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变温循环热处理对液相外延Hg_(1-x)Cd_xTe薄膜材料晶体质量的影响
1
作者
孔金丞
李艳辉
+2 位作者
赵俊
唐利斌
姬荣斌
《红外技术》
CSCD
北大核心
2007年第3期140-142,146,共4页
采用X射线衍射双晶回摆曲线半峰宽(FWHM)、反射式X射线形貌相和腐蚀坑密度(EPD)技术对开管变温热处理前后的液相外延(LPE)Hg1-xCdxTe薄膜材料晶体质量进行了研究。变温循环热处理能有效减小液相外延Hg1-xCdxTe薄膜材料的FWHM、释放材料...
采用X射线衍射双晶回摆曲线半峰宽(FWHM)、反射式X射线形貌相和腐蚀坑密度(EPD)技术对开管变温热处理前后的液相外延(LPE)Hg1-xCdxTe薄膜材料晶体质量进行了研究。变温循环热处理能有效减小液相外延Hg1-xCdxTe薄膜材料的FWHM、释放材料中的应力、减少材料的腐蚀坑密度,说明变温循环热处理是一种简单而有效的改善Hg1-xCdxTe薄膜材料晶体质量的方法。
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关键词
开管变温循环热处理
HG1-XCDXTE
FWHM
反射式X射线形貌相
EPD
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职称材料
题名
变温循环热处理对液相外延Hg_(1-x)Cd_xTe薄膜材料晶体质量的影响
1
作者
孔金丞
李艳辉
赵俊
唐利斌
姬荣斌
机构
昆明物理研究所
出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2007年第3期140-142,146,共4页
基金
国家自然科学基金(项目编号:60576069)
云南省自然科学基金(编号:2004E0055M)
文摘
采用X射线衍射双晶回摆曲线半峰宽(FWHM)、反射式X射线形貌相和腐蚀坑密度(EPD)技术对开管变温热处理前后的液相外延(LPE)Hg1-xCdxTe薄膜材料晶体质量进行了研究。变温循环热处理能有效减小液相外延Hg1-xCdxTe薄膜材料的FWHM、释放材料中的应力、减少材料的腐蚀坑密度,说明变温循环热处理是一种简单而有效的改善Hg1-xCdxTe薄膜材料晶体质量的方法。
关键词
开管变温循环热处理
HG1-XCDXTE
FWHM
反射式X射线形貌相
EPD
Keywords
open-tube cycling-temperature annealing
Hg,-xCdxTe
FWHM
X-ray topography
EPD
分类号
TN213 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
变温循环热处理对液相外延Hg_(1-x)Cd_xTe薄膜材料晶体质量的影响
孔金丞
李艳辉
赵俊
唐利斌
姬荣斌
《红外技术》
CSCD
北大核心
2007
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