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微/纳器件粗糙表面间弯月面力及黏着力计算
1
作者
刘思思
张朝辉
+1 位作者
周杰
何建国
《计算力学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第4期532-536,共5页
微/纳器件表面微观粗糙结构间由于液体介质而引起的弯月面力和黏着力是导致器件精度降低乃至失效的主要原因之一。通过建立微/纳米尺度上球面-平面接触的物理模型,基于Young-Laplace方程和Reynolds润滑理论,分析得到粗糙表面接触分离过...
微/纳器件表面微观粗糙结构间由于液体介质而引起的弯月面力和黏着力是导致器件精度降低乃至失效的主要原因之一。通过建立微/纳米尺度上球面-平面接触的物理模型,基于Young-Laplace方程和Reynolds润滑理论,分析得到粗糙表面接触分离过程中弯月面力和黏着力的计算公式。在此基础上,计算得到接触表面分离过程中的弯月面形状变化规律,并分别讨论了固体表面分离距离、液滴初始弯月面高度、固体表面润湿性能和分离时间等因素对弯月面力和黏着力的影响。研究结果为微/纳米表面抗黏着机理提供了理论依据。
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关键词
微/纳器件
粗糙表面接触模型
弯月面力
黏着力
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职称材料
硅基微机械表面粘附及摩擦性能的AFM试验研究
被引量：
4
2
作者
解国新
丁建宁
+1 位作者
范真
付永忠
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期200-203,共4页
在Si(1 0 0)基片上制备了十八烷基三氯硅烷(OTS)分子润滑膜,并用原子力显微镜(AFM)对比研究了施加OTS膜前后的硅表面的粘附、摩擦磨损性能。试验考虑了相对湿度和扫描速度对粘附、摩擦性能的影响。结果表明,相对于硅构件来讲,OTS膜表面...
在Si(1 0 0)基片上制备了十八烷基三氯硅烷(OTS)分子润滑膜,并用原子力显微镜(AFM)对比研究了施加OTS膜前后的硅表面的粘附、摩擦磨损性能。试验考虑了相对湿度和扫描速度对粘附、摩擦性能的影响。结果表明,相对于硅构件来讲,OTS膜表面粘附力较小,具有较小的摩擦因数,呈现较好的润滑性能;硅构件受湿度变化的影响比OTS膜明显。微构件的摩擦性能由于水合化学作用生成Si(OH)4润滑膜,使得其受相互间运动速度影响很大。OTS膜不仅是一种耐磨性较好的润滑膜,而且有良好的稳定性。
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关键词
原子力显
微
镜(AFM)
微/
纳
机电
器件
(MEMS/NEMS)
粘附
摩擦磨损
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职称材料
题名
微/纳器件粗糙表面间弯月面力及黏着力计算
1
作者
刘思思
张朝辉
周杰
何建国
机构
湘潭大学机械工程学院
北京交通大学机械与电子控制工程学院
出处
《计算力学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第4期532-536,共5页
基金
湘潭大学博士启动基金(14QDZ04)资助项目
文摘
微/纳器件表面微观粗糙结构间由于液体介质而引起的弯月面力和黏着力是导致器件精度降低乃至失效的主要原因之一。通过建立微/纳米尺度上球面-平面接触的物理模型,基于Young-Laplace方程和Reynolds润滑理论,分析得到粗糙表面接触分离过程中弯月面力和黏着力的计算公式。在此基础上,计算得到接触表面分离过程中的弯月面形状变化规律,并分别讨论了固体表面分离距离、液滴初始弯月面高度、固体表面润湿性能和分离时间等因素对弯月面力和黏着力的影响。研究结果为微/纳米表面抗黏着机理提供了理论依据。
关键词
微/纳器件
粗糙表面接触模型
弯月面力
黏着力
Keywords
micro/nano-element
rough surface contact model
meniscus force
viscous force
分类号
TH117 [机械工程—机械设计及理论]
O345 [理学—固体力学]
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职称材料
题名
硅基微机械表面粘附及摩擦性能的AFM试验研究
被引量：
4
2
作者
解国新
丁建宁
范真
付永忠
机构
江苏大学
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期200-203,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(50475124)
新世纪优秀人才计划资助项目(NCET-04-0515)
教育部优秀青年教师资助计划资助项目(2003335)
文摘
在Si(1 0 0)基片上制备了十八烷基三氯硅烷(OTS)分子润滑膜,并用原子力显微镜(AFM)对比研究了施加OTS膜前后的硅表面的粘附、摩擦磨损性能。试验考虑了相对湿度和扫描速度对粘附、摩擦性能的影响。结果表明,相对于硅构件来讲,OTS膜表面粘附力较小,具有较小的摩擦因数,呈现较好的润滑性能;硅构件受湿度变化的影响比OTS膜明显。微构件的摩擦性能由于水合化学作用生成Si(OH)4润滑膜,使得其受相互间运动速度影响很大。OTS膜不仅是一种耐磨性较好的润滑膜,而且有良好的稳定性。
关键词
原子力显
微
镜(AFM)
微/
纳
机电
器件
(MEMS/NEMS)
粘附
摩擦磨损
Keywords
AFM
MEMS/NEMS
adhesion
friction and wear
分类号
TG174 [金属学及工艺—金属表面处理]
TH117 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
微/纳器件粗糙表面间弯月面力及黏着力计算
刘思思
张朝辉
周杰
何建国
《计算力学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014
0
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职称材料
2
硅基微机械表面粘附及摩擦性能的AFM试验研究
解国新
丁建宁
范真
付永忠
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
4
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职称材料
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