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光谱共焦法偏心下径向梯度折射率透镜的厚度测量
被引量：
7
1
作者
李春艳
李庚鹏
+2 位作者
刘继红
罗豆
刘佳奕
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第17期2067-2076,共10页
为了实现径向梯度折射率(GRIN)透镜厚度的准确测量,对偏心引起的径向GRIN透镜厚度测量误差进行了研究。介绍了光谱共焦厚度测量系统的工作原理,利用径向GRIN透镜的光线径迹方程,在笛卡尔坐标系下结合光学拉格朗日函数、光线弧微分方程等...
为了实现径向梯度折射率(GRIN)透镜厚度的准确测量,对偏心引起的径向GRIN透镜厚度测量误差进行了研究。介绍了光谱共焦厚度测量系统的工作原理,利用径向GRIN透镜的光线径迹方程,在笛卡尔坐标系下结合光学拉格朗日函数、光线弧微分方程等,建立了径向GRIN透镜的厚度测量模型。然后,对径向GRIN透镜偏心引起的光谱曲线谱峰漂移,进而造成的厚度测量误差进行了理论研究及仿真分析,并通过搭建实验平台,利用精密位移台驱动GRIN透镜来模拟透镜偏心,完成了偏心影响下的厚度测量。实验结果表明:径向GRIN透镜的偏心程度越大,引起的测量误差越大,轴向测量位置的影响可忽略不计,验证了理论分析的正确性;实际厚度为4.0126 mm的GRIN透镜,校正偏心后的厚度测量误差为4.6μm,验证了光谱共焦法能够实现径向GRIN透镜厚度的精密测量。
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关键词
光谱共焦法
厚度测量
径向
梯度
折射率
透镜
偏心
峰值漂移
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职称材料
梯度透镜折射率分布高次项系数的数值计算
2
作者
杨安
汪翠莲
曹庆林
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1996年第2期183-188,共6页
本文从光线方程出发，给出了一系列利用径向梯度透镜球象差进行数值计算求解折射率分布高次项系数的公式及测量计算结果。
关键词
光线方程
径向梯度透镜
象差
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职称材料
题名
光谱共焦法偏心下径向梯度折射率透镜的厚度测量
被引量：
7
1
作者
李春艳
李庚鹏
刘继红
罗豆
刘佳奕
机构
西安邮电大学电子工程学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第17期2067-2076,共10页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.61805199)
陕西省自然科学基金资助项目(No.2022JM-387)
+2 种基金
陕西省重点研发计划资助项目(No.2020GY-127)
陕西省教育厅专项科研计划资助项目(No.20JK0908)
西安市科技计划项目资助项目(No.2020KJRC0112)。
文摘
为了实现径向梯度折射率(GRIN)透镜厚度的准确测量,对偏心引起的径向GRIN透镜厚度测量误差进行了研究。介绍了光谱共焦厚度测量系统的工作原理,利用径向GRIN透镜的光线径迹方程,在笛卡尔坐标系下结合光学拉格朗日函数、光线弧微分方程等,建立了径向GRIN透镜的厚度测量模型。然后,对径向GRIN透镜偏心引起的光谱曲线谱峰漂移,进而造成的厚度测量误差进行了理论研究及仿真分析,并通过搭建实验平台,利用精密位移台驱动GRIN透镜来模拟透镜偏心,完成了偏心影响下的厚度测量。实验结果表明:径向GRIN透镜的偏心程度越大,引起的测量误差越大,轴向测量位置的影响可忽略不计,验证了理论分析的正确性;实际厚度为4.0126 mm的GRIN透镜,校正偏心后的厚度测量误差为4.6μm,验证了光谱共焦法能够实现径向GRIN透镜厚度的精密测量。
关键词
光谱共焦法
厚度测量
径向
梯度
折射率
透镜
偏心
峰值漂移
Keywords
spectral confocal method
thickness measurement
radial gradient index(GRIN)lens
decentration
spectral peak drift
分类号
O433.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
梯度透镜折射率分布高次项系数的数值计算
2
作者
杨安
汪翠莲
曹庆林
机构
中国科学院西安光学精密机械研究所光学材料部
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1996年第2期183-188,共6页
文摘
本文从光线方程出发，给出了一系列利用径向梯度透镜球象差进行数值计算求解折射率分布高次项系数的公式及测量计算结果。
关键词
光线方程
径向梯度透镜
象差
Keywords
Ray equation
GRIN lens
Aberration
分类号
O435.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
光谱共焦法偏心下径向梯度折射率透镜的厚度测量
李春艳
李庚鹏
刘继红
罗豆
刘佳奕
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
7
在线阅读
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职称材料
2
梯度透镜折射率分布高次项系数的数值计算
杨安
汪翠莲
曹庆林
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1996
0
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职称材料
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