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磁控溅射系统共享效率提升策略及成效分析
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作者 孙家宝 刘志 孙一军 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2024年第11期226-229,246,共5页
针对浙江大学微纳加工中心磁控溅射系统开放共享效率低下的问题,提出了一种基于微信应用程序的新预约管理策略。该策略克服了传统网站预约管理过程中存在的预约时间段分散、靶材种类数超过设备最大限制等诸多不足,同时实现了对设备便捷... 针对浙江大学微纳加工中心磁控溅射系统开放共享效率低下的问题,提出了一种基于微信应用程序的新预约管理策略。该策略克服了传统网站预约管理过程中存在的预约时间段分散、靶材种类数超过设备最大限制等诸多不足,同时实现了对设备便捷高效的预约管理。实践表明:该策略可显著提升设备的使用率、用户的预约效率和设备管理人员的工作效率;与2019年度相比,2023年度设备的年度机时数、使用记录数和用户人数分别由619 h、440条和81人持续提高到2731 h、1765条和261人。该设备在2022、2023年度连续2年获得浙江大学开放共享优秀机组称号。 展开更多
关键词 共享效率提升 磁控溅射镀膜系统 微信预约管理策略 成效分析
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