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薄膜体声波谐振器Mason模型参数的提取方法
被引量：
4
1
作者
张必壮
唐小龙
+4 位作者
蒋平英
李华莉
廖书丹
刘娅
刘繁
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022年第2期215-219,共5页
为了正确分析和设计薄膜体声波谐振器(FBAR)器件,需要对谐振器Mason模型中的仿真参数(如机电耦合系数、介电常数及粘滞系数等)进行准确提取。通过简谐近似,在Mason模型中引入了厚度方向位移的横向分量,提高了参数提取的准确性。使用谐...
为了正确分析和设计薄膜体声波谐振器(FBAR)器件,需要对谐振器Mason模型中的仿真参数(如机电耦合系数、介电常数及粘滞系数等)进行准确提取。通过简谐近似,在Mason模型中引入了厚度方向位移的横向分量,提高了参数提取的准确性。使用谐振器开路和短路图形的散射参数,提取了探针及测试焊盘的等效电路参数,对谐振器进行去嵌。根据拟合得到的模型参数,仿真了中心频率为5.43 GHz的滤波器。结果表明,采用该方法提取的模型参数仿真结果和滤波器探针测试曲线的通带形状吻合较好。
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关键词
薄膜体声波谐振器(FBAR)
Mason模型
参数提取
开路和短路去嵌
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职称材料
题名
薄膜体声波谐振器Mason模型参数的提取方法
被引量：
4
1
作者
张必壮
唐小龙
蒋平英
李华莉
廖书丹
刘娅
刘繁
机构
中国电子科技集团公司第二十六研究所
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022年第2期215-219,共5页
文摘
为了正确分析和设计薄膜体声波谐振器(FBAR)器件,需要对谐振器Mason模型中的仿真参数(如机电耦合系数、介电常数及粘滞系数等)进行准确提取。通过简谐近似,在Mason模型中引入了厚度方向位移的横向分量,提高了参数提取的准确性。使用谐振器开路和短路图形的散射参数,提取了探针及测试焊盘的等效电路参数,对谐振器进行去嵌。根据拟合得到的模型参数,仿真了中心频率为5.43 GHz的滤波器。结果表明,采用该方法提取的模型参数仿真结果和滤波器探针测试曲线的通带形状吻合较好。
关键词
薄膜体声波谐振器(FBAR)
Mason模型
参数提取
开路和短路去嵌
Keywords
thin film bulk acoustic wave resonator(FBAR)
Mason model
parameter extraction
open and short de-embedding
分类号
TN65 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
薄膜体声波谐振器Mason模型参数的提取方法
张必壮
唐小龙
蒋平英
李华莉
廖书丹
刘娅
刘繁
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022
4
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