期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
新型室温微机械红外探测器原理与设计
被引量：
3
1
作者
李兰
沈光地
+4 位作者
邹德恕
刘铮
邓军
杨道虹
吴畯苗
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期34-36,43,共4页
利用红外吸收气体直接吸收红外辐射的原理,设计出一种新型室温红外探测器。当密闭腔 内气体吸收红外辐射后,腔内压强增大使弹性薄膜形变,由以弹性薄膜为可动极板的微电容结构的电容变化量,可测得红外辐射的大小。采用微机械技术制作的...
利用红外吸收气体直接吸收红外辐射的原理,设计出一种新型室温红外探测器。当密闭腔 内气体吸收红外辐射后,腔内压强增大使弹性薄膜形变,由以弹性薄膜为可动极板的微电容结构的电容变化量,可测得红外辐射的大小。采用微机械技术制作的探测器,对8-14mm红外辐射有灵敏、快速的响应,灵敏度≥2×10-3 pF/mW。
展开更多
关键词
红外探测器
微机械
弹性敏感薄膜
红外吸收气体
在线阅读
下载PDF
职称材料
新型室温工作微机械红外探测器
2
作者
李兰
刘铮
+1 位作者
邹德恕
沈光地
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第z2期140-141,共2页
提出一种基于特殊红外吸收机理和先进微机械加工技术实现的新型室温工作红外探测器。利用在特定波段对红外辐射有强烈吸收的气体作为吸收红外辐射的媒质,采用微机械加工方法制作带有弹性敏感薄膜的微气室和微电容检测结构将吸收的红外...
提出一种基于特殊红外吸收机理和先进微机械加工技术实现的新型室温工作红外探测器。利用在特定波段对红外辐射有强烈吸收的气体作为吸收红外辐射的媒质,采用微机械加工方法制作带有弹性敏感薄膜的微气室和微电容检测结构将吸收的红外辐射能量转换为弹性薄膜的机械形变引起电容变化并通过电学方法检测,从而实现灵敏而快速的室温红外探测器件,尤其在8～14μm有良好的应用前景。
展开更多
关键词
红外探测器
微机械
弹性敏感薄膜
红外吸收气体
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
新型室温微机械红外探测器原理与设计
被引量：
3
1
作者
李兰
沈光地
邹德恕
刘铮
邓军
杨道虹
吴畯苗
机构
北京工业大学电子信息与控制工程学院北京光电子技术实验室
出处
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期34-36,43,共4页
基金
国家自然科学基金(69976004)
北京市自然科学基金(4982005)资助项目
文摘
利用红外吸收气体直接吸收红外辐射的原理,设计出一种新型室温红外探测器。当密闭腔 内气体吸收红外辐射后,腔内压强增大使弹性薄膜形变,由以弹性薄膜为可动极板的微电容结构的电容变化量,可测得红外辐射的大小。采用微机械技术制作的探测器,对8-14mm红外辐射有灵敏、快速的响应,灵敏度≥2×10-3 pF/mW。
关键词
红外探测器
微机械
弹性敏感薄膜
红外吸收气体
Keywords
Infrared detector
Micromachine
Elastic sensitive film
Infrared absorption gas
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
新型室温工作微机械红外探测器
2
作者
李兰
刘铮
邹德恕
沈光地
机构
北京工业大学电子信息与控制工程学院北京光电子技术实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第z2期140-141,共2页
基金
国家自然科学基金(69976004)
北京市自然科学基金(4982005)
文摘
提出一种基于特殊红外吸收机理和先进微机械加工技术实现的新型室温工作红外探测器。利用在特定波段对红外辐射有强烈吸收的气体作为吸收红外辐射的媒质,采用微机械加工方法制作带有弹性敏感薄膜的微气室和微电容检测结构将吸收的红外辐射能量转换为弹性薄膜的机械形变引起电容变化并通过电学方法检测,从而实现灵敏而快速的室温红外探测器件,尤其在8～14μm有良好的应用前景。
关键词
红外探测器
微机械
弹性敏感薄膜
红外吸收气体
Keywords
Infrared detector
Micromaching
Elastic sensitive film
Infrared absorption gas
分类号
TN21 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
新型室温微机械红外探测器原理与设计
李兰
沈光地
邹德恕
刘铮
邓军
杨道虹
吴畯苗
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
新型室温工作微机械红外探测器
李兰
刘铮
邹德恕
沈光地
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
