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强流束在二极磁铁中的非线性传输—Lie代数分析(英文) 被引量:3
1
作者 吕建钦 李金海 李超龙 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第7期717-720,共4页
 用Lie代数方法分析了带电粒子束在二极磁铁中的非线性传输,包含了空间电荷效应。粒子在相空间中的分布采用K V分布。轨迹分析的结果做到二级近似,根据需要,还可以扩展到三级或更高级近似。在分析中,将磁铁沿中心轨道分成若干小段。在...  用Lie代数方法分析了带电粒子束在二极磁铁中的非线性传输,包含了空间电荷效应。粒子在相空间中的分布采用K V分布。轨迹分析的结果做到二级近似,根据需要,还可以扩展到三级或更高级近似。在分析中,将磁铁沿中心轨道分成若干小段。在每个小段上利用所得公式进行轨迹计算,得到自洽的解。然后重复此过程,作下一小段的计算,直到最后一个小段为止。 展开更多
关键词 强流束 二极磁铁 非线性传输 LIE代数 带电粒子 空间电荷效应 加速器
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周期性聚焦结构中强流束的共振与束晕形成 被引量:3
2
作者 陈银宝 黄志斌 《核科学与工程》 CSCD 北大核心 2000年第1期70-77,共8页
强流束中的束晕形成是研制下一代高功率加速器必须解决的关键问题之一。为此研究了周期性聚焦结构中强流束的非线性共振、参数共振与束晕形成的关系 ,给出强流束中非线性共振、参数共振的共振范围表达式及其随束流空间电荷效应变化的数... 强流束中的束晕形成是研制下一代高功率加速器必须解决的关键问题之一。为此研究了周期性聚焦结构中强流束的非线性共振、参数共振与束晕形成的关系 ,给出强流束中非线性共振、参数共振的共振范围表达式及其随束流空间电荷效应变化的数值结果和图表曲线 ,提出由非线性共振而激发的束晕形成的空间电荷效应极限 ,为下一代高功率加速器的物理设计提供理论依据。 展开更多
关键词 周期性聚焦结构 强流束 晕形成 加速器
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一种消色差等时性强流束三磁铁偏转系统 被引量:8
3
作者 王厚稳 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第2期287-290,共4页
描述了一种由三块二极磁铁组成,无四极透镜的消色差等时性磁偏转系统及其设计方法。根据该系统有关色差性和时差性的关系式与TRACE-3D程序,设计了一个40MeV、200A电子束的135°偏转系统,该系统显示了良好的... 描述了一种由三块二极磁铁组成,无四极透镜的消色差等时性磁偏转系统及其设计方法。根据该系统有关色差性和时差性的关系式与TRACE-3D程序,设计了一个40MeV、200A电子束的135°偏转系统,该系统显示了良好的消色差性和等时性。 展开更多
关键词 流传输系统 强流束 三磁铁偏转系统
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强流束空间电荷力导致的发射度增长 被引量:1
4
作者 陈银宝 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第4期378-384,共7页
强流束的空间电荷效应是决定加速器束流动力学的基本因素之一,低能强流束中发射度增长的1个主要原因是束流自身的空间电荷力。文章综合介绍了国内外有关空间电荷力导致强流束中发射度增长4种机制的研究成果。
关键词 强流束 空间电荷力 发射度增长 流动力学
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强流束晕-混沌的外部磁场自适应控制 被引量:8
5
作者 高远 罗晓曙 +1 位作者 方锦清 翁甲强 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第9期1205-1209,共5页
 研究了强流质子束在周期聚焦磁场通道中束晕 混沌的外部磁场自适应控制方法,给出了磁场控制方程。将该方法应用在多粒子模型中,实现了对4种不同初始分布质子束的束晕 混沌的有效控制,得到了消除束晕及其再生现象的理想结果。在强流加...  研究了强流质子束在周期聚焦磁场通道中束晕 混沌的外部磁场自适应控制方法,给出了磁场控制方程。将该方法应用在多粒子模型中,实现了对4种不同初始分布质子束的束晕 混沌的有效控制,得到了消除束晕及其再生现象的理想结果。在强流加速器系统中,由于外部磁场是可测和可调的物理量,因此该控制方法有利于实验研究,可为强流质子加速器中周期聚焦磁场的设计和实验提供参考。 展开更多
关键词 强流质子 周期聚焦磁场通道 晕-混沌 混沌控制 自适应控制
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强流束晕-混沌的外部磁场滑模变结构控制 被引量:1
6
作者 高远 孔峰 田敬北 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1007-1010,共4页
研究了周期性聚焦磁场通道中,束晕-混沌的外部磁场滑模变结构控制方法。通过选择适当的滑模函数,根据李雅普洛夫稳定性条件,推导出外部磁场的滑模变结构控制器。模拟结果表明,在控制条件下,混沌变化的束包络半径能被控制到匹配半径。将... 研究了周期性聚焦磁场通道中,束晕-混沌的外部磁场滑模变结构控制方法。通过选择适当的滑模函数,根据李雅普洛夫稳定性条件,推导出外部磁场的滑模变结构控制器。模拟结果表明,在控制条件下,混沌变化的束包络半径能被控制到匹配半径。将该方法应用在多粒子模型中,实施每隔一个磁场周期就调节一次磁场幅度的控制策略,可实现对初始分布为K-V分布离子束的束晕-混沌的有效控制,束平均发射度降低了80%左右,束晕强度因子变为0,束流质量得到了很好的改善,消除了束晕及其再生现象。由于外部磁场是可测和可调的物理量,控制器简单且利于实现,研究结果可为强流离子加速器中周期性聚焦磁场的设计与试验提供参考。 展开更多
关键词 强流离子 晕-混沌 混沌控制 滑模控制
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强流束在二极磁场中传输的模拟计算
7
作者 李超龙 石海泉 +3 位作者 刘正方 吕珂 朱丽华 邱万英 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期2718-2722,共5页
为了研究空间电荷力对束流在二极磁场中传输的影响,从理论上用矩阵法分析非强流脉冲束流与强流脉冲束流在二极磁场中的传输矩阵,编写了束流在二极磁场等元件中传输的计算程序。用Powell优化方法计算非强流束传输实现给定的光学条件,用... 为了研究空间电荷力对束流在二极磁场中传输的影响,从理论上用矩阵法分析非强流脉冲束流与强流脉冲束流在二极磁场中的传输矩阵,编写了束流在二极磁场等元件中传输的计算程序。用Powell优化方法计算非强流束传输实现给定的光学条件,用迭代方法计算强流束传输获得自洽解。在不同束流流强条件下,运用该程序与其他程序进行了模拟计算,并对模拟结果进行了比较分析。模拟结果表明:束流流强越大,束流包络曲线横向发散越显著,空间电荷效应越强。 展开更多
关键词 强流脉冲 二极磁场 空间电荷力 矩阵法
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强流束晕-混沌的模糊逻辑控制研究
8
作者 高远 袁海英 +1 位作者 谭光兴 罗文广 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期223-228,共6页
以周期性磁场聚焦传输通道中的K-V(Kapchinskij-Vladimirskij)分布离子束为例,引入带偏置的升余弦函数近似刻画实际磁场,理论分析了通道中强流离子束的束晕-混沌动力学行为。针对束晕-混沌的控制问题,提出了束晕-混沌的模糊逻辑控制方... 以周期性磁场聚焦传输通道中的K-V(Kapchinskij-Vladimirskij)分布离子束为例,引入带偏置的升余弦函数近似刻画实际磁场,理论分析了通道中强流离子束的束晕-混沌动力学行为。针对束晕-混沌的控制问题,提出了束晕-混沌的模糊逻辑控制方法。模糊控制器采用Mamdani推理系统,其输出作为控制因子线性调整外部磁场强度。用模糊相平面法分析了控制系统的稳定性。仿真结果显示:在控制条件下,混沌变化的束包络半径被稳定控制;将该方法应用于多粒子模型,消除了束晕及其再生现象,束的品质获得较大提高。该模糊控制方法具有不依赖束输运数学模型、控制器简单、磁场调节呈线性关系、易于工程实现等优点。 展开更多
关键词 强流离子 周期聚焦磁场 晕-混沌 模糊控制
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强流束在三圆筒单透镜中的传输研究
9
作者 李超龙 石海泉 +3 位作者 刘正方 吕珂 朱丽华 邱万英 《华东交通大学学报》 2012年第4期52-56,共5页
强流脉冲束在三圆筒单透镜中的传输是一个相当复杂的问题,因为不同类型的粒子束分布产生不同的空间电荷场,而在束流运动过程中,空间电荷场也在不断地变化,而且粒子运动的轨迹与空间电荷势又是相互依赖的,因此需要求得一个自洽的解。对... 强流脉冲束在三圆筒单透镜中的传输是一个相当复杂的问题,因为不同类型的粒子束分布产生不同的空间电荷场,而在束流运动过程中,空间电荷场也在不断地变化,而且粒子运动的轨迹与空间电荷势又是相互依赖的,因此需要求得一个自洽的解。对于强流脉冲束在三圆筒单透镜中的传输,束流的空间电荷效应显著,需要考虑空间电荷效应对束流传输的影响。采用矩阵法分析非强流脉冲束流与强流脉冲束流在三圆筒单透镜中的传输矩阵,采用迭代方法计算强流脉冲束流的空间电荷效应对束流传输的影响,并编写了束流在三圆筒单透镜等元件中传输的计算程序。程序在进行模拟计算时,可以直观地显示束流相图、束流包络线等图形。 展开更多
关键词 强流脉冲 三圆筒单透镜 空间电荷效应 模拟计算
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强流束包络混沌现象的反演设计反馈控制
10
作者 高远 周新红 《广西工学院学报》 CAS 2009年第2期15-18,共4页
从K-V(Kapchinsdkij-Vladimiskij)分布束的束包络方程出发,利用李亚普洛夫函数理论,反演设计非线性反馈控制强流束包络的混沌现象.模拟结果表明,该控制方法能有效地控制束包络的混沌演化,且混沌变化的束包络半径能被控制到束包络匹配半... 从K-V(Kapchinsdkij-Vladimiskij)分布束的束包络方程出发,利用李亚普洛夫函数理论,反演设计非线性反馈控制强流束包络的混沌现象.模拟结果表明,该控制方法能有效地控制束包络的混沌演化,且混沌变化的束包络半径能被控制到束包络匹配半径(控制目标).该方法为进一步在多粒子模型中研究强流离子束束晕-混沌现象的控制问题提供了方法借鉴. 展开更多
关键词 强流离子 混沌控制 反演设计
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强流脉冲离子束技术在金属表面处理领域的研究进展
11
作者 连庆宙 唐鑫 李朋 《材料研究与应用》 2025年第2期249-256,共8页
强流脉冲离子束技术(High-intensity pulsed ion beam,HIPIB)通过纳秒级脉冲产生高能离子束,在金属表面引发瞬时热力学效应与应力波作用,实现精确的表面改性。近年来,该技术在金属表面处理领域得到了广泛的应用,并引起研究者的重视。但... 强流脉冲离子束技术(High-intensity pulsed ion beam,HIPIB)通过纳秒级脉冲产生高能离子束,在金属表面引发瞬时热力学效应与应力波作用,实现精确的表面改性。近年来,该技术在金属表面处理领域得到了广泛的应用,并引起研究者的重视。但是,该技术目前存在,如束流参数与材料性能改变的定量关联尚未明确,多脉冲作用下的累积效应机制有待进一步探索,以及针对不同金属体系的辐照工艺缺乏系统优化的问题。为优化强流脉冲离子束技术工艺参数,从热力学效应、微观组织演变与宏观性能提升3个方面进行了分析,建立了束流参数与表面特性之间的定量关系,同时阐述了强流脉冲离子束技术对金属表面的影响机理。强流脉冲离子束技术在金属表面引发熔融、气化和烧蚀等现象,促使纳米晶、非晶相及其他非平衡相的形成,从而改变材料的微观组织和表面形貌,提高材料的硬度、耐磨性和耐腐蚀性,延长金属材料的使用寿命。未来研究应集中于多尺度热-力-化耦合模型的建立,通过离子种类与参数协同调控,实现纳米晶、非晶复合结构的精准构筑,并扩展至医疗、新能源等领域。推动强流脉冲离子束技术与人工智能的深度融合,为制造业的发展和创新提供技术支撑。 展开更多
关键词 强流脉冲离子 表面形貌 相变 表面处理 表面性能 力学性能 热力学 影响机理
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基于强流脉冲离子束的中子辐照模拟装置及评价技术
12
作者 朱小鹏 田齐擎 +2 位作者 杨振 任尚 雷明凯 《中国核电》 2024年第2期150-156,共7页
依据高能原子辐照与中子辐照的初级离位原子(PKA)能谱相似性,基于TEMP-6M型强流脉冲离子束(HIPIB)系统,研发了一种中子辐照模拟装置,该装置以磁绝缘离子二极管伴生的强流脉冲二次电子束流实现0.1 MeV以上高能离子的高效率中和,获得动能... 依据高能原子辐照与中子辐照的初级离位原子(PKA)能谱相似性,基于TEMP-6M型强流脉冲离子束(HIPIB)系统,研发了一种中子辐照模拟装置,该装置以磁绝缘离子二极管伴生的强流脉冲二次电子束流实现0.1 MeV以上高能离子的高效率中和,获得动能为0.1~1 MeV、脉冲宽度为120~160 ns、脉冲辐照剂量为1012~10^(15)n/cm^(2)的强流脉冲原子或混合束,原子占比为85%~100%。通过辐照缺陷原位差热分析方法,快速确定材料缺陷数量、密度及dpa损伤速率等抗中子辐照性能评价指标。以核级AISI 304奥氏体不锈钢为例,计算PKA相似性定标曲线,采用220~280 keV的C原子等效1.8~2.3 MeV中子进行辐照模拟,调节名义束流能量密度0.5~4 J/cm^(2),实测辐照剂量范围为0.46×10^(13)~8.55×10^(13)n/cm^(2),热分析确定Frenkel缺陷密度为1.99×10^(16)~2.90×10^(17)/cm^(2),外推预测奥氏体不锈钢在1021n/cm^(2)中子剂量条件下的辐照损伤为500 dpa量级,适用于核电厂结构材料60年服役寿期评价需求。 展开更多
关键词 中子辐照 强流脉冲离子 强流脉冲原子 初级离位原子 原位差热分析
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强流脉冲束在螺旋管透镜中的非线性传输计算 被引量:5
13
作者 李超龙 石海泉 +6 位作者 艾剑峰 陈爱喜 黄克林 刘志荣 刘正方 刘志敏 李金海 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期176-180,共5页
为计算强流脉冲束在螺旋管透镜6维相空间中的非线性传输,用Visual Fortran 6.5语言设计了一个计算程序,计算由漂浮空间、螺旋管透镜等元件组成的束流光学系统。程序在计算非强流脉冲束流的线性传输时,粒子的轨迹通过矩阵的直接相乘计算... 为计算强流脉冲束在螺旋管透镜6维相空间中的非线性传输,用Visual Fortran 6.5语言设计了一个计算程序,计算由漂浮空间、螺旋管透镜等元件组成的束流光学系统。程序在计算非强流脉冲束流的线性传输时,粒子的轨迹通过矩阵的直接相乘计算得出;程序在计算强流脉冲束流的非线性传输时,需要考虑束流中的空间电荷效应对束流传输的影响,在束流运动过程中,空间电荷场也在不断地变化,而且粒子运动的轨迹与空间电荷势又是相互依赖的,因此需要求得一个自洽的解,先把元件分成若干均等的区间,把电流分成若干等份,后采用束流电流迭代与元件区间迭代的计算方法。程序运行结束时,横向和纵向相图以及束流光学系统的束流包络线可以在微机屏幕上直观地显示出来。 展开更多
关键词 强流束 螺旋管透镜 流光学 非线性传输 迭代计算
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强流脉冲离子束辐照对不锈钢耐腐蚀性能的影响 被引量:5
14
作者 王旭 刘臣 +3 位作者 王兰芳 祝美丽 雷明凯 张俊善 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期845-848,共4页
利用强流脉冲离子束(HIPIB)对316L不锈钢进行了表面辐照处理,研究了HIPIB辐照对其在0.5mol/L H2SO4溶液中电化学腐蚀性能的影响。极化曲线测量结果表明,HIPIB辐照能够显著提高316L的抗腐蚀性能,自腐蚀电流对辐照次数的依赖性与自腐蚀电... 利用强流脉冲离子束(HIPIB)对316L不锈钢进行了表面辐照处理,研究了HIPIB辐照对其在0.5mol/L H2SO4溶液中电化学腐蚀性能的影响。极化曲线测量结果表明,HIPIB辐照能够显著提高316L的抗腐蚀性能,自腐蚀电流对辐照次数的依赖性与自腐蚀电位相比明显较强。采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和电子探针(EPMA)分析辐照后试样表面形貌、表面层相结构和元素分布的变化。结果表明:HIPIB辐照使试样表面光滑化,表面层产生择优取向,且发生了杂质元素的选择性烧蚀,是316L不锈钢耐电化学腐蚀性能得以提高的主要原因。 展开更多
关键词 强流脉冲离子 不锈钢 耐腐蚀性能 辐照
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强流脉冲束在轴对称静电场中传输的自洽计算 被引量:3
15
作者 李超龙 李金海 吕建钦 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 2003年第3期221-225,共5页
为计算强流脉冲束在轴对称静电场六维相空间中的传输,设计了一个计算程序。此程序可以计算由漂浮空间、三圆单筒透镜、三膜片单透镜、双圆筒透镜、静电加速管组成的离子光学系统。为了得到强流束传输的自洽解,程序采用了迭代过程。用此... 为计算强流脉冲束在轴对称静电场六维相空间中的传输,设计了一个计算程序。此程序可以计算由漂浮空间、三圆单筒透镜、三膜片单透镜、双圆筒透镜、静电加速管组成的离子光学系统。为了得到强流束传输的自洽解,程序采用了迭代过程。用此程序计算了300kV强流脉冲束加速器的光路,所得结果合理。 展开更多
关键词 强流脉冲 轴对称静电场 传输 自洽解 计算程序 强流脉冲加速器 离子光学系统 光路
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强流氘束引出系统与加速管束流匹配的研究 被引量:2
16
作者 卢小龙 马占文 +5 位作者 黄智武 张双佼 王俊润 韦峥 张宇 姚泽恩 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第8期1519-1525,共7页
为增加传输通过加速管的束流强度,提高中子发生器的中子产额,采用Particle-in-cell(PIC)程序模拟研究了入射束强度在10~150mA范围内,不同初始参数条件下D+1束在加速管中的传输状态。结果表明,当入射束在加速管入口处的归一化发射度取0.2... 为增加传输通过加速管的束流强度,提高中子发生器的中子产额,采用Particle-in-cell(PIC)程序模拟研究了入射束强度在10~150mA范围内,不同初始参数条件下D+1束在加速管中的传输状态。结果表明,当入射束在加速管入口处的归一化发射度取0.25πcm·mrad,Courant-Snyder参数α=-4、β=60cm/rad时,50~100mA D+1束与加速管匹配良好。根据匹配参数,对双等离子体离子源的引出系统进行了优化,结果显示,在引出系统与加速管之间放置两个螺线管透镜和1个光阑,能有效去除D+2、D+3离子,实现100mA D+1束顺利传输通过加速管的目的。 展开更多
关键词 流匹配 PIC模拟 强流离子 中子发生器
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强流离子束传输系统束包络的计算机数值模拟 被引量:5
17
作者 姚泽恩 朴禹伯 苏桐龄 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第6期555-560,共6页
以强流离子束包络方程为基本模型,提出了微元近似数值计算强流离子束包络的方法。编写的计算机模拟设计强流束传输系统的程序包含高压型加速器常用的电元件和磁元件。
关键词 强流离子 包络 计算机模拟 传输系统
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强流脉冲离子束辐照对DZ4合金性能的影响 被引量:4
18
作者 孙文飞 梅显秀 +3 位作者 李晓娜 赵林 马腾才 雷明凯 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期2082-2086,共5页
用含C^n+和H^+、加速电压250kV、脉冲宽度70ns、束流密度160A/cm^2的强流脉冲离子束辐照DZ4合金.辐照次数分别为2,5.10.15。实验结果表明;辐照后样品的表面出现了熔坑,多次脉冲辐照后样品的表面熔坑边缘模糊甚至消失。近表面... 用含C^n+和H^+、加速电压250kV、脉冲宽度70ns、束流密度160A/cm^2的强流脉冲离子束辐照DZ4合金.辐照次数分别为2,5.10.15。实验结果表明;辐照后样品的表面出现了熔坑,多次脉冲辐照后样品的表面熔坑边缘模糊甚至消失。近表面存在厚1~2μm的重熔层,晶粒较细,晶界模糊;熔坑周围富集Cr和Mo等元素;强流脉冲离子束辐照处理后DZ4合金的耐腐蚀性能明显提高,腐蚀速率下降,这是由于辐照减弱了由于晶界和晶粒本体的成分差异而引起的晶界腐蚀;同时离子束辐照后的DZ4合金在高温氧化时更容易形成一层连续的保护性氧化物,其主要成分是致密的Al2O3,使得DZ4合金的耐高温氧化性能也有所改善。 展开更多
关键词 强流脉冲离子 DZ4镍基高温合金 耐腐蚀性能 耐高温氧化性能 辐照
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强流脉冲离子束辐照对电弧离子镀TiNbN硬质薄膜摩擦磨损性能的影响 被引量:1
19
作者 陈军 林莉 +2 位作者 林国强 郝胜智 王富岗 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1003-1006,共4页
利用分离靶电弧离子镀工艺在高速钢基体上制备TiNbN多元硬质薄膜,利用TEMP-6型强流脉冲离子束(HIPIB)设备,采用含C/H离子、加速电压300 kV、脉冲宽度70 ns、束流密度60 A/cm2的强流脉冲离子束对所制备的薄膜进行辐照处理,研究辐照前后... 利用分离靶电弧离子镀工艺在高速钢基体上制备TiNbN多元硬质薄膜,利用TEMP-6型强流脉冲离子束(HIPIB)设备,采用含C/H离子、加速电压300 kV、脉冲宽度70 ns、束流密度60 A/cm2的强流脉冲离子束对所制备的薄膜进行辐照处理,研究辐照前后膜层的摩擦磨损性能的变化。实验结果表明:HIPIB辐照以后,薄膜的表面熔化,摩擦系数降低,晶粒细化,膜层的硬度由HK3444提高到HK3820,膜基结合力由59N提高到65 N。在测试载荷300 N和600 N条件下,薄膜的摩擦磨损性能均有较大改善。 展开更多
关键词 TiNbN硬质薄膜 强流脉冲离子 膜基结合力 摩擦磨损
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衬底温度对强流脉冲离子束烧蚀沉积类金刚石薄膜化学结构的影响 被引量:2
20
作者 梅显秀 马腾才 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第7期1262-1265,共4页
采用强流脉冲离子束 (High-intensity pulsed ion beam,HIPIB)烧蚀技术在 Si(1 0 0 )基体上沉积类金刚石 (Diamond-like carbon,DLC)薄膜 ,衬底温度的变化范围为 2 98~ 6 73K.利用 Raman光谱和 X射线光电子谱 (XPS)对 DLC薄膜的化学结... 采用强流脉冲离子束 (High-intensity pulsed ion beam,HIPIB)烧蚀技术在 Si(1 0 0 )基体上沉积类金刚石 (Diamond-like carbon,DLC)薄膜 ,衬底温度的变化范围为 2 98~ 6 73K.利用 Raman光谱和 X射线光电子谱 (XPS)对 DLC薄膜的化学结合状态与衬底温度之间关系进行研究 .薄膜 XPS的 C1 s谱的解谱分析得出薄膜中含有 sp3 C(结合能为 2 85 .5 e V)和 sp2 C(结合能为 2 84 .7e V)成分 ,根据解谱结果评价薄膜中 sp3 C含量 .根据 XPS分析可知 ,衬底温度低于 4 73K时 ,sp3 C的含量大约为 4 0 %左右 ;随着沉积薄膜时衬底温度的提高 ,sp3 C的含量降低 ,由 2 98K时的 4 2 .5 %降到 6 73K时的 8.1 % ,从 5 73K开始发生 sp3 C向 sp2 C转变 .Raman光谱表明 ,随着衬底温度的提高 ,Raman谱中 G峰的峰位靠近石墨峰位 ,G峰的半峰宽降低 ,D峰与G峰的强度比 ID/IG 增大 ,说明薄膜中的 sp3 C的含量随衬底温度增加而减少 . 展开更多
关键词 衬底温度 强流脉冲离子烧蚀 沉积技术 类金刚石薄膜 化学结构 化学结合状态
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