蚀刻气废气处理装置

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作者 张应焞 崔海生 《低温与特气》 CAS 1987年第1期72-72,共1页

日本宇部兴产公司研制了一种在半导体制造工序中使用的蚀刻气的废气处理装置“UBE-RID”，最近正式开始销售。该公司是日本国内生产铝的蚀刻气(三氯化硼)的厂家。当三氯化硼与水分和空气接触时，会生成硼酸和氧化硼等固体物质，导致废... 日本宇部兴产公司研制了一种在半导体制造工序中使用的蚀刻气的废气处理装置“UBE-RID”，最近正式开始销售。该公司是日本国内生产铝的蚀刻气(三氯化硼)的厂家。当三氯化硼与水分和空气接触时，会生成硼酸和氧化硼等固体物质，导致废气系统的管道和洗涤器封闭。为了有助于安全使用三氯化硼，该公司研制了简便的废气处理装置， 展开更多

关键词 废气处理装置 蚀刻 日本宇部兴产公司 三氯化硼 制造工序 空气接触 固体物质 废气系统 安全使用 半导体 日本国 氧化硼 洗涤器 研制 硼酸

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利用罐采样/GC-MS法测废气处理装置处理效果

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作者 王凯 谢博宇 +3 位作者 聂赛赛 刘大喜 段莉丽 崔建升 《煤炭与化工》 CAS 2021年第3期150-154,共5页

为探究废气处理装置对挥发性有机物(VOCs)的处理效果,利用气相色谱-质谱法对在处理装置前后两端用苏玛罐采集到的VOCs样品进行定性定量分析,尝试建立一种新型的检测方法。结果显示:废气中共检测得到VOCs共50种,其中烷烃4种、芳香烃9种... 为探究废气处理装置对挥发性有机物(VOCs)的处理效果,利用气相色谱-质谱法对在处理装置前后两端用苏玛罐采集到的VOCs样品进行定性定量分析,尝试建立一种新型的检测方法。结果显示:废气中共检测得到VOCs共50种,其中烷烃4种、芳香烃9种、含氧挥发性有机物6种、卤代烷烃17种、卤代烯烃9种以及卤代芳烃5种。降解前质量浓度分别为23.16、207.87、1435.54、1409.28、14.58以及17.11μg/m^(3),降解后质量浓度分别为15.24、200.39、459.19、371.86、7.43以及7.77μg/m^(3)。降解效率分别为34.22%、3.60%、68.01%、73.61%、49.07%、和54.60%。同时监测得到的VOCs特征组分分别有丙酮、氯甲烷、二氯甲烷、4-乙基甲苯、氯乙烷以及甲苯6种,降解前后质量浓度之和占总VOCs的百分比分别有93.37%和84.45%,需对这几种VOCs进行重点关注。 展开更多

关键词 VOCS 罐采样/气相色谱-质谱法 废气处理装置 降解效率 质量浓度

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高科技制造业工艺设备用废气处理装置 被引量：1

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作者 刘建勋 《洁净与空调技术》 2013年第3期83-91,共9页

主要介绍集成电路、液晶光电和薄膜太阳能等高科技制造行业中,工艺设备尾气除害用的废气处理装置Local Scrubber以及相关产品的分类、功能、原理、处理效率、日常维护、报警处理和相关环保法律法规等。

关键词 集成电路 集成电路制造工厂 洁净厂房 废气处理装置或尾气处理装置 特殊气体 预防性保养 报警

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车载式肼-70废气处理装置的设计与验证

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作者 荆彦文 郑雪玲 《内燃机与配件》 2016年第8期9-11,共3页

本文提出了一种车载式肼-70废气处理装置的设计,可用于不同场地对产生的含肼废气进行高效环保处理,保障现场操作人员的人身安全,防止发生环境污染。

关键词 车载式 肼-70 废气处理装置

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爆炸性废气处理装置

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作者 梅垣 武士 +2 位作者 梅钵 昭太郎 赵静渊 《低温与特气》 CAS 1987年第3期69-70,共2页

本发明是关于防止SiH4、H2等排出气体澈烈燃烧的处理装置。

关键词 废气处理装置 爆炸性 SIH4 排出气体

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沼气废气处理研究

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作者 尹高飞 崔丽珍 +1 位作者 林子川 张鹏 《现代农村科技》 2015年第4期54-55,共2页

本研究以保定市徐水县、廊坊市、承德市部分农村沼气实际利用状况为研究对象,以沼气废气及其处理为研究内容,通过问卷调查与访谈相结合的方法收集沼气池的使用以及废气排放方面的基础资料,发现大部分沼气池在使用过程中都存在沼气废气... 本研究以保定市徐水县、廊坊市、承德市部分农村沼气实际利用状况为研究对象,以沼气废气及其处理为研究内容,通过问卷调查与访谈相结合的方法收集沼气池的使用以及废气排放方面的基础资料,发现大部分沼气池在使用过程中都存在沼气废气排放的问题,并且都没有采取处理措施。本文利用自行设计的简易沼气废气燃烧装置进行了废气处理模拟实验,通过气相色谱仪测定处理前和处理后的甲烷含量,并依此来判断处理装置的处理效果。结果显示,废气处理装置未开启时,排放的沼气废气中甲烷含量高达57%,经过废气处理装置处理后甲烷含量明显降低为0.035%。本研究成果对实现农村沼气生态发展、实现节能减排目标等都具有重要的指导和借鉴意义。 展开更多

关键词 沼气废气 节能减排 废气处理装置

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4万t／a硫磺回收及尾气处理装置试生产总结

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作者 何悦东 《齐鲁石油化工》 1994年第3期199-202,共4页

４万ｔ／ａ硫磺回收及尾气处理装置试生产总结何悦东（齐鲁石化公司胜利炼油厂）１装置概况４万ｔ／ａ硫磺回收及尾气处理装置是胜利炼油厂重油加氢工程的重要组成部分，于１９９１年７月建成，同年１１月投料试车。装置的设计能力为每... ４万ｔ／ａ硫磺回收及尾气处理装置试生产总结何悦东（齐鲁石化公司胜利炼油厂）１装置概况４万ｔ／ａ硫磺回收及尾气处理装置是胜利炼油厂重油加氢工程的重要组成部分，于１９９１年７月建成，同年１１月投料试车。装置的设计能力为每小时处理酸性气４０７２Ｎｍ’（含Ｈ... 展开更多

关键词 重油 加氢 硫磺回收 废气处理装置

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MW-156/(0.08-22)-X型往复式压缩机连杆螺栓断裂故障分析

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作者 何林林 杨巍 +2 位作者 李玉军 詹金磊 吴佳徽 《石油化工设备》 CAS 2013年第3期110-113,共4页

针对某厂废气处理装置产品气往复式压缩机连杆螺栓断裂故障,从机组安装及运行出发,结合拆检情况、螺栓断口及受力等综合分析了故障产生原因。

关键词 废气处理装置 往复式压缩机 连杆螺栓 断裂

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LNG燃料船推广的围城之困 被引量：1

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作者 连俊鸿 《中国船检》 2012年第4期64-65,共2页

面对日益严苛的船舶排放要求，船东面临着几个选择，使用价格高昂的低硫燃油，实际对减少CO2排放作用不大、安装复杂的废气处理装置，或使用LNG燃料。我国“十二五”规划已经明确提出，要大力推进船舶节能和使用绿色能源，重点发展LNG... 面对日益严苛的船舶排放要求，船东面临着几个选择，使用价格高昂的低硫燃油，实际对减少CO2排放作用不大、安装复杂的废气处理装置，或使用LNG燃料。我国“十二五”规划已经明确提出，要大力推进船舶节能和使用绿色能源，重点发展LNG作为主要的船用清洁能源。毫无疑问，LNG作为船用燃料拥有美好的前景，但是目前在推广上却面临着不小的阻碍。 展开更多

关键词 船用燃料 船舶节能 LNG 废气处理装置 CO2排放 排放要求 绿色能源 清洁能源

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明星车的"心脏"——菲亚特新型1.3L柴油机

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作者 钱人一 《世界汽车》 2004年第3期22-24,共3页

如果满足从2005年开始在欧洲生效的欧洲IV号排放标准的有害物限值，就要在柴油机上采取一系列在前些年已经开发成产品的措施。大众汽车公司已经证实，在质量小于1400kg的轿车中。

关键词 菲亚特汽车 柴油机 排放标准 喷油设备 气缸体 废气处理装置

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开式脱硫系统订货、设计及装船注意事项

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作者 张尚凌 孙小俊 +2 位作者 姜克峰 刘新界 申耀强 《中国船检》 2022年第8期72-76,共5页

船东要满足相关排放控制区要求有以下三种解决方案,一是燃料前处理方式,采用专门的工艺对燃油进行脱硫处理,船舶直接使用硫含量符合法规规定的燃油,比如使用低硫馏分油、生物柴油、混合燃油等。二是废气后处理方式,通过安装废气处理装置... 船东要满足相关排放控制区要求有以下三种解决方案,一是燃料前处理方式,采用专门的工艺对燃油进行脱硫处理,船舶直接使用硫含量符合法规规定的燃油,比如使用低硫馏分油、生物柴油、混合燃油等。二是废气后处理方式,通过安装废气处理装置,把废气中的SOx清除,达到与使用低硫燃油等效的减排效果,比如安装EGC系统。三是替代燃料,船舶使用液化天然气(LNG)等清洁燃料,由于天然气燃料含硫量很低。 展开更多

关键词 天然气燃料 废气处理装置 排放控制区 脱硫处理 后处理方式 清洁燃料 替代燃料 减排效果

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辅助设备 核心功能

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《中国印刷》 2005年第5期84-84,共1页

MEGTEC Systems公司是世界著名的轮转印刷机核心辅助设备专业制造公司，致力于为轮转印刷机用户提供技术先进的接纸机、张力控制系统、烘箱、冷却辊站和环保型废气处理装置等产品及优质的服务。作为一家全球化企业，MEGTEC Systems公司... MEGTEC Systems公司是世界著名的轮转印刷机核心辅助设备专业制造公司，致力于为轮转印刷机用户提供技术先进的接纸机、张力控制系统、烘箱、冷却辊站和环保型废气处理装置等产品及优质的服务。作为一家全球化企业，MEGTEC Systems公司的产品在世界各地的报纸印刷、商业印刷及相关领域中被广泛使用。 展开更多

关键词 辅助设备 Systems公司 心功能 轮转印刷机 张力控制系统 废气处理装置 报纸印刷 商业印刷 接纸机 环保型 冷却辊 全球化 世界 产品

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