-
题名微器件表面3D形貌的新型微/纳米探头测量系统
被引量：6
- 1
-
-
作者
陈叶金
范光照
刘玉圣
-
机构
合肥工业大学仪器仪表学院
-
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2006年第1期12-17,共6页
-
基金
国家自然科学基金(50275048)
-
文摘
采用DVD光碟机的激光读取头,开发出微器件表面3D形貌的新型微/纳米测量系统。分析了激光读取头内部结构与运作原理,当反射面不在聚焦位置时,经四象限传感器探测聚焦误差信号(FES),驱动音圈马达以带动物镜重回聚焦位置,完成自动聚焦过程。并对音圈马达具有的磁滞现象加以研究,应用Preisach磁滞模型补偿磁滞误差,进而提高激光读取头在测量方面的精确度。结合HP激光干涉仪对测头不同测量范围的标准差与重复性进行校正测量,由校正的结果分析,此测头系统可实现微器件表面3D形貌的微/纳米测量。
-
关键词
计量学
微/纳米探头
激光读取头
聚焦误差信号
音圈马达
磁滞补偿
-
Keywords
Metrology
Micro/nano probe
Pickup head
Focus error signal
Voice coil motor
Hysteresis compensation
-
分类号
TB92
[机械工程—测试计量技术及仪器]
-
