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超衍射分辨率的微光学器件 被引量:2
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作者 邬敏贤 刘海松 +1 位作者 金国藩 严瑛白 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期264-268,共5页
本文综合了菲涅耳透镜在焦面处能量集中和圆锥透镜在传播范围内无扩散的特点,设计了一种新型的超衍射分辨率的微光学器件,实现了在沿光轴方向约1mm范围内光斑直径(40μm)基本保持不变的性能,采用二元光学原理设计成8位相的... 本文综合了菲涅耳透镜在焦面处能量集中和圆锥透镜在传播范围内无扩散的特点,设计了一种新型的超衍射分辨率的微光学器件,实现了在沿光轴方向约1mm范围内光斑直径(40μm)基本保持不变的性能,采用二元光学原理设计成8位相的微光学器件并用微电子工艺研制加工。本文推导了设计该器件结构参数的公式,对器件的性能作了计算机模拟计算和实验测试,得到二者相一致的结果。 展开更多
关键词 超衍射分辨率 无衍射光束 圆锥透镜 超分辨率 微光学器件 二元光器件 传播特性 无扩散 普通透镜 光斑尺寸
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微光学器件及其应用前景 被引量:1
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作者 邬敏贤 金国藩 严瑛白 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期98-102,共5页
本文简述了几种微光学器件的研制及其应用前景。讨论了微光学在促进光学传感器小型化方面的作用,展望了微光学、微电子与微机械三者组合集成的发展趋势。
关键词 微光学器件 衍射效率 光盘读出头 微光元件 光栅 微机械 透镜阵列 小型化 计算全息 设计
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新型液晶微光学器件—分子取向的设计和先进光刻技术
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作者 新型 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2019年第2期274-274,共1页
近日,肯特州立大学液晶研究所的韦齐和教授所率领的研究组,成功地将液晶光学器件用于高斯激光光束的整形。在该文中,根据广义Snell定律与Pancharatnam-Berry(PB)相,他们通过设计局域的液晶分子排布便可以直接作用于入射光束的局域相位,... 近日,肯特州立大学液晶研究所的韦齐和教授所率领的研究组,成功地将液晶光学器件用于高斯激光光束的整形。在该文中,根据广义Snell定律与Pancharatnam-Berry(PB)相,他们通过设计局域的液晶分子排布便可以直接作用于入射光束的局域相位,进而修改透射光束的形状和光强分布。 展开更多
关键词 微光学器件 液晶分子 光刻技术 分子取向 设计 Snell定律 州立大 激光光束
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多位相Talbot光栅阵列器件的研制 被引量:1
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作者 严瑛白 金国藩 +1 位作者 邬敏贤 王旭 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期352-355,共4页
本文提出了一种基于分数Talbot效应的菲涅耳衍射型多位相光栅阵列器件的设计方法,并研制了9阶位相的32×32Talbot光栅阵列器,开拓了一种新型微光学器件。文中给出了理论分析与实验结果。
关键词 Talbot光栅 阵列器件 菲涅耳衍射 位相光栅 光栅阵列 纯位相 微光学器件 衍射效率 周期函数 波带透镜
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微流体数字化技术制备聚合物微透镜阵列 被引量:12
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作者 朱晓阳 侯丽雅 +2 位作者 郑悦 王洪成 章维一 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第2期360-368,共9页
基于微流体数字化技术搭建了聚合物微透镜阵列按需喷射制备实验系统。以UV固化胶为喷射材料,将其按需喷射到镀有疏水化薄膜的玻璃基片上,在界面张力和疏水化效应的作用下,形成平凸状的微液滴,再经紫外光固化后形成微透镜阵列。实验研究... 基于微流体数字化技术搭建了聚合物微透镜阵列按需喷射制备实验系统。以UV固化胶为喷射材料,将其按需喷射到镀有疏水化薄膜的玻璃基片上,在界面张力和疏水化效应的作用下,形成平凸状的微液滴,再经紫外光固化后形成微透镜阵列。实验研究了系统参量对稳定微喷射与微透镜直径的影响,稳定微喷射出了黏度值为50×10-3 Pa·s的UV胶,制得了最小直径达25μm的微透镜,进而制备出了直径变异系数C·V达0.64%、焦距均匀性误差为1.7%的15×15微透镜阵列。微透镜在扫描电子显微镜下具有较好的表面形貌,采用白光干涉/轮廓仪(VSI模式)测得其轮廓算术平均偏差Ra为247.99nm(扫描区域:29.4μm×39.3μm),扫描区域轮廓曲线平滑。通过微透镜阵列的成像实验,得到了微透镜阵列所成的清晰实像。实验结果表明,采用微流体数字化技术进行聚合物微透镜阵列的按需喷射制备过程简单、成本低廉、工艺参数稳定;制备的微透镜阵列几何与光学性能优越。 展开更多
关键词 微光学器件 微流体数字化 按需喷射 紫外光固化胶 聚合物微透镜阵列
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非扫描并行三维共焦检测技术综述 被引量:8
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作者 王永红 余晓芬 +2 位作者 俞建卫 黄其圣 徐科军 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第z1期8-11,共4页
共焦测量方法由于其高精度、高分辨率及易于实现三维成像数字化的独特优势而被广泛应用。近年来 ,非扫描三维并行共焦技术引起各国专家的普遍关注 ,该技术将单点扫描变为多路并行探测 ,同步对被测表面的不同点进行检测 ,从而无需扫描实... 共焦测量方法由于其高精度、高分辨率及易于实现三维成像数字化的独特优势而被广泛应用。近年来 ,非扫描三维并行共焦技术引起各国专家的普遍关注 ,该技术将单点扫描变为多路并行探测 ,同步对被测表面的不同点进行检测 ,从而无需扫描实现全场同步测量。该文论述了近年来国内外在共焦并行全场检测技术方面的研究进展 ,介绍了国内外几种并行共焦检测系统的情况 。 展开更多
关键词 三维探测 共焦 并行探测 微光学器件
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紫外固化型聚合物水凝胶的周期图案形成及其调控 被引量:3
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作者 孟想 杨蕊竹 +4 位作者 刘东旭 孙允陆 张世明 徐颖 董文飞 《中国光学》 EI CAS 2012年第4期436-443,共8页
以聚乙二醇二丙烯酸酯型水凝胶(PEGDA)为基底,制备了长程有序的表面褶皱图形,研究了其形成机理以及调控方法。通过调控光交联加工参数,聚合物凝胶表面出现大面积的周期图形阵列,该阵列尺寸可以在101~103μm之间调控,整体图形面积可达mm... 以聚乙二醇二丙烯酸酯型水凝胶(PEGDA)为基底,制备了长程有序的表面褶皱图形,研究了其形成机理以及调控方法。通过调控光交联加工参数,聚合物凝胶表面出现大面积的周期图形阵列,该阵列尺寸可以在101~103μm之间调控,整体图形面积可达mm至cm级。分析表明,褶皱图形的形成主要是由于水汽蒸发过程中PEGDA水凝胶膜表面弯曲与体积压缩之间的竞争作用。 展开更多
关键词 微光学器件 聚合物水凝胶 褶皱图形 周期图案
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焦距递减的多聚焦人工复眼研究(英文) 被引量:1
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作者 罗家赛 郭永彩 王欣 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期8-13,共6页
为了满足轻量化、微型化和大视场的要求,提出了一种焦距递减的多聚焦人工复眼,子眼以同心圆排布,同一同心圆上的子眼具有相同的焦距,从内到外焦距递减.采用光刻胶回流法制作该曲面人工复眼,通过光刻胶的用量与掩膜的设计将每个子眼的焦... 为了满足轻量化、微型化和大视场的要求,提出了一种焦距递减的多聚焦人工复眼,子眼以同心圆排布,同一同心圆上的子眼具有相同的焦距,从内到外焦距递减.采用光刻胶回流法制作该曲面人工复眼,通过光刻胶的用量与掩膜的设计将每个子眼的焦距控制在一个特定的范围,从而使所有的子眼能在同一平面聚焦.为了防止微透镜图形的破坏,采用了负压成型技术,制作了聚二甲基硅氧烷腔室用以在注胶时排除异物与空气.透镜材料Norland81具有良好的光学性能,且曝光时间比Norland61要快3至5倍.利用ZEMAX建立复眼模型并进行了模拟仿真,光线追迹结果表明该模型即使在大视场下也能获得清晰像点. 展开更多
关键词 应用光 复眼 光刻胶回流法 微透镜阵列 多通道成像 微光学器件 光刻胶加工 大视场 设计与制造
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Fluorinated polymer with high thermal stability for fabrication of 32-channel arrayed waveguide grating multiplexer on silicon
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作者 王菲 李艾泽 +4 位作者 孙伟 衣茂斌 姜振华 刘式墉 张大明 《Journal of Central South University of Technology》 EI 2005年第4期366-369,共4页
A cross-linkable fluorinated poly (ether ether ketone) (FPEEK) was synthesized for the fabrication of arrayed waveguide grating (AWG) multiplexer. The results of thermal gravimetric analysis (TGA) and near-infrared ab... A cross-linkable fluorinated poly (ether ether ketone) (FPEEK) was synthesized for the fabrication of arrayed waveguide grating (AWG) multiplexer. The results of thermal gravimetric analysis (TGA) and near-infrared absorption spectrum show that the materials have high thermal stability and high optical transparency in the infrared communication region. The refractive index of FPEEK can be controlled easily by changing the fluorine content of the materials. The 32-channel AWG multiplexer is fabricated using the FPEEK and oxygen reactive ion etching technology. The AWG multiplexer exhibits that the insertion loss is from 12.8 to 17.8 dB and the channel crosstalk is less than-20 dB. The wavelength channel spacing and the center wavelength are 0.8nm and 1548nm, respectively. 展开更多
关键词 wavelength division multiplexing arrayed waveguide grating fluorinated polymer poly (ether ether ketone)
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