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叠层方式形成彩色滤光片隔垫物的研究
被引量：
1
1
作者
舒适
齐永莲
+2 位作者
徐传祥
张锋
崔承镇
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第12期956-960,共5页
本文研究了液晶显示面板彩色滤光片工艺中以叠层方式形成隔垫物的关键技术问题,即叠层隔垫物高度控制、主-附隔垫物段差的形成和主-附隔垫物段差受后续平坦层工艺的影响变化等,并提出了解决方案。在黑矩阵、红色、绿色、蓝色滤光层形成...
本文研究了液晶显示面板彩色滤光片工艺中以叠层方式形成隔垫物的关键技术问题,即叠层隔垫物高度控制、主-附隔垫物段差的形成和主-附隔垫物段差受后续平坦层工艺的影响变化等,并提出了解决方案。在黑矩阵、红色、绿色、蓝色滤光层形成一定的叠层高度后,采用形貌追随型平坦化材料对像素区平坦,通过控制像素开口部分OC的厚度,可以实现叠层隔垫物高度的控制。采用改变叠层图案设计的方法形成主-副隔垫物高度差(Main-sub段差),段差达成范围是0.4~1.2μm,达到了灰阶曝光方式可以达到段差的水平,但成本却大幅降低。并且验证了采用形貌追随型OC材料覆盖可以较好的保持OC工艺前形成的Main-sub段差。基于以上技术制备了4 Mask彩色滤光片原型机。
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关键词
彩色滤光片
叠层隔垫物
形貌追随型平坦化材料
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职称材料
题名
叠层方式形成彩色滤光片隔垫物的研究
被引量：
1
1
作者
舒适
齐永莲
徐传祥
张锋
崔承镇
机构
京东方科技集团股份有限公司技术研发中心
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第12期956-960,共5页
基金
京东方科技集团股份有限公司研发项目基金(No.2013013)~~
文摘
本文研究了液晶显示面板彩色滤光片工艺中以叠层方式形成隔垫物的关键技术问题,即叠层隔垫物高度控制、主-附隔垫物段差的形成和主-附隔垫物段差受后续平坦层工艺的影响变化等,并提出了解决方案。在黑矩阵、红色、绿色、蓝色滤光层形成一定的叠层高度后,采用形貌追随型平坦化材料对像素区平坦,通过控制像素开口部分OC的厚度,可以实现叠层隔垫物高度的控制。采用改变叠层图案设计的方法形成主-副隔垫物高度差(Main-sub段差),段差达成范围是0.4~1.2μm,达到了灰阶曝光方式可以达到段差的水平,但成本却大幅降低。并且验证了采用形貌追随型OC材料覆盖可以较好的保持OC工艺前形成的Main-sub段差。基于以上技术制备了4 Mask彩色滤光片原型机。
关键词
彩色滤光片
叠层隔垫物
形貌追随型平坦化材料
Keywords
color filter
stacking photo spacer
shape-following
OC material
分类号
O472.1 [理学—半导体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
叠层方式形成彩色滤光片隔垫物的研究
舒适
齐永莲
徐传祥
张锋
崔承镇
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2017
1
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职称材料
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