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题名薄膜涂覆过程中缺陷的形成及其防治措施的研究进展
被引量：4
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作者
刘赵淼
金艳梅
刘华敏
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机构
北京工业大学机械工程与应用电子技术学院
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出处
《安全与环境学报》
CAS
CSCD
2008年第3期135-139,共5页
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基金
国家自然科学基金项目(10502002)
北京市人事局"留学归国人员择优资助项目"
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文摘
薄膜缺陷会降低薄膜器件的使用性能,因此薄膜缺陷的产生机理和防治措施研究非常重要。综述了薄膜涂覆中缺陷的分类及其形成,分析了产生缺陷的影响因素,并对主要缺陷的防治方法作了总结。对防治方法进行机理分析,总结了去除非连续缺陷过程中的注意原则。结果表明,薄膜缺陷分为连续性缺陷和非连续性缺陷,连续性缺陷最重要的影响因素是表面溶液的蒸发和表面张力的变化,可以通过设计涂覆溶液和涂覆模具最大程度地避免。非连续性缺陷中最主要的缺陷是气泡和杂质,气泡可以通过去气和去泡两种方式去除,杂质可以过滤去除。研究表明薄膜涂敷中缺陷防治需要从试验和数值计算着手,结合理论研究探讨产生缺陷的内在机理。
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关键词
应用流体力学
涂覆
薄膜
缺陷
防治措施
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Keywords
applied fluid mechanics
coating
thin fihn
defect formation
prevention
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分类号
O368
[理学—流体力学]
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题名关于原子吸收分析中Poiseuille公式的研究
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作者
孙汉文
刘占峰
赵维
杨学东
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机构
河北大学化学系
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出处
《高等学校化学学报》
SCIE
EI
CAS
1986年第4期319-321,共3页
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文摘
关于某些参数对原子吸收喷雾速率的影响,通常应用流体力学的Poiseuille公式(Q_(1)=πR_(4)ΔP/3ηL)来描述。但是目前的文献对公式中ΔP的解释尚欠具体和统一。诸如压力、有效压力差、引起液体流动的压力、溶液对毛细管内壁的有效压力等,这些解释都没有明确而具体地反映原子吸收雾化过程的实际情况。目前更无深入研究ΔP对喷雾速率Q_(1)影响的报导。
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关键词
原子吸收分析
液体流动
应用流体力学
有效压力
雾化过程
毛细管
喷雾
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分类号
O35
[理学—流体力学]
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