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题名微光学机电系统的发展和应用
被引量：4
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作者
傅丹鹰
殷纯永
乌崇德
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机构
清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术及仪器国家重点实验室
北京空间机电研究所
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出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1998年第4期7-14,共8页
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文摘
论述了微光学机电系统（ＭＯＥＭＳ）的研究状况和已研制的系统的结构工艺与工作原理，对其发展和应用前景进行讨论。
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关键词
微光学机电系统
微机械
MEMS
MOEMS
结构工艺
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Keywords
Micro opto electro mechanical systems(MOEMS),Micromechanics
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分类号
TH－39
[机械工程]
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题名光电集成与器件
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出处
《中国光学》
EI
CAS
1999年第3期46-46,共1页
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文摘
TN256 99031717微系统集成技术研究的动向=Progress in microsystemsintegrated technology[刊,中]/钟先信,李建蜀,肖沙里,徐涛,朱维安(重庆大学微系统研究中心.重庆(63001 4)),缪秀娥(华南理工大学机电工程系.广东,广州(510641))//光学精密工程.—1998。
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关键词
微系统集成技术
精密工程
机电工程系
华南理工大学
光电集成
微光学机电系统
微系统技术
重庆大学
徐涛
广东
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分类号
TN256
[电子电信—物理电子学]
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