微机控制PZT微位移器驱动电源设计 被引量：2

1

作者 黄建军 林敏 《深圳大学学报（理工版）》 EI CAS 1999年第1期33-38,共6页

介绍了PZT微位移器驱动电源的基本原理及特点，设计并研制了一种新颖的PZT微位移器驱动电源，它具有集成度高、性能稳定、分辨率高、纹波小、结构简单和调试方便等优点.

关键词 PZT微位移器 驱动电源 设计 微位移器 微机控制

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压电微位移器在超微定位系统中的应用 被引量：12

2

作者 王建林 刘文晖 +1 位作者 胡晓东 胡小唐 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1997年第2期95-97,共3页

介绍了压电微位移器在超微定位系统中的应用,给出了一种二维超微定位机构及其控制系统。实验结果:定位系统行程10 μm,定位精度10 nm,定位分辨力2 nm。

关键词 压电微位移器 超微定位系统 压电陶瓷

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WTYD型压电陶瓷微位移器的迟滞特性建模与实验验证 被引量：11

3

作者 王代华 朱炜 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期205-211,共7页

为了模拟WTYD型压电陶瓷微位移器的输出位移与驱动电压之间的迟滞曲线,通过采用Bouc-Wen模型模拟迟滞分量,提出了一种表征WTYD型压电陶瓷微位移器的输出位移与驱动电压之间迟滞关系的Bouc-Wen模型并建立了相应的参数辨识方法。为了验证B... 为了模拟WTYD型压电陶瓷微位移器的输出位移与驱动电压之间的迟滞曲线,通过采用Bouc-Wen模型模拟迟滞分量,提出了一种表征WTYD型压电陶瓷微位移器的输出位移与驱动电压之间迟滞关系的Bouc-Wen模型并建立了相应的参数辨识方法。为了验证Bouc-Wen模型及其相应的参数辨识方法的有效性,建立了相应的实验装置并对模型进行了实验验证。研究结果表明,Bouc-Wen模型的最大绝对误差为3.78μm,最大相对误差为5.79%,表明Bouc-Wen模型及相应的参数辨识方法能较好地模拟WTYD型压电陶瓷微位移器的迟滞特性。 展开更多

关键词 压电陶瓷微位移器 迟滞曲线 BOUC-WEN模型 参数辨识

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一种闭环控制的压电陶瓷微位移器驱动电源 被引量：4

4

作者 王广林 王慧峰 +1 位作者 邵东向 卢泽生 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2005年第2期121-123,135,共4页

介绍了压电陶瓷微位移器驱动电源的闭环反馈控制驱动系统的组成和工作原理,并对控制器的硬件系统构成进行了说明。软件采用模块化设计,可根据实际工作场合通过软件设定为开环控制和闭环控制。在数字控制算法d(t)和可控输出稳压电压源的... 介绍了压电陶瓷微位移器驱动电源的闭环反馈控制驱动系统的组成和工作原理,并对控制器的硬件系统构成进行了说明。软件采用模块化设计,可根据实际工作场合通过软件设定为开环控制和闭环控制。在数字控制算法d(t)和可控输出稳压电压源的设计上有所突破。通过合理地设计软件算法d(t)来补偿电致伸缩陶瓷h(t)特性上的缺陷。 展开更多

关键词 压电陶瓷微位移器 驱动电源 闭环控制 控制驱动系统 电致伸缩陶瓷 模块化设计 工作原理 闭环反馈 系统构成 输出稳压 控制算法 开环控制 软件算法 控制器 电压源 硬件

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改善电致伸缩陶瓷微位移器性能的研究 被引量：4

5

作者 孙立宁 安辉 蔡鹤皋 《中国机械工程》 CAS CSCD 北大核心 1994年第2期6-7,共2页

对压电陶瓷和电致伸缩陶瓷的逆压电效应和电致伸缩效应进行了详细分析，并通过采用所研制的ＨＲＰＤ系列压电／电致伸缩陶瓷驱动电源对ＷＴＤＳ－Ｉ电致伸缩微位移器进行了实验研究，得出采用电极化强度控制的方法使电致伸缩微位移器的... 对压电陶瓷和电致伸缩陶瓷的逆压电效应和电致伸缩效应进行了详细分析，并通过采用所研制的ＨＲＰＤ系列压电／电致伸缩陶瓷驱动电源对ＷＴＤＳ－Ｉ电致伸缩微位移器进行了实验研究，得出采用电极化强度控制的方法使电致伸缩微位移器的迟滞由原来的１５％减小到１％，蠕变由原来的１０％减小到１％，并实现位移输出的线性化。 展开更多

关键词 电致伸缩陶瓷 电极化强度 微位移器

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一种单片机控制的压电陶瓷微位移器的驱动电路设计 被引量：9

6

作者 程继兴 刘霞 《电子测量技术》 2012年第11期58-62,共5页

介绍了一种利用AT89C51单片机开关控制压电陶瓷微位移器位移的方法,通过单片机的定时器,在安全的TTL电平下实现对压电陶瓷应变片的高压开关控制。该功能是通过选择合适的耐压场效应管实现的,综合开关速率、耐压性、关断电流等方面的因素... 介绍了一种利用AT89C51单片机开关控制压电陶瓷微位移器位移的方法,通过单片机的定时器,在安全的TTL电平下实现对压电陶瓷应变片的高压开关控制。该功能是通过选择合适的耐压场效应管实现的,综合开关速率、耐压性、关断电流等方面的因素,采用的场效应管是IRF610型。作出对压电器件、场效应管的选择以及压电陶瓷应变片的单片机驱动电路的设计,并给出了该系统的控制程序。最后对系统进行了仿真实验,仿真结果表明:驱动电压增大,输出位移量也增大,在驱动电压140～200V时,电压增大和减小2个方向测量得到的位移-电压曲线不是重合的,这表明了压电陶瓷的测量迟滞性,驱动电压在150～190V时,函数的线性度最好,两者的迟滞性误差也最小,据此我们可以选择驱动电压范围为150～190V。 展开更多

关键词 AT89C51 单片机 压电陶瓷 微位移器 驱动电路

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压电陶瓷微位移器及其驱动电源的研制 被引量：2

7

作者 王永红 王硕 +1 位作者 马蛟 梁恒 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2013年第12期68-71,156,共5页

针对相移干涉测量系统中微位移的要求,研制了一种新型压电陶瓷微位移器及其驱动电源,该驱动电源采用集成功率运算放大器配合外围器件组成直流放大式结构,能够有效解决输出电压的非线性问题,减少自激现象,提高系统的稳定性。对研制的压... 针对相移干涉测量系统中微位移的要求,研制了一种新型压电陶瓷微位移器及其驱动电源,该驱动电源采用集成功率运算放大器配合外围器件组成直流放大式结构,能够有效解决输出电压的非线性问题,减少自激现象,提高系统的稳定性。对研制的压电陶瓷微位移器进行了实验标定。经测试,研制的驱动电源具有驱动能力强、线性度好、重复性好等特点。干涉实验验证了研制的压电陶瓷微位移器性能的可靠性和位移的精确性。 展开更多

关键词 压电陶瓷微位移器 驱动电源 相移

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压电微位移器的实验建模与复合控制 被引量：1

8

作者 王建红 陆宝春 +2 位作者 张建华 万其 黄家才 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2014年第10期40-42,46,共4页

为实现动静态特性理想的压电微位移器控制,提出一种前馈控制和PI控制相结合的微细位移控制算法。对该压电微位移器进行迟滞特性实验测试,以实验数据为基础建立了迟滞特性的Preisach模型,采用比例环节作为前馈控制器,PI控制作为反馈控制... 为实现动静态特性理想的压电微位移器控制,提出一种前馈控制和PI控制相结合的微细位移控制算法。对该压电微位移器进行迟滞特性实验测试,以实验数据为基础建立了迟滞特性的Preisach模型,采用比例环节作为前馈控制器,PI控制作为反馈控制环节,构成复合控制。仿真结果表明:系统阶跃响应稳态误差小于0.4μm,调节时间小于2ms,能够满足精密加工要求。 展开更多

关键词 压电微位移器 迟滞特性 PREISACH模型 复合控制

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基于电致伸缩微位移器的精密微动平台的实验研究及应用 被引量：1

9

作者 刘国华 李亮玉 《天津工业大学学报》 CAS 2005年第1期56-58,共3页

针对电致伸缩微位移器动态响应速度慢的问题进行了研究,提出用数字PID方法加以解决,并研制出一套实用控制系统.其中,研制出一种微机控制的精密高压调节器,与单片机数字系统相配合,形成一个数字 模拟电路结合的控制系统,用以实现电致伸... 针对电致伸缩微位移器动态响应速度慢的问题进行了研究,提出用数字PID方法加以解决,并研制出一套实用控制系统.其中,研制出一种微机控制的精密高压调节器,与单片机数字系统相配合,形成一个数字 模拟电路结合的控制系统,用以实现电致伸缩微位移器动态性能的改善.实验表明,该控制系统简单、可靠、实用,所提出的PID方法对电致伸缩微位移器微动平台的动态特性的改善效果明显,并已将其用在磨床进给机构中. 展开更多

关键词 电致伸缩微位移器 微动平台 PID算法 进给机构 动态特性

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压电晶体微位移器位移精度及测试的理论分析

10

作者 刘晖 朱日宏 陈进榜 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1999年第6期507-509,共3页

对压电晶体微位移器的位移精度进行了论述，分析了ＰＺＴ位移的倾斜性，编制了软件；对其位移的倾斜性进行了理论计算，并给出计算结果。对拟建立的测试方法进行了理论分析。

关键词 压电晶体 倾斜性 微位移器 位移精度

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微位移器的在线测试

11

作者 武旭华 陈磊 仇智 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2007年第6期666-668,672,共4页

提出一种微位移器的在线测试方法,记录一组与微位移器位移特性相关的干涉图,截取每幅图中位置相同的一条线,建立干涉图截线法光强数学模型,然后在最小二乘法的基础上引入阻尼因子,通过几步快速迭代就可求出这组干涉图的相位主值,再通过... 提出一种微位移器的在线测试方法,记录一组与微位移器位移特性相关的干涉图,截取每幅图中位置相同的一条线,建立干涉图截线法光强数学模型,然后在最小二乘法的基础上引入阻尼因子,通过几步快速迭代就可求出这组干涉图的相位主值,再通过相位解包就可得到微位移器的电压-相位曲线。并在本教研室研制的一台斐索干涉仪上进行了实验,实验结果表明:该方法克服了传统方法速度慢,精度低,标定和在线测试条纹疏密状态不一致的不足,简单易实现,运算量小,迭代次数适中,实时性强,可作为干涉测试中微位移器的在线测试方法。 展开更多

关键词 移相干涉术 微位移器 阻尼最小二乘法 在线测试

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两种压电陶瓷微位移器静态特性比较试验研究

12

作者 韩良 芮小健 钟秉林 《工具技术》 北大核心 1993年第11期33-35,共3页

压电陶瓷微位移器包括逆压电效应型和电致伸缩型两种,本文通过试验测试,对它们的静态特性进行了比较分析,进而阐明了它们不同的应用场合。

关键词 压电陶瓷 微位移器 试验研究

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微位移器振动特性的研究

13

作者 温任林 颜景平 邱晓寒 《应用科学学报》 CAS CSCD 1998年第2期127-132,共6页

设计出应用于超声波振动切削的微位移器，并分析其振动规律和动态特性，讨论了电路匹配问题，试验证明了理论分析的正确性．文中同时指出该微位移器也适应于误差补偿和机械精密加工．

关键词 微位移器 振动特性 超声波切削 振动切削

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电致伸缩陶瓷微位移器非线性的数值方法补偿 被引量：5

14

作者 袁智敏 张江陵 陈勇 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1994年第5期16-18,共3页

本文通过对电致伸缩陶瓷材料的非线性进行分析。找到了补偿电致伸缩陶瓷非线性的数值方法，并对不同回程大小的电滞回线进行了分段处理，使补偿结果更为精确。

关键词 电致伸缩陶瓷 线性度 微位移器 补偿 伺服系统

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游离细胞捕捉仪的研制——陶瓷微位移器在精密医疗仪器中的新应用 被引量：1

15

作者 罗进忠 黄明智 《压电与声光》 CAS 1987年第4期43-49,共7页

本文主要介绍了游离细胞捕捉仪的工作原理、结构设计考虑及其在遗传工程中的应用.

关键词 玻璃微电极 高血压患者 SHR 微位移器 膜电位 生物电位 细胞内 人红细胞膜 调节机构 游离细胞 进给机构 遗传工程 基因工程 电位测量 电量测量 显微操纵器

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压电陶瓷微位移器压电响应性能的研究及压电误差的补偿

16

作者 庄在龙 胡小唐 杨林 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期355-358,共4页

压电徽位移器具有很高的位移分辨力和频率响应，但也存在着具有迟滞、非线性和蠕变误差的压电误差的弱点。实验表明，压电微位移器的位移－电压之间遵从一个ｎ次多项式关系，蠕变与时间之间满足对数关系。基于对压电误差的实验数据和实... 压电徽位移器具有很高的位移分辨力和频率响应，但也存在着具有迟滞、非线性和蠕变误差的压电误差的弱点。实验表明，压电微位移器的位移－电压之间遵从一个ｎ次多项式关系，蠕变与时间之间满足对数关系。基于对压电误差的实验数据和实验曲线，文中给出了软件补偿法来提高其位移重复性。为了彻底去除压电误差，文中同时设计了反馈控制系统。 展开更多

关键词 压电误差 微位移器 压电陶瓷 响应性能 软件补偿法 饱和电压 目标点 定位精度 参考模型 参考输入

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一种简易的多自由度微位移器

17

作者 陈学峰 李懋强 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2006年第5期530-533,共4页

具有三自由度的微位移器的组成为:掺Sr和Mn的PZT制成的厚度为0.15 mm的二个同心圆环,用有机胶水紧密地粘贴在一个铜圆片上,铜片的中央焊有一根长100 mm,直径φ2.5 mm的铜杆,其端头安装一个由陶瓷片做成的小平台,作为微位移器的工作台。... 具有三自由度的微位移器的组成为:掺Sr和Mn的PZT制成的厚度为0.15 mm的二个同心圆环,用有机胶水紧密地粘贴在一个铜圆片上,铜片的中央焊有一根长100 mm,直径φ2.5 mm的铜杆,其端头安装一个由陶瓷片做成的小平台,作为微位移器的工作台。在外圈的PZT陶瓷环被四等分成四个彼此分开的扇形,其中相邻二个扇形的极化方向与中央PZT陶瓷环的极化方向相同,其余两个扇形的极化方向则与此相反。中央陶瓷环和极化方向不同的二组陶瓷扇形分别同3个直流电源相联。通过适当变化加在三组压电陶瓷上的电压,引起压电陶瓷变形,从而使与之相联的铜片发生弯曲形变,带动其中心铜杆顶端的平台,使之既沿垂直方向(z轴)移动,又围绕z轴作x,y方向的运动。 展开更多

关键词 微位移器 PZT陶瓷 压电陶瓷

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环保型微位移器的研究

18

作者 马鸿钧 刘学升 张朝林 《地壳形变与地震》 CSCD 2000年第4期88-92,共5页

地形变定点观测仪器的标定中使用较多的水银胀盒标定器虽有准确、快捷、方便的优点 ,然而 ,水银泄漏污染了环境 ,可使观测人员中毒。在对水银胀盒标定器深入分析的基础上 ,提出使用方便、无环境污染的弹性微位移器的构思 ,并通过实验数... 地形变定点观测仪器的标定中使用较多的水银胀盒标定器虽有准确、快捷、方便的优点 ,然而 ,水银泄漏污染了环境 ,可使观测人员中毒。在对水银胀盒标定器深入分析的基础上 ,提出使用方便、无环境污染的弹性微位移器的构思 ,并通过实验数据进一步探讨了将其用于微形变测量仪器标定的可能性。 展开更多

关键词 环保型微位移器 弹性元件 地形变观测仪器 标定

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逆压电效应的压电常数和压电陶瓷微位移驱动器 被引量：16

19

作者 陈大任 李国荣 殷庆瑞 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1997年第6期861-866,共6页

本文介绍了由过压电效应的应变-电场曲线测得弱场和强场下的压电常数d_33、d_31．测量发现S～E曲线上呈现应变和压电系数突增的阈值场强E_b，用铁电陶瓷固有的90°畴转向对应变的贡献进行了分析和讨论．该方法与以往常用的正压电效... 本文介绍了由过压电效应的应变-电场曲线测得弱场和强场下的压电常数d_33、d_31．测量发现S～E曲线上呈现应变和压电系数突增的阈值场强E_b，用铁电陶瓷固有的90°畴转向对应变的贡献进行了分析和讨论．该方法与以往常用的正压电效应的压电常数测试相比，方便、简单，尤其对过压电效应的压电微位移驱动器应用更具有实际意义． 展开更多

关键词 压电常数 逆压电效应 压电陶瓷 微位移器

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电致伸缩微位移器的特性及其应用 被引量：10

20

作者 任三平 李益民 《机械工艺师》 CSCD 1994年第10期27-28,共2页

关键词 电致伸缩陶瓷 微位移器 换能器件

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