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微分相衬干涉显微镜定量测量表面形貌
被引量：
11
1
作者
许谊
徐毓娴
+1 位作者
惠梅
蔡昕
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2001年第3期226-229,共4页
改进了用于定量测量样品表面形貌的微分相衬干涉显微镜系统 ,对系统中由Nomarski棱镜引起的相位差 β 的消零工作提出了一种新的方法 ,实验证明是有效可靠的 ,并且对样品表面三维形貌重构、截面轮廓比对及系统的测量精度进行了实验研究。
关键词
干涉显微镜
相衬显微镜
形貌测量术
Nomarski显微镜
定量
测量
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职称材料
题名
微分相衬干涉显微镜定量测量表面形貌
被引量：
11
1
作者
许谊
徐毓娴
惠梅
蔡昕
机构
清华大学精密仪器系
中国科学院西安光机所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2001年第3期226-229,共4页
基金
国家自然科学基金资助 (批准号 :5 9975 0 5 2 )
文摘
改进了用于定量测量样品表面形貌的微分相衬干涉显微镜系统 ,对系统中由Nomarski棱镜引起的相位差 β 的消零工作提出了一种新的方法 ,实验证明是有效可靠的 ,并且对样品表面三维形貌重构、截面轮廓比对及系统的测量精度进行了实验研究。
关键词
干涉显微镜
相衬显微镜
形貌测量术
Nomarski显微镜
定量
测量
Keywords
interference microscopes
phase contrast microscopes
topography
分类号
TH742 [机械工程—光学工程]
TH741.8 [机械工程—光学工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
微分相衬干涉显微镜定量测量表面形貌
许谊
徐毓娴
惠梅
蔡昕
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2001
11
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