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CCD激光微位移测量系统的测量头设计 被引量:8
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作者 石成英 朱满林 姜勤波 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期40-41,共2页
:CCD位移测量装置就是运用CCD技术设计的一种超高精度高速非接触激光位移测量仪器。其中测量头的设计是影响测量精度和测量系统整体性能的最主要因素。
关键词 CCD激光 光学系统参数 微位移测量系统 测量头设计
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