本测量原理并推导了数学模型.该传感器采用单光纤的读出方式,利用固定于探测器敏... 针对采用半导体工艺加工的微机械结构对振动进行测量的问题,提出了基微光机电系统(MOEMS)结构并采用光纤读出的振动传感器的设计方案,分析了该传感器的基本测量原理并推导了数学模型.该传感器采用单光纤的读出方式,利用固定于探测器敏感头前端的微结构感受待测物体的振动,通过测量由微结构振动引起的反射光强度的变化,实现对振动的测量.单光纤结构的使用和微结构参数的合理设计,使得该系统与传统的光纤读出系统相比,具有灵敏度高、尺寸小、易于同光纤匹配的特点.应用该系统对压电陶瓷的振动情况进行测量,可探测到0.18 nm的位移. 展开更多
关键词 微光机电系统(MOEMS) 微振动传感器 反射光强
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微光机电陀螺微致动器设计与有限元分析
9
作者 林恒 单志刚 +2 位作者 王广龙 刘惠兰 冯丽爽 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期567-570,共4页
提出了一种锆钛酸铅(PZT)薄膜微致动器的结构模型。该致动器采用高d33特性的压电陶瓷材料,用于对空间谐振式微光机电(MOEMS)陀螺微镜进行位移和角度的精确定位。建立了该致动器的简化模型并利用有限元方法分析其驱动能力。结果显示,当... 提出了一种锆钛酸铅(PZT)薄膜微致动器的结构模型。该致动器采用高d33特性的压电陶瓷材料,用于对空间谐振式微光机电(MOEMS)陀螺微镜进行位移和角度的精确定位。建立了该致动器的简化模型并利用有限元方法分析其驱动能力。结果显示,当采用双层结构的PZT薄膜微致动器时,在外加电压50V作用下,环形PZT位移控制器中心位移可达到0.345μm;十字形角度控制器偏转角度可达3.29″,增加PZT薄膜的层数可以进一步增加致动器对微镜位移和角度的控制能力。通过对仿真结果进行分析可以得出结论,选用多层PZT薄膜材料制成的微致动器能够满足调整微镜位移和角度所需的范围和精度要求。 展开更多
关键词 微光机电系统 陀螺 致动器 压电陶瓷 仿真
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电荷耦合器件积分时间对微型成像系统成像质量的影响 被引量:1
10
作者 宋勇 郝群 王涌天 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期338-341,共4页
在光圈固定的情况下 ,确定合适的积分时间对于提高微型电荷耦合器件 (CCD)成像系统的成像质量 ,增强微型飞行器的侦察能力具有十分重要的意义。本文讨论了决定CCD积分时间的各种因素 ,重点研究了适用于微型飞行器的CCD成像系统的积分时... 在光圈固定的情况下 ,确定合适的积分时间对于提高微型电荷耦合器件 (CCD)成像系统的成像质量 ,增强微型飞行器的侦察能力具有十分重要的意义。本文讨论了决定CCD积分时间的各种因素 ,重点研究了适用于微型飞行器的CCD成像系统的积分时间与像移的关系 ,并进一步推导了计算像移量的相关数学模型。利用该模型对不同积分时间内采集的运动图像进行了像质评价 ,结果表明 ,在保证曝光量的前提下 ,当像移量被限制在 1个像素内时 。 展开更多
关键词 电荷耦合器件 积分时间 成像系统 成像质量 CCD 曝光量 噪声 像移 微光机电系统
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闪耀式光栅光调制器及其机电耦合分析与仿真
11
作者 闫许 黄尚廉 +2 位作者 张洁 张智海 陈伟民 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期227-230,共4页
提出一种基于微悬臂梁结构的新型闪耀式光栅光调制器,介绍其结构组成及工作原理.建立了器件的两种假设受力模型Ⅰ、模型Ⅱ,根据极小势能原理推导出器件变形方程,通过瑞利-里茨法则得出器件的固有频率,从理论上分析器件的结构尺寸、材料... 提出一种基于微悬臂梁结构的新型闪耀式光栅光调制器,介绍其结构组成及工作原理.建立了器件的两种假设受力模型Ⅰ、模型Ⅱ,根据极小势能原理推导出器件变形方程,通过瑞利-里茨法则得出器件的固有频率,从理论上分析器件的结构尺寸、材料性能对吸合电压、固有频率的影响.最后通过Coventorware软件对器件进行机电耦合仿真,通过对比,模型Ⅱ更为合理,分析结果为器件的制造提供了理论依据. 展开更多
关键词 微光机电系统 光栅光调制器 悬臂梁 机电特性
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基于WGM谐振腔系统的陀螺仪光学检测方法研究 被引量:1
12
作者 宫旭亮 夏敦柱 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2021年第8期31-34,共4页
提出微光机电系统陀螺仪的光学检测方法,设计了由光栅耦合器、回音壁模式谐振腔和光波导组成的微光学检测器件,实现与盘式谐振陀螺仪的单片集成。理论分析了谐振腔的谱线漂移和耦合机制,通过调整结构参数得到品质因数为5 303.1。分析了... 提出微光机电系统陀螺仪的光学检测方法,设计了由光栅耦合器、回音壁模式谐振腔和光波导组成的微光学检测器件,实现与盘式谐振陀螺仪的单片集成。理论分析了谐振腔的谱线漂移和耦合机制,通过调整结构参数得到品质因数为5 303.1。分析了光栅周期、刻蚀深度、入射角和上包层对光栅耦合器耦合效率的影响,通过不断优化调整最终实现了51.5%的水平耦合。最后对实验测试结果进行讨论。 展开更多
关键词 微光机电系统 回音壁模式 品质因数 光栅耦合器 耦合效率
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新型傅里叶变换光谱仪信号采集系统光学设计及仿真
13
作者 杨艺宁 朱永 +3 位作者 陈建君 李阳 刘宇 王宁 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第S1期184-187,共4页
将基于微光机电系统的微镜阵列与倾斜反射镜相结合,构建应用于中红外波段的微型化便携式傅里叶变换光谱仪.在阐述了该光谱仪工作原理的基础上,通过对微镜衍射特性分析,提出了信号采集系统光路设计要求,并结合ZEMAX软件进行了光学设计与... 将基于微光机电系统的微镜阵列与倾斜反射镜相结合,构建应用于中红外波段的微型化便携式傅里叶变换光谱仪.在阐述了该光谱仪工作原理的基础上,通过对微镜衍射特性分析,提出了信号采集系统光路设计要求,并结合ZEMAX软件进行了光学设计与仿真,结果表明:在2.5~3.5μm波长范围内,保证微镜选通列与非选通列间反射光互不干扰的情况下,本文所设计的信号采集系统可将80%以上的干涉信号会聚到5mm×5mm的单点探测器中. 展开更多
关键词 微光机电系统 中红外 傅里叶变换 光学设计
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一种采用微硅片狭缝的新型微小型光纤光谱仪 被引量:17
14
作者 周连群 吴一辉 +3 位作者 张平 宣明 贾宏光 李正刚 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期637-642,共6页
研制了一种采用微硅片狭缝代替传统机械狭缝的微小型光纤光谱仪。采用MEMS(微机电系统)工艺制造出了体积小、厚度薄的一体式微硅片狭缝,并分析了微硅片狭缝的狭缝不平直度对微小型光纤光谱仪分辨率的影响,通过测试系统分辨率的实验,验... 研制了一种采用微硅片狭缝代替传统机械狭缝的微小型光纤光谱仪。采用MEMS(微机电系统)工艺制造出了体积小、厚度薄的一体式微硅片狭缝,并分析了微硅片狭缝的狭缝不平直度对微小型光纤光谱仪分辨率的影响,通过测试系统分辨率的实验,验证了采用微硅片狭缝的可行性。同时,对微小型光纤光谱仪的光谱带宽和像元分辨力进行了讨论,为波长的标定提供了一种理论依据。通过对采集的汞灯谱线的分析和MATLAB的精确计算,验证了所提出的通用波长-像元迭代公式的正确性,从而研制出了一种采用微硅片狭缝的半峰全宽为0.85 nm,波长标定精度小于0.2 nm,体积为50 mm×46 mm×14 mm的微小型光纤光谱仪。 展开更多
关键词 微硅片狭缝 微小型光纤光谱仪 微光机电系统 分辨率 波长标定公式
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空间调制微型傅里叶变换红外光谱仪研究 被引量:22
15
作者 梁静秋 梁中翥 +3 位作者 吕金光 秦余欣 田超 王维彪 《中国光学》 EI CAS CSCD 2015年第2期277-298,共22页
针对目前环境、医疗、空间、气象、军事及安全等领域对傅里叶变换红外光谱仪微小型化、轻量化及固态化的迫切需求,提出并研究了一种以MOEMS多级微反射镜为核心器件的空间调制微型傅里叶变换红外光谱仪。在理论研究方面,建立了空间调制... 针对目前环境、医疗、空间、气象、军事及安全等领域对傅里叶变换红外光谱仪微小型化、轻量化及固态化的迫切需求,提出并研究了一种以MOEMS多级微反射镜为核心器件的空间调制微型傅里叶变换红外光谱仪。在理论研究方面,建立了空间调制微型傅里叶变换红外光谱仪的物理模型,探究了该系统的光场分割与空间采样的光学原理;分析了多级微反射镜的衍射效应,提出了一种通过补边抑制衍射噪声抑制方法;进行了多级微反射镜采样误差的分析,并提出了基于最小二乘拟合的修正算法;通过对光源空间相干性、准直系统像差以及入射光场均匀性的分析,确定了光学系统的总体设计指标;通过对多级微反射镜基片加工精度、分束器材料色散特性和膜层透射效率等的计算分析,确定了干涉系统的设计方法与技术参数。在核心技术方面,提出了两个多级微反射镜的3种制作方法,分析了制作误差的来源及对系统性能的影响。通过工艺设计及实验条件探索,分别采用电铸法、真空镀膜法以及斜面倾角叠片法制作了两个多级微反射镜。在系统设计方面,进行了红外准直与缩束系统的光学设计,对整体光机系统进行了建模仿真,分析了杂散光噪声的来源。在图谱处理方面,利用过零采样方式,通过图像分割算法,获取了干涉图采样序列;通过对干涉图序列的插值、补零、延拓与卷积方法,完成了光谱相位误差的校正;通过离散傅里叶变换解调,实现了由干涉图像到信号光谱的数据反演。最后研究了系统光机整体的集成组装技术,并对原理样机进行了实验测试。本文研制的空间调制微型傅里叶变换红外光谱仪的特点在于:取消了动镜驱动机构与采样控制机构,具有微小型与轻量化的特点;干涉图的采样由多级微反射镜完成,其空间采样的方式增加了系统的稳定性与可靠性,实时采样的特点增加了系统的快速性与有效性;多级微反射镜阵列采用MOEMS工艺技术制作,增加了系统的采样精度。该光谱仪系统的结构及制作方法具有自主知识产权,并具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 红外光谱仪 傅里叶变换红外光谱仪 微型 微光机电系统
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微型MOEMS阿达玛变换近红外光谱仪 被引量:11
16
作者 张智海 莫祥霞 +1 位作者 郭媛君 王伟 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1975-1979,共5页
提出一种运用微光机电系统(micro-opto-electro-mechanical systems,MOEMS)闪耀光栅,动态产生阿达玛变换模版的微型近红外光谱仪。它具有体积小、价格低、扫描速度快等突出优点。分析了这种新型近红外光谱仪的结构和工作原理,通过对MO... 提出一种运用微光机电系统(micro-opto-electro-mechanical systems,MOEMS)闪耀光栅,动态产生阿达玛变换模版的微型近红外光谱仪。它具有体积小、价格低、扫描速度快等突出优点。分析了这种新型近红外光谱仪的结构和工作原理,通过对MOEMS闪耀光栅编程,动态生成了63阶阿达玛模版。实验得到的光谱波形与岛津光谱仪测量结果吻合。检测波长范围为900-1 500 nm,分辨率为19 nm,单次扫描时间2.4s,信噪比为44.67∶1,光路尺寸为70 mm×130 mm,总体重量〈1 kg,符合实时、便携的要求。 展开更多
关键词 近红外光谱仪 阿达玛变换 微光机电系统 闪耀光栅
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多台阶平板静电驱动的高占空比微镜阵列的研制 被引量:6
17
作者 李四华 徐静 +2 位作者 龙亮 钟少龙 吴亚明 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期1816-1823,共8页
为了在限定驱动电压下获得大镜面尺寸、大扭转角度的微镜阵列,提出了一种多台阶平板静电驱动结构的微镜阵列。理论分析了多台阶平板结构与平行平板结构在静电驱动时的区别。研究了多台阶平板结构的制作工艺并采用体硅加工工艺制作了多... 为了在限定驱动电压下获得大镜面尺寸、大扭转角度的微镜阵列,提出了一种多台阶平板静电驱动结构的微镜阵列。理论分析了多台阶平板结构与平行平板结构在静电驱动时的区别。研究了多台阶平板结构的制作工艺并采用体硅加工工艺制作了多台阶平板静电驱动的微镜阵列,获得了微镜面尺寸达到600μm×200μm,包含52个微镜面排布,占空比高达97%的微镜阵列。测试表明,制作的微镜面结构在驱动电压为164 V时可以实现最大1.1°的扭转角度,相对于传统的平行平板静电驱动结构大大降低了驱动电压。 展开更多
关键词 微光机电系统 多台阶平板 平行平板 静电驱动 微镜阵列 高占空比
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MOEMS陀螺的谐振腔设计 被引量:7
18
作者 冯丽爽 刘惠兰 +1 位作者 贺斌 王广龙 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1373-1376,共4页
微光机电(MOEMS)陀螺代表着微型光学陀螺的重要发展方向,而MOEMS谐振腔的设计是谐振式MOEMS陀螺的核心技术.提出了一种新颖的基于微纳米加工技术的MOEMS空间谐振腔结构,介绍了其工作原理和系统构成.建立了谐振腔的数学模型,并利用MATLA... 微光机电(MOEMS)陀螺代表着微型光学陀螺的重要发展方向,而MOEMS谐振腔的设计是谐振式MOEMS陀螺的核心技术.提出了一种新颖的基于微纳米加工技术的MOEMS空间谐振腔结构,介绍了其工作原理和系统构成.建立了谐振腔的数学模型,并利用MATLAB软件对其重要参数进行了仿真计算及分析.为提高谐振腔清晰度及系统测量精度,优化了谐振腔输入输出镜的技术指标,并在此基础上完成了谐振腔的微加工工艺设计.结果表明:所设计的谐振腔清晰度可以达到346,陀螺极限灵敏度为0.25(°)/h,同时可以有效克服克尔效应、背向散射、偏振等光路噪声的影响. 展开更多
关键词 微光机电系统(MOEMS) 陀螺 谐振腔 微镜 微纳米加工
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微型光扫描器研究 被引量:6
19
作者 黄鹰 向思桦 +2 位作者 陈四海 赖建军 易新建 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期26-29,共4页
设计了由正负微透镜阵列和压电陶瓷驱动器组成的微型光扫描器,它工作于中、短波红外光及可见光等波段,微透镜阵列规模为256×256元、单元直径为50μm,扫描视场角约为6.6°,扫描频率可达200Hz,体积小到几个立方厘米.实验测试表... 设计了由正负微透镜阵列和压电陶瓷驱动器组成的微型光扫描器,它工作于中、短波红外光及可见光等波段,微透镜阵列规模为256×256元、单元直径为50μm,扫描视场角约为6.6°,扫描频率可达200Hz,体积小到几个立方厘米.实验测试表明微扫描器的设计参数与实验测量结果基本相符. 展开更多
关键词 微透镜阵列 压电驱动器 微光机电系统 微型光扫描器
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光栅平动式光调制器光学特性分析(英文) 被引量:5
20
作者 黄尚廉 闫许 +2 位作者 张洁 张智海 付红桥 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期749-753,共5页
提出了一种基于微光机电系统的可用于投影显示及相关器件的新型光栅光调制器,介绍了其结构、工作原理和加工流程。对器件进行光学分析,优化和仿真,得出器件结构参数与光学特性之间关系。器件的可动光栅占空比e=0.5,光栅常数d=6μm,长度L... 提出了一种基于微光机电系统的可用于投影显示及相关器件的新型光栅光调制器,介绍了其结构、工作原理和加工流程。对器件进行光学分析,优化和仿真,得出器件结构参数与光学特性之间关系。器件的可动光栅占空比e=0.5,光栅常数d=6μm,长度L=39μm,宽度w=36μm,边距w0=1.5μm时,理论上±1级衍射效率η=37.0%,对比度V=625;可动光栅与下电极在开态和关态时间距分别为0.65μm和0.78μm,器件单像素尺寸为51μm×51μm。 展开更多
关键词 微光机电系统 空间光调制器 光栅衍射 光学分析 仿真
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