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LGS压电晶体及其声表面波特性的理论分析 被引量:7
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作者 吉小军 韩韬 +1 位作者 施文康 张国伟 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2004年第2期135-138,共4页
简要介绍了硅酸钾镧(LGS)压电晶体及其性能,从理论上分析了其X切、Y切和Z切的声表面波(SAW)特性,证实了LGS具有机电耦合系数高且存在能流角和温度延时系数为零的切向等优点。同时也验证了分析理论的正确性,为进一步研究其高温特性和优... 简要介绍了硅酸钾镧(LGS)压电晶体及其性能,从理论上分析了其X切、Y切和Z切的声表面波(SAW)特性,证实了LGS具有机电耦合系数高且存在能流角和温度延时系数为零的切向等优点。同时也验证了分析理论的正确性,为进一步研究其高温特性和优化切向奠定了可靠的理论基础。 展开更多
关键词 相速度 机电耦合系数 能流角 延时温度系数
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TeO_x薄膜的结构与声学特性研究
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作者 周凤梅 李哲 +3 位作者 WASA Kiyotaka 范理 张淑仪 水修基 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第6期918-921,925,共5页
采用射频磁控溅射技术在不同条件、不同基片上制备氧化碲(TeOx)薄膜,并通过X线衍射、傅里叶变换红外光谱、X线光电子能谱等技术对制备的TeOx薄膜的结构和成分进行了分析。研制了TeOx/36°YX-LiTaO3结构的Love波器件,对Love波器件的... 采用射频磁控溅射技术在不同条件、不同基片上制备氧化碲(TeOx)薄膜,并通过X线衍射、傅里叶变换红外光谱、X线光电子能谱等技术对制备的TeOx薄膜的结构和成分进行了分析。研制了TeOx/36°YX-LiTaO3结构的Love波器件,对Love波器件的延时温度系数(TCD)进行研究。结果表明,与36°YX-LiTaO3基片上制作的水平切变声波器件的延时温度系数相比,Love波器件的延时温度系数因TeOx薄膜的沉积而减小,故TeOx薄膜的延时温度系数为负值,其变化量取决于TeOx薄膜的制备条件和薄膜厚度。因此,TeOx/36°YX-LiTaO3结构Love波器件的延时温度系数可通过选择TeOx薄膜的制备条件和膜厚进行优化。 展开更多
关键词 TeOx薄膜 Love波器件 延时温度系数
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AIN/128°Y-X LiNbO_3层结构的声表面波特性研究
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作者 陈岗 《湖南师范大学自然科学学报》 CAS 1991年第3期227-231,共5页
本文对A1N/128°Y-X LiNbO_3层结构的声表面波特性进行了研究。得到此层结构在较小的A1N膜厚时,不但具有延时温度系数(TCD)为零的特性;而且,在零TCD时,有高的机电耦合系数(k)及良好的频响特性。
关键词 层结构 声表面波 延时温度系数
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