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基于异构宏模型的MEMS系统级建模方法
被引量：
1
1
作者
吕湘连
苑伟政
+1 位作者
何洋
霍鹏飞
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第14期1272-1275,共4页
针对含复杂结构的MEMS器件,提出基于异构宏模型的系统级建模方法,即将基于解析法和基于数值计算的宏建模方法结合起来提取复杂器件的参数化宏模型,在此基础上实现MEMS系统级仿真。以z轴加速度计为例,在Saber中进行其系统级的时域、频域...
针对含复杂结构的MEMS器件,提出基于异构宏模型的系统级建模方法,即将基于解析法和基于数值计算的宏建模方法结合起来提取复杂器件的参数化宏模型,在此基础上实现MEMS系统级仿真。以z轴加速度计为例,在Saber中进行其系统级的时域、频域仿真,将仿真结果与有限元分析进行了比较,其仿真时间小于3min,相对误差小于3%,表明该方法能够快速有效地实现复杂结构MEMS器件的系统级仿真。
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关键词
异构宏模型
系统级建模
微机电系统
仿真
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职称材料
题名
基于异构宏模型的MEMS系统级建模方法
被引量：
1
1
作者
吕湘连
苑伟政
何洋
霍鹏飞
机构
西北工业大学
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第14期1272-1275,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(50375125)
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(2003069903
20040699009)
文摘
针对含复杂结构的MEMS器件,提出基于异构宏模型的系统级建模方法,即将基于解析法和基于数值计算的宏建模方法结合起来提取复杂器件的参数化宏模型,在此基础上实现MEMS系统级仿真。以z轴加速度计为例,在Saber中进行其系统级的时域、频域仿真,将仿真结果与有限元分析进行了比较,其仿真时间小于3min,相对误差小于3%,表明该方法能够快速有效地实现复杂结构MEMS器件的系统级仿真。
关键词
异构宏模型
系统级建模
微机电系统
仿真
Keywords
hybrid macromodel
system-level modeling method
MEMS
simulation
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于异构宏模型的MEMS系统级建模方法
吕湘连
苑伟政
何洋
霍鹏飞
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
1
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