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题名基于一阶彩虹区域高斯光散射的液滴测量
被引量：3
- 1
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作者
孙辉
于海涛
沈建琪
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机构
上海理工大学理学院
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第1期156-164,共9页
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基金
国家自然基金(Nos.51506129
51476104)资助~~
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文摘
为实现雾化过程中局域内单液滴的测量,采用德拜级数展开研究了高斯光照射下球形液滴一阶彩虹区域的散射光强分布,以及高斯光束腰大小对光强分布峰值角度的影响.根据德拜级数展开计算的散射光强分布反演液滴的折射率和粒径,证明了根据高斯光的彩虹散射反演液滴信息的可行性.基于广义洛伦兹-米氏理论计算一阶彩虹区域的总光强分布,根据总光强分布反演液滴折射率和粒径,讨论了高斯光束位置对反演液滴信息的影响.对于半径在200~1 000μm区间的液滴,高斯光束位于中心入射时,反演折射率的误差小于2.38×10-4,粒径的相对误差在-3.31%~3.31%之间.与采用平行光彩虹技术相比,采用高斯光束为入射光可以得到较高的光能聚集区,较好地定义测量区大小,既可以有效避免多个液滴同时出现在测量区的情况、减小颗粒之间复散射的影响,又可以提高信号强度.
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关键词
散射
颗粒特性
广义洛伦兹-米氏理论
彩虹图样
德拜级数展开
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Keywords
Scattering
Particles characterization
Rainbow pattern
Generalized Lorenz-Mie theory
Debye series
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分类号
O436
[机械工程—光学工程]
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题名MEMS器件中的微体缺陷检测研究
被引量：1
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作者
李颖鹏
尤政
李滨
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机构
清华大学精密仪器与机械学系
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2002年第4期351-355,共5页
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文摘
为实现对硅基材料和MEMS器件内微体缺陷的无损、高效和准确检测 ,在研究广义洛仑兹 米氏散射理论的基础上 ,针对硅基材料和MEMS器件的物理特点 ,对球形缺陷与红外激光相互作用在非垂直方向散射光强分布特点进行了研究和计算机仿真 ,提出利用红外激光背散射分布分析对硅基材料和MEMS器件内部缺陷进行检测的方法 ,并通过实验验证了该方法的有效性。
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关键词
硅基材料
光强分布分析
检测
微体缺陷
广义洛仑兹-米氏散射理论
背散射
MEMS
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Keywords
Silicic material
\ MEMS
\ Micro bulk defect
\ Generalized Lorenz-Mie Scattering theory
\ Back scattering
\ Light intensity distribution analysis
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分类号
TN307
[电子电信—物理电子学]
TN304.07
[电子电信—物理电子学]
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