基于磁性液体磁致伸缩的微位移驱动实验研究 被引量：4

1

作者 陈善飞 王遵义 +1 位作者 薛立新 王正良 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期350-354,共5页

固体的铁磁性材料在磁场作用下有磁致伸缩效应。基于梯度磁场可改变有强磁化特性磁性液体的内压强,从而可改变磁性液体体积的设想,设计制造了一个梯度磁场作用于磁性液体的微位移驱动器,并利用光杠杆放大原理测量它的微位移量。结果表明... 固体的铁磁性材料在磁场作用下有磁致伸缩效应。基于梯度磁场可改变有强磁化特性磁性液体的内压强,从而可改变磁性液体体积的设想,设计制造了一个梯度磁场作用于磁性液体的微位移驱动器,并利用光杠杆放大原理测量它的微位移量。结果表明:基于磁性液体磁致伸缩的微位移驱动器输入电流和输出微位移有较好的线性关系,为微位移驱动器研制提供了一条新的途径。 展开更多

关键词 凝聚态物理学 磁性液体 磁致伸缩 微位移驱动

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压电陶瓷微位移驱动技术的研究 被引量：4

2

作者 许黎明 胡德金 +1 位作者 张广鹏 赵晓明 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2003年第9期31-35,共5页

精密异形非圆回转曲面的加工是精密加工中很重要的内容 ,微位移驱动技术是其中的关键技术。压电陶瓷驱动控制精度高、可操作性强 ,但它的输出位移小 ,而且对于一定的驱动电源 ,输出幅度与输出频率负相关 ,制约了它在高频响、较大幅度位... 精密异形非圆回转曲面的加工是精密加工中很重要的内容 ,微位移驱动技术是其中的关键技术。压电陶瓷驱动控制精度高、可操作性强 ,但它的输出位移小 ,而且对于一定的驱动电源 ,输出幅度与输出频率负相关 ,制约了它在高频响、较大幅度位移输出场合中的应用。文章首先对压电陶瓷的静、动态驱动特性进行了分析 ,并就特定PZT(PiezoelectricTranslator)进行了实验 ,在此基础上提出了该类微位移驱动有效的加工范围和改善其输出特性的措施 。 展开更多

关键词 压电陶瓷 微位移驱动 异形曲面 精密加工 切削加工

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超磁致伸缩材料微位移驱动系统的研究 被引量：24

3

作者 贾宇辉 谭久彬 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期38-41,共4页

由于目前微位移驱动器普遍存在输出力及输出范围小的缺点 ,所以提出将超磁致伸缩材料引入到微位移驱动器的设计当中。文中详细描述了基于超磁致伸缩材料的驱动器的设计原理及性能 ,同时设计了用水冷装置消除线圈发热带来的影响 。

关键词 磁致伸缩 驱动器 位移 磁场 微位移驱动器

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微位移驱动器在止推油膜轴承中的应用 被引量：8

4

作者 张娟 吴超 王文 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期76-78,共3页

针对止推油膜轴承的偏载问题,研究了微位移驱动器在止推油膜轴承中的应用。通过理论计算得到油膜厚度、压力和温度分布,分析了止推轴承油膜厚度的变化对载荷与温度的影响。设计了一种超磁致伸缩微位移驱动器微位移驱动器,并建立了杠杆... 针对止推油膜轴承的偏载问题,研究了微位移驱动器在止推油膜轴承中的应用。通过理论计算得到油膜厚度、压力和温度分布,分析了止推轴承油膜厚度的变化对载荷与温度的影响。设计了一种超磁致伸缩微位移驱动器微位移驱动器,并建立了杠杆试验机测试其静态位移输出特性,证实超磁致伸缩微位移驱动器具有与润滑膜厚同一数量级的位移输出,可应用于止推轴承油膜间隙的主动调节,均衡瓦块间载荷并降低温升。利用超磁致伸缩微位移驱动器微位移驱动器设计了一种新型结构的可自动调节间隙的止推油膜轴承,并建立了用于测试该新型轴承的止推轴承实验台。 展开更多

关键词 止推油膜轴承 偏载 微位移驱动器 油膜间隙

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光学天文望远镜用微位移驱动器机构研究综述 被引量：8

5

作者 邵亮 杨德华 +1 位作者 陈昆新 杨斌堂 《天文学进展》 CSCD 北大核心 2009年第1期70-79,共10页

该文回顾光学天文望远镜拼接镜面主动光学技术中的微位移驱动器的应用,介绍了微位移驱动器的工作原理、机械结构以及性能要求。概述了微位移驱动器的基本组成机构,并结合目前应用于天文望远镜的具体实例,比较了其优缺点。最后针对未来... 该文回顾光学天文望远镜拼接镜面主动光学技术中的微位移驱动器的应用,介绍了微位移驱动器的工作原理、机械结构以及性能要求。概述了微位移驱动器的基本组成机构,并结合目前应用于天文望远镜的具体实例,比较了其优缺点。最后针对未来极大口径天文望远镜中的应用要求,对微位移驱动器的发展趋势提出展望。 展开更多

关键词 天文望远镜 拼接镜面主动光学技术 微位移驱动器 运动缩放机构 导向机构

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基于超磁致伸缩材料的微位移驱动器特性研究 被引量：10

6

作者 贾宇辉 谭久彬 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第11期1213-1215,共3页

具有立方莱夫斯相结构的Ｒｆｅ２ 赝化合物ＴｂＸＤｙ（１－ Ｘ）Ｆｅ２，在室温环境下具有极大的磁致伸缩量，应用这种材料研制的微位移驱动器，具有大位移、高分辨率及大输出力等特点。从驱动器使用角度出发，对这种材料的原理及特性... 具有立方莱夫斯相结构的Ｒｆｅ２ 赝化合物ＴｂＸＤｙ（１－ Ｘ）Ｆｅ２，在室温环境下具有极大的磁致伸缩量，应用这种材料研制的微位移驱动器，具有大位移、高分辨率及大输出力等特点。从驱动器使用角度出发，对这种材料的原理及特性进行了阐述，同时分析了超磁致伸缩驱动器的结构及特性。设计并研制了超磁致伸缩微位移驱动器，通过实验分析，驱动器的位移分辨率达０．５ ｎｍ ，行程范围达４０ μｍ ，在精密及超精密加工领域有着广阔的应用前景。 展开更多

关键词 驱动器 磁场 微位移驱动器 超微致伸缩材料

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超磁致伸缩材料微位移驱动器的设计与实验研究 被引量：2

7

作者 谢鹏程 邓荣坚 +2 位作者 杨卫民 丁玉梅 肖俊东 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期1031-1035,共5页

超磁致伸缩材料是国防、航空航天和高技术领域中一种重要的功能性材料。基于超磁致伸缩材料的工作特点,提出了超磁致伸缩材料微位移驱动器的结构原型,详细介绍了微位移驱动器中位移传递和放大机构、驱动线圈及控制电路的设计过程及其设... 超磁致伸缩材料是国防、航空航天和高技术领域中一种重要的功能性材料。基于超磁致伸缩材料的工作特点,提出了超磁致伸缩材料微位移驱动器的结构原型,详细介绍了微位移驱动器中位移传递和放大机构、驱动线圈及控制电路的设计过程及其设计理论和方法。实验样机采用了多级杠杆叠加的结构形式进行位移传递和放大,实验结果验证了设计理论和方法的可行性和实用性。 展开更多

关键词 超磁致伸缩 微位移驱动器 杠杆放大

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扫描隧道显微镜微位移驱动器(爬行器)的研究 被引量：2

8

作者 赵玉清 薛希纯 +1 位作者 徐蛟 唐天同 《电子显微学报》 CAS CSCD 1999年第5期569-573,共5页

设计并制作了一种用于扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）的吸附式微位移驱动器（爬行器），针对其基本特性，提出了优选制备工艺与优化程序相结合的方法。确定了必要的工艺过程，制作了合适的驱动电路，以及合理的控制程序，在控制程序中引入了... 设计并制作了一种用于扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）的吸附式微位移驱动器（爬行器），针对其基本特性，提出了优选制备工艺与优化程序相结合的方法。确定了必要的工艺过程，制作了合适的驱动电路，以及合理的控制程序，在控制程序中引入了面向对象技术，采用了ＶｉｓｕａｌＣ＋ ＋ 编程，使程序具有合理的工作模型和良好的用户界面，该爬行器的性能与国外同类产品基本相同。 展开更多

关键词 扫描隧道显微镜 微位移驱动器 爬行器 压电元件

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基于ILC的压电微位移驱动器电源线性化研究 被引量：2

9

作者 魏燕定 黄金永 董春兵 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期570-573,共4页

压电微位移驱动器是一种利用压电材料逆压电效应制作的微位移器 ,具有体积小 ,分辨率高 ,重复性好 ,不产生热等优点 ,然而压电驱动器也具有滞回、蠕变、严重的非线性等不良特性 ,给驱动器精确定位带来误差 ,使驱动器电压位移转换信号失... 压电微位移驱动器是一种利用压电材料逆压电效应制作的微位移器 ,具有体积小 ,分辨率高 ,重复性好 ,不产生热等优点 ,然而压电驱动器也具有滞回、蠕变、严重的非线性等不良特性 ,给驱动器精确定位带来误差 ,使驱动器电压位移转换信号失真。为使压电驱动器输入输出具有线性度 ,常用的方法是对驱动电源进行电压补偿来实现线性化。这里提出一种实用新颖的电源线性化方法—基于迭代自学习控制 (IL C)策略的线性化方法 ,该法具有在线、快速的优点 。 展开更多

关键词 电源线 线性化 压电驱动器 自学习控制 微位移驱动器 体积小 有线 信号失真 线性度 驱动电源

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气动式微位移驱动器的结构设计及其性能分析 被引量：2

10

作者 张礼华 王康 王树林 《液压与气动》 北大核心 2016年第12期10-15,共6页

为便于精密机床的微进给控制,研究了一种新型的气压式微位移驱动器。根据微驱动器的工作原理,在简化模型的基础上,对驱动器进行了结构设计,用有限元方法分析了微驱动器与微驱动台的主要性能,并且采用实验验证了该设计的合理性。研究结... 为便于精密机床的微进给控制,研究了一种新型的气压式微位移驱动器。根据微驱动器的工作原理,在简化模型的基础上,对驱动器进行了结构设计,用有限元方法分析了微驱动器与微驱动台的主要性能,并且采用实验验证了该设计的合理性。研究结果表明,该驱动器结构简单、可靠,具有良好的输入输出线性度,耦合位移很小,是一种良好的二维可控驱动方式,在精密加工与精密测量中有着广阔的应用前景。 展开更多

关键词 气压驱动 微位移驱动器 线性度 二自由度

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压电陶瓷微位移驱动器在FY—3卫星G型辐射制冷器上的应用 被引量：5

11

作者 涂锋华 王维扬 +1 位作者 董德平 付立英 《科学技术与工程》 2008年第14期4029-4032,共4页

压电陶瓷微位移驱动器是利用逆压电效应来实现电控位移并产生驱动力的一种新型微位移器件。FY—3气象卫星有效载荷中分辨率光谱成像仪(MERSI)采用大冷量G型辐射制冷器冷却碲镉汞(HgCdTe)红外探测器,即长波红外和短波红外线列探测器,分... 压电陶瓷微位移驱动器是利用逆压电效应来实现电控位移并产生驱动力的一种新型微位移器件。FY—3气象卫星有效载荷中分辨率光谱成像仪(MERSI)采用大冷量G型辐射制冷器冷却碲镉汞(HgCdTe)红外探测器,即长波红外和短波红外线列探测器,分别安装在辐射制冷器二级和一级上。在对G型辐射制冷器的后光路校核过程中,根据传递函数(MTF)值确定其相对于红外探测器组件的最终位置。压电陶瓷微位移驱动器作为真空和低温下红外透镜组件的驱动工具。 展开更多

关键词 G型辐射制冷器 压电陶瓷微位移驱动器 低温红外光校 低温标定

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新型二坐标微位移驱动器 被引量：1

12

作者 杨宜民 章云 +1 位作者 徐晓宁 李传芳 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 1993年第5期20-21,共2页

关键词 微位移驱动器 驱动器

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电致伸缩材料微位移驱动器特性研究 被引量：2

13

作者 韩念琛 郭文亮 《太原理工大学学报》 CAS 2002年第3期324-325,332,共3页

通过对电致伸缩微位移驱动器的实验研究发现 ,伸长量方向的力对电致伸缩材料伸长量的影响是随着力的增加而增大 ,从微观上定性地解释了实验结果。给出了电致伸缩器 ( WTDS-1 B)“力 -电压 -伸长量”的特性实验曲线 ;指出预紧力对电致伸... 通过对电致伸缩微位移驱动器的实验研究发现 ,伸长量方向的力对电致伸缩材料伸长量的影响是随着力的增加而增大 ,从微观上定性地解释了实验结果。给出了电致伸缩器 ( WTDS-1 B)“力 -电压 -伸长量”的特性实验曲线 ;指出预紧力对电致伸缩器的重要性 ,并由进一步的实验结果所证实。 展开更多

关键词 电致伸缩材料 微位移驱动器 电致伸缩器 伸长量 预紧力 特性曲线 机械加工 车削加工 微量进给

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超磁致伸缩微位移驱动系统的研究

14

作者 杨兴 贾振元 +1 位作者 文东辉 郭东明 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2001年第9期21-22,26,共3页

超磁致伸缩材料是近年来发展起来的一种新型功能材料 ,具有在室温下应变量大 ,能量密度高 ,机电耦合系数大等特性。文章分析了超磁致伸缩材料的驱动原理 ,介绍了超磁致伸缩微位移驱动系统的组成及工作原理 ,并对该系统的伸长量、微位移... 超磁致伸缩材料是近年来发展起来的一种新型功能材料 ,具有在室温下应变量大 ,能量密度高 ,机电耦合系数大等特性。文章分析了超磁致伸缩材料的驱动原理 ,介绍了超磁致伸缩微位移驱动系统的组成及工作原理 ,并对该系统的伸长量、微位移精度等性能指标进行了实验研究。 展开更多

关键词 超磁致伸缩 微位移驱动系统 控制系统

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微位移驱动器的控制模型及仿真技术研究

15

作者 宋仁旺 陈琳英 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2007年第1期93-96,共4页

介绍了超磁致伸缩驱动器(GMA)的结构、工作原理、特性方程以及超磁致伸缩效应模型,从有助于理解压磁效应的角度,建立了GMA的静态位移—力模型和磁—机耦合模型,并对后者进行了仿真研究,仿真结果显示:机械部分响应时间比较缓慢,减小阻尼... 介绍了超磁致伸缩驱动器(GMA)的结构、工作原理、特性方程以及超磁致伸缩效应模型,从有助于理解压磁效应的角度,建立了GMA的静态位移—力模型和磁—机耦合模型,并对后者进行了仿真研究,仿真结果显示:机械部分响应时间比较缓慢,减小阻尼会带来一些不利影响,如超调量增大,波动增大,要改善系统的动态性能,需要在控制系统部分增加合理的调节器。 展开更多

关键词 超磁致伸缩 微位移驱动器 磁-机耦合 仿真

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静电悬浮加速度计地面试验系统微位移驱动器控制模型研究

16

作者 宋仁旺 陈琳英 《科学技术与工程》 2007年第2期186-189,194,共5页

介绍了超磁致伸缩驱动器(GMA)的结构,从有助于理解压磁效应的角度,建立了GMA的静态位移力模型和磁-机耦合模型,并对后者进行了仿真研究。仿真结果显示机械部分响应时间比较缓慢,减小阻尼会带来一些不利影响,如超调量增大。波动增大,要... 介绍了超磁致伸缩驱动器(GMA)的结构,从有助于理解压磁效应的角度,建立了GMA的静态位移力模型和磁-机耦合模型,并对后者进行了仿真研究。仿真结果显示机械部分响应时间比较缓慢,减小阻尼会带来一些不利影响,如超调量增大。波动增大,要改善系统的动态性能,需要在控制系统部分增加合理的调节器。 展开更多

关键词 超磁致伸缩 微位移驱动器 位移-力 磁机耦合 仿真模型

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基于压电纤维的微位移驱动器的研究 被引量：3

17

作者 程学亮 王树林 +1 位作者 俞琳 张礼华 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2016年第10期12-15,共4页

基于压电纤维复合材料特性研究,设计了一种新型的压电式微位移驱动器,它能够实现60μm的行程和亚微米量级的定位精度。对驱动器的电压-位移特性、分辨率以及迟滞和蠕变特性进行了实验研究,研究表明,相比于传统的压电陶瓷式微位移驱动器... 基于压电纤维复合材料特性研究,设计了一种新型的压电式微位移驱动器,它能够实现60μm的行程和亚微米量级的定位精度。对驱动器的电压-位移特性、分辨率以及迟滞和蠕变特性进行了实验研究,研究表明,相比于传统的压电陶瓷式微位移驱动器,这种新型的压电纤维微位移驱动器拥有更大的行程和更好的位移线性关系。本研究对压电纤维复合材料在微驱动方面的研究奠定了理论基础。 展开更多

关键词 压电纤维复合材料 微位移驱动器 迟滞 蠕变

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超精密机床宏/微双驱动微位移机构的设计与控制(英文) 被引量：5

18

作者 李国 王波 +1 位作者 董申 王石磊 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1426-1430,共5页

提出了一种宏/微双驱动微进给机构的设计与控制方法。介绍了宏/微双驱动微位移机构的结构设计,将宏动(大行程)和微动(高分辨率)两者串联以获得理想的运动性能。该机构用步进电机作为宏动的驱动装置以获得大行程和高响应速度,用压电陶瓷... 提出了一种宏/微双驱动微进给机构的设计与控制方法。介绍了宏/微双驱动微位移机构的结构设计,将宏动(大行程)和微动(高分辨率)两者串联以获得理想的运动性能。该机构用步进电机作为宏动的驱动装置以获得大行程和高响应速度,用压电陶瓷微位移器作为精密运动以提高运动分辨率和运动精度。设计了该机构的控制系统,用一个基于模型的开关控制器对微位移装置进行控制,并设计专门的运动分配模块对宏/微运动进行协调控制。最后,分别控制宏动和微动装置对该系统进行了实验,并用激光干涉仪检测。检测结果表明,宏动装置的行程为90mm,运动分辨率为0.3μm;压电陶瓷微动装置的行程为40μm,定位精度为0.9μm。理论分析和实验结果均表明了控制策略的有效性。 展开更多

关键词 双驱动微位移器 开关控制器 控制策略

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一种高分辨力、大行程微驱动压电马达 被引量：6

19

作者 王皓 凌宁 曾志革 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期50-52,共3页

样机采用叠片式压电驱动器作为驱动源,利用一对夹爪与丝杠之间的惯性滑移效应实现纳米级微位移驱动,而用丝杠副实现自锁。微位移测量采用高精度电感式测微仪与光学干涉仪。样机平均位移分辨力为5～15nm,驱动力60N,行程15mm。分析表明,... 样机采用叠片式压电驱动器作为驱动源,利用一对夹爪与丝杠之间的惯性滑移效应实现纳米级微位移驱动,而用丝杠副实现自锁。微位移测量采用高精度电感式测微仪与光学干涉仪。样机平均位移分辨力为5～15nm,驱动力60N,行程15mm。分析表明,对性能的主要影响因素是驱动脉冲参数及丝杠的爬行现象,这为LSPM的进一步优化提供了依据。 展开更多

关键词 微位移驱动器 压电马达 压电陶瓷

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改善PZT微位移器线性的一种方法 被引量：1

20

作者 刘晖 朱日宏 陈进榜 《光电工程》 CAS CSCD 1998年第5期66-69,共4页

根据锆钛酸铅压电陶瓷堆（ＰＺＴ）的逆压电效应，。设计了以８０３１单片机为核心的压电陶瓷堆微位移器，提高了ＰＺＴ的线性，从而满足了在天文自适应系统中所要求的精确微位移的应用。

关键词 锆钛酸铅 压电陶瓷 微位移驱动器 天文仪器

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