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LGS压电晶体及其声表面波特性的理论分析
被引量:
7
1
作者
吉小军
韩韬
+1 位作者
施文康
张国伟
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2004年第2期135-138,共4页
简要介绍了硅酸钾镧(LGS)压电晶体及其性能,从理论上分析了其X切、Y切和Z切的声表面波(SAW)特性,证实了LGS具有机电耦合系数高且存在能流角和温度延时系数为零的切向等优点。同时也验证了分析理论的正确性,为进一步研究其高温特性和优...
简要介绍了硅酸钾镧(LGS)压电晶体及其性能,从理论上分析了其X切、Y切和Z切的声表面波(SAW)特性,证实了LGS具有机电耦合系数高且存在能流角和温度延时系数为零的切向等优点。同时也验证了分析理论的正确性,为进一步研究其高温特性和优化切向奠定了可靠的理论基础。
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关键词
相速度
机电耦合
系数
能流角
延时温度系数
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职称材料
TeO_x薄膜的结构与声学特性研究
2
作者
周凤梅
李哲
+3 位作者
WASA Kiyotaka
范理
张淑仪
水修基
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2010年第6期918-921,925,共5页
采用射频磁控溅射技术在不同条件、不同基片上制备氧化碲(TeOx)薄膜,并通过X线衍射、傅里叶变换红外光谱、X线光电子能谱等技术对制备的TeOx薄膜的结构和成分进行了分析。研制了TeOx/36°YX-LiTaO3结构的Love波器件,对Love波器件的...
采用射频磁控溅射技术在不同条件、不同基片上制备氧化碲(TeOx)薄膜,并通过X线衍射、傅里叶变换红外光谱、X线光电子能谱等技术对制备的TeOx薄膜的结构和成分进行了分析。研制了TeOx/36°YX-LiTaO3结构的Love波器件,对Love波器件的延时温度系数(TCD)进行研究。结果表明,与36°YX-LiTaO3基片上制作的水平切变声波器件的延时温度系数相比,Love波器件的延时温度系数因TeOx薄膜的沉积而减小,故TeOx薄膜的延时温度系数为负值,其变化量取决于TeOx薄膜的制备条件和薄膜厚度。因此,TeOx/36°YX-LiTaO3结构Love波器件的延时温度系数可通过选择TeOx薄膜的制备条件和膜厚进行优化。
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关键词
TeOx薄膜
Love波器件
延时温度系数
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职称材料
AIN/128°Y-X LiNbO_3层结构的声表面波特性研究
3
作者
陈岗
《湖南师范大学自然科学学报》
CAS
1991年第3期227-231,共5页
本文对A1N/128°Y-X LiNbO_3层结构的声表面波特性进行了研究。得到此层结构在较小的A1N膜厚时,不但具有延时温度系数(TCD)为零的特性;而且,在零TCD时,有高的机电耦合系数(k)及良好的频响特性。
关键词
层结构
声表面波
延时温度系数
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职称材料
题名
LGS压电晶体及其声表面波特性的理论分析
被引量:
7
1
作者
吉小军
韩韬
施文康
张国伟
机构
上海交通大学仪器工程系
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2004年第2期135-138,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60274062)
文摘
简要介绍了硅酸钾镧(LGS)压电晶体及其性能,从理论上分析了其X切、Y切和Z切的声表面波(SAW)特性,证实了LGS具有机电耦合系数高且存在能流角和温度延时系数为零的切向等优点。同时也验证了分析理论的正确性,为进一步研究其高温特性和优化切向奠定了可靠的理论基础。
关键词
相速度
机电耦合
系数
能流角
延时温度系数
Keywords
phase velocity
electromechanical coupling factor
power flow angle
temperature coefficient of delay
分类号
TN65 [电子电信—电路与系统]
TN385 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
TeO_x薄膜的结构与声学特性研究
2
作者
周凤梅
李哲
WASA Kiyotaka
范理
张淑仪
水修基
机构
南京大学声学研究所近代声学实验室
京都大学工学研究科
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2010年第6期918-921,925,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(10774074)
文摘
采用射频磁控溅射技术在不同条件、不同基片上制备氧化碲(TeOx)薄膜,并通过X线衍射、傅里叶变换红外光谱、X线光电子能谱等技术对制备的TeOx薄膜的结构和成分进行了分析。研制了TeOx/36°YX-LiTaO3结构的Love波器件,对Love波器件的延时温度系数(TCD)进行研究。结果表明,与36°YX-LiTaO3基片上制作的水平切变声波器件的延时温度系数相比,Love波器件的延时温度系数因TeOx薄膜的沉积而减小,故TeOx薄膜的延时温度系数为负值,其变化量取决于TeOx薄膜的制备条件和薄膜厚度。因此,TeOx/36°YX-LiTaO3结构Love波器件的延时温度系数可通过选择TeOx薄膜的制备条件和膜厚进行优化。
关键词
TeOx薄膜
Love波器件
延时温度系数
Keywords
TeOx film
Love-wave device
temperature coefficient of delay
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
AIN/128°Y-X LiNbO_3层结构的声表面波特性研究
3
作者
陈岗
机构
湖南师范大学职业技术学院
出处
《湖南师范大学自然科学学报》
CAS
1991年第3期227-231,共5页
文摘
本文对A1N/128°Y-X LiNbO_3层结构的声表面波特性进行了研究。得到此层结构在较小的A1N膜厚时,不但具有延时温度系数(TCD)为零的特性;而且,在零TCD时,有高的机电耦合系数(k)及良好的频响特性。
关键词
层结构
声表面波
延时温度系数
Keywords
surface acoustic wave(SAW)
layered structure
temperature coefficient of delay(TCD)
electromechanical coupling coefficient(K)
frequency response
inter digital transducers
stiffen
分类号
O424 [理学—声学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
LGS压电晶体及其声表面波特性的理论分析
吉小军
韩韬
施文康
张国伟
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2004
7
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职称材料
2
TeO_x薄膜的结构与声学特性研究
周凤梅
李哲
WASA Kiyotaka
范理
张淑仪
水修基
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2010
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
AIN/128°Y-X LiNbO_3层结构的声表面波特性研究
陈岗
《湖南师范大学自然科学学报》
CAS
1991
0
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职称材料
已选择
0
条
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参考文献
引证文献
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