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题名基于DMD微光刻的导光板模板的制作方法
被引量：3
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作者
李晓建
朱冀梁
申溯
周小红
陈林森
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机构
苏州大学信息光学工程研究所
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第4期669-673,共5页
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基金
国家自然科学基金(60777039)
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文摘
提出了一种基于数字微反射镜(DMD)微光刻的导光模板的制作方法。导光板的网点单元图形由DMD输入,经过缩微光学成像系统缩微后,在光刻胶干板上逐单元网点曝光,再经过显影、微电铸得到导光板模板,在PC薄板材上用微纳米压印制成导光板,厚度仅为0.381 mm。采用自行研制的SVGwriting-DMD激光直写系统,图形的最小分辨率为2μm,DMD微光刻法无需掩膜版,可实现不同形状、大小、微结构的单元网点图形及网点的排布,便于大幅面的导光板模板的制作。
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关键词
激光直写
数字微反射镜
导光板
微光刻制
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Keywords
laser direct writing
digital micro-mirror device （DMD）
light guide plate （LGP）
micro-lithography
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
TN27
[电子电信—物理电子学]
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