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平面二自由度并联执行机构的设计与实现
被引量：
1
1
作者
吴学忠
吴宇列
李圣怡
《国防科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第1期40-43,共4页
介绍了作者研制的一种用于半导体制造设备上的x-y并联执行机构。通过增加一个冗余运动链 ,使得该机构在工作空间内没有奇异点。该机构的最大特点是可以大大减少现有机构的体积 ,并具有较高的刚度 ,可以在高速运动条件下具有较高的运动...
介绍了作者研制的一种用于半导体制造设备上的x-y并联执行机构。通过增加一个冗余运动链 ,使得该机构在工作空间内没有奇异点。该机构的最大特点是可以大大减少现有机构的体积 ,并具有较高的刚度 ,可以在高速运动条件下具有较高的运动精度和跟踪性能。实验结果表明 ,该系统的轨迹跟踪误差均低于 0 5mm。
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关键词
平面二自由度
并联执行机构
奇异性
冗余
设计
半导体制造设备
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职称材料
题名
平面二自由度并联执行机构的设计与实现
被引量：
1
1
作者
吴学忠
吴宇列
李圣怡
机构
国防科技大学机电工程与自动化学院
出处
《国防科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第1期40-43,共4页
基金
海外青年学者合作研究基金! (5 0 0 2 95 0 1)
文摘
介绍了作者研制的一种用于半导体制造设备上的x-y并联执行机构。通过增加一个冗余运动链 ,使得该机构在工作空间内没有奇异点。该机构的最大特点是可以大大减少现有机构的体积 ,并具有较高的刚度 ,可以在高速运动条件下具有较高的运动精度和跟踪性能。实验结果表明 ,该系统的轨迹跟踪误差均低于 0 5mm。
关键词
平面二自由度
并联执行机构
奇异性
冗余
设计
半导体制造设备
Keywords
parallel manipulator
singularity
redundancy
分类号
TH112 [机械工程—机械设计及理论]
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
平面二自由度并联执行机构的设计与实现
吴学忠
吴宇列
李圣怡
《国防科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
1
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