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超精密加工中的微位移技术被引量：8: 1; 作者马淑梅陈彬《同济大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第6期684-687,共4页; 微位移技术是实现超精密加工的重要途径 ,据此介绍了微位移的实现方法 ,并对压电陶瓷微位移机构系统作了进一步的介绍 ,阐述了系统的组成、工作原理、结构及特点 .最后进行了采用MCS - 5 1系列单片机控制的压电陶瓷微位移机构闭环控制... 展开更多; 关键词微位移技术超精密加工压电陶瓷; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于柔性板机构的光纤微位移技术研究: 2; 作者彭杰杨小光尚守锋《机械设计与制造》北大核心 2020年第3期55-58,共4页; 对变截面柔性板机构的输入输出关系进行了理论分析,得出了一定受力条件下柔性板机构的输出位移。通过有限元仿真分析得出了输出位移,并进行了相应的实验验证,结果表明理论计算结果与仿真结果误差为1.4%,与实验结果的误差为7.5%,证明理... 展开更多; 关键词变截面柔性板柔性板机构微位移技术有限元仿真光纤移动量; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种5－D压电驱动微位移工作台的设计被引量：2: 3; 作者胡小唐庄在龙 +1 位作者姜晶张国雄《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期301-305,共5页; 微位移技术是扫描探针显微镜的核心技术之一，直接影响着ＳＰＭ的测量精度，因此设计出高精度的多自由度微位移机构具有重大的意义。本文设计了一种适用于ＳＰＭ的五自由度的微位移工作台，它从结构上解决了交叉误差，同时又兼顾低速和... 展开更多; 关键词微位移工作台压电驱动扫描探针显微镜柔性铰链测量精度加工误差压电管微位移技术定位精度微位移器; 在线阅读下载PDF 职称材料

《精密加工技术实用手册》王先逵主编／2001: 4; 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2005年第7期120-120,共1页; 精密加工和超精密加工技术是先进制造技术的基础和关键，是一个国家制造工业水平的重要标志之一。本书分4篇共14章，内容包括总论、精密加工常用材料、超精密车削、精密和超精密磨削、光整加工、超精密加工机床、精密特种加工及微细加... 展开更多; 关键词实用手册超精密加工技术超精密加工机床主编先进制造技术微型机电系统超精密车削超精密磨削微位移技术制造工业常用材料光整加工微细加工特种加工微型机械测量技术精密测量补偿技术在线检测支持环境; 在线阅读下载PDF 职称材料

超精瞄准定位系统的研究被引量：1: 5; 作者浦昭邦赵辉 +1 位作者蔡红红王建民《计量学报》 CSCD 北大核心 1997年第2期81-84,共4页; 本文对高精度孔径测量中超精瞄准定位系统的微位移技术及其控制方法进行了研究，在采用闭环控制和双频激光干涉仪检测的情况下可达００３μｍ的瞄准定位精度。; 关键词瞄准定位微位移技术孔径测量超精加工; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超精密加工中的微位移技术被引量：8: 1; 作者马淑梅陈彬; 机构同济大学机械工程系中国外汇交易中心工程技术部; 出处《同济大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第6期684-687,共4页; 文摘微位移技术是实现超精密加工的重要途径 ,据此介绍了微位移的实现方法 ,并对压电陶瓷微位移机构系统作了进一步的介绍 ,阐述了系统的组成、工作原理、结构及特点 .最后进行了采用MCS - 5 1系列单片机控制的压电陶瓷微位移机构闭环控制系统来提高工件的面形精度的实验 .结果表明 ,工件的面形精度提高了 5 0; 关键词微位移技术超精密加工压电陶瓷; Keywords micro-displacement technique ultra-precision machining piezodectic ceramics; 分类号 TH115 [机械工程—机械设计及理论]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于柔性板机构的光纤微位移技术研究: 2; 作者彭杰杨小光尚守锋; 机构电子信息测试技术安徽省重点实验室中国电子科技集团公司第四十一研究所; 出处《机械设计与制造》北大核心 2020年第3期55-58,共4页; 基金安徽省科技专项资金项目(13Z02041)。; 文摘对变截面柔性板机构的输入输出关系进行了理论分析,得出了一定受力条件下柔性板机构的输出位移。通过有限元仿真分析得出了输出位移,并进行了相应的实验验证,结果表明理论计算结果与仿真结果误差为1.4%,与实验结果的误差为7.5%,证明理论计算方法是有效的。运用理论计算方法分析了柔性板机构的切割半径、最小厚度、曲柄长度、宽度等关键参数对其输出位移的影响,为后续柔性板机构关键参数的优化设计提供了指导,为研究运动范围更大的柔性板机构提供了技术支撑。; 关键词变截面柔性板柔性板机构微位移技术有限元仿真光纤移动量; Keywords Tapered Flexure Plate Flexure Plate Mechanism Micro Displacement Technology Finite Element Analysis Moving Displacement of Fiber; 分类号 TH16 [机械工程—机械制造及自动化] TH123 [机械工程—机械设计及理论]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种5－D压电驱动微位移工作台的设计被引量：2: 3; 作者胡小唐庄在龙姜晶张国雄; 机构天津大学; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期301-305,共5页; 文摘微位移技术是扫描探针显微镜的核心技术之一，直接影响着ＳＰＭ的测量精度，因此设计出高精度的多自由度微位移机构具有重大的意义。本文设计了一种适用于ＳＰＭ的五自由度的微位移工作台，它从结构上解决了交叉误差，同时又兼顾低速和高速扫描的需要。此定位系统在１０μｍ运动范围内定位精度为１０ｕｍ，定位分辨力高于１ｎｍ。在１μｍ运动范围内定位系统最小位移分辨力高达０．５ｎｍ。; 关键词微位移工作台压电驱动扫描探针显微镜柔性铰链测量精度加工误差压电管微位移技术定位精度微位移器; 分类号 TM921 [电气工程—电力电子与电力传动]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名《精密加工技术实用手册》王先逵主编／2001: 4; 出处《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2005年第7期120-120,共1页; 文摘精密加工和超精密加工技术是先进制造技术的基础和关键，是一个国家制造工业水平的重要标志之一。本书分4篇共14章，内容包括总论、精密加工常用材料、超精密车削、精密和超精密磨削、光整加工、超精密加工机床、精密特种加工及微细加工、微型机械与微型机电系统、精密测量及微尺寸测量技术、微位移技术、误差的在线检测与补偿技术、精密和超精密加工的支持环境及精密基础件加工等。; 关键词实用手册超精密加工技术超精密加工机床主编先进制造技术微型机电系统超精密车削超精密磨削微位移技术制造工业常用材料光整加工微细加工特种加工微型机械测量技术精密测量补偿技术在线检测支持环境; 分类号 TG502.1 [金属学及工艺—金属切削加工及机床] U46-28 [机械工程—车辆工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超精瞄准定位系统的研究被引量：1: 5; 作者浦昭邦赵辉蔡红红王建民; 机构哈尔滨工业大学; 出处《计量学报》 CSCD 北大核心 1997年第2期81-84,共4页; 文摘本文对高精度孔径测量中超精瞄准定位系统的微位移技术及其控制方法进行了研究，在采用闭环控制和双频激光干涉仪检测的情况下可达００３μｍ的瞄准定位精度。; 关键词瞄准定位微位移技术孔径测量超精加工; Keywords Ultra precision aiming and locating Microdisplacement technique Closed loop control; 分类号 TH161.5 [机械工程—机械制造及自动化] TG52 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	超精密加工中的微位移技术	马淑梅陈彬	《同济大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心	2000	8	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于柔性板机构的光纤微位移技术研究	彭杰杨小光尚守锋	《机械设计与制造》北大核心	2020	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	一种5－D压电驱动微位移工作台的设计	胡小唐庄在龙姜晶张国雄	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	1996	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	《精密加工技术实用手册》王先逵主编／2001		《制造技术与机床》 CSCD 北大核心	2005	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	超精瞄准定位系统的研究	浦昭邦赵辉蔡红红王建民	《计量学报》 CSCD 北大核心	1997	1	在线阅读下载PDF 职称材料