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基于激光自动搜寻的微位移传感系统设计
被引量：
1
1
作者
李婷
解旭辉
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2005年第6期39-41,共3页
基于激光自动聚焦探测原理研究开发了一种非接触式微位移传感系统。利用光驱内的激光头,根据自动聚焦的原理进行设计,在“S”曲线法的基础上又提出了一种新的测量方法——自动搜寻法。将这2种方法相结合,既可进行大量程的测量,也可进行...
基于激光自动聚焦探测原理研究开发了一种非接触式微位移传感系统。利用光驱内的激光头,根据自动聚焦的原理进行设计,在“S”曲线法的基础上又提出了一种新的测量方法——自动搜寻法。将这2种方法相结合,既可进行大量程的测量,也可进行较小量程内高分辨力的测量。大量程(1.8mm)内的分辨力为2μm,较小量程(200μm)内的分辨力可达0.2μm。试验表明该系统具有良好的线性度、重复性和动态响应特性,可用来测量复杂物体表面的面形。
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关键词
微位移传感系统
自动搜寻法
自动聚焦
激光头
误差信号
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职称材料
题名
基于激光自动搜寻的微位移传感系统设计
被引量：
1
1
作者
李婷
解旭辉
机构
国防科技大学机电工程与自动化学院
出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2005年第6期39-41,共3页
文摘
基于激光自动聚焦探测原理研究开发了一种非接触式微位移传感系统。利用光驱内的激光头,根据自动聚焦的原理进行设计,在“S”曲线法的基础上又提出了一种新的测量方法——自动搜寻法。将这2种方法相结合,既可进行大量程的测量,也可进行较小量程内高分辨力的测量。大量程(1.8mm)内的分辨力为2μm,较小量程(200μm)内的分辨力可达0.2μm。试验表明该系统具有良好的线性度、重复性和动态响应特性,可用来测量复杂物体表面的面形。
关键词
微位移传感系统
自动搜寻法
自动聚焦
激光头
误差信号
Keywords
micro-displacement sensing system
auto-searching method
auto-focusing
laser pickup head
error signal
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
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被引量
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1
基于激光自动搜寻的微位移传感系统设计
李婷
解旭辉
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2005
1
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