透射电镜样品的厚度是透射电镜(TEM)表征中一个重要参数,快速准确地判断样品厚度是制备高质量样品的前提。本文通过使用聚焦离子束(FIB)制备了带有厚度梯度的透射电镜样品(Si、Sr Ti O3和La Al O3),并提出两种制样过程中快速判断厚度的...透射电镜样品的厚度是透射电镜(TEM)表征中一个重要参数,快速准确地判断样品厚度是制备高质量样品的前提。本文通过使用聚焦离子束(FIB)制备了带有厚度梯度的透射电镜样品(Si、Sr Ti O3和La Al O3),并提出两种制样过程中快速判断厚度的方法。第一种通过扫描电子显微镜(SEM)的衬度变化经验地判断样品的厚度;第二种是用FIB在样品边缘切一个斜边,通过SEM测量斜边侧面的宽度用几何方法推断样品的厚度。这两种方法都通过会聚束电子衍射(CBED)和电子能量损失谱(EELS)测量的厚度作为检验标准。对比认为,样品较薄时用SEM衬度测厚比较合适;样品比较厚时用几何方法测量比较直接。展开更多
透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,TEM)具有很高的分辨率和放大倍数高,广泛应用于实验教学和科学研究各个领域。透射电子显微镜结合不同的附件(X射线能谱分析(EDS)、电子能量损失谱(EELS)),可以同时提供形貌、成分、结...透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,TEM)具有很高的分辨率和放大倍数高,广泛应用于实验教学和科学研究各个领域。透射电子显微镜结合不同的附件(X射线能谱分析(EDS)、电子能量损失谱(EELS)),可以同时提供形貌、成分、结构信息,它可以揭示物质内部的微细观结构,是人们了解、认识事物微观结构不可缺少的工具。观察透射电镜的最终目的是得到清晰的照片,而样品的制备是关键。透射电镜样品的制备质量,直接影响到样品的观察效果与分析结果。本文以JEM-2100型透射电子显微镜为例,从样品制备方法的选择、载网与支持膜的选用、样品防污染措施及电镜操作等几方面入手,详细地介绍高质量的透射电镜照片的拍摄经验,为透射电镜相关工作人员提供技术参考。展开更多
文摘透射电镜样品的厚度是透射电镜(TEM)表征中一个重要参数,快速准确地判断样品厚度是制备高质量样品的前提。本文通过使用聚焦离子束(FIB)制备了带有厚度梯度的透射电镜样品(Si、Sr Ti O3和La Al O3),并提出两种制样过程中快速判断厚度的方法。第一种通过扫描电子显微镜(SEM)的衬度变化经验地判断样品的厚度;第二种是用FIB在样品边缘切一个斜边,通过SEM测量斜边侧面的宽度用几何方法推断样品的厚度。这两种方法都通过会聚束电子衍射(CBED)和电子能量损失谱(EELS)测量的厚度作为检验标准。对比认为,样品较薄时用SEM衬度测厚比较合适;样品比较厚时用几何方法测量比较直接。
文摘透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,TEM)具有很高的分辨率和放大倍数高,广泛应用于实验教学和科学研究各个领域。透射电子显微镜结合不同的附件(X射线能谱分析(EDS)、电子能量损失谱(EELS)),可以同时提供形貌、成分、结构信息,它可以揭示物质内部的微细观结构,是人们了解、认识事物微观结构不可缺少的工具。观察透射电镜的最终目的是得到清晰的照片,而样品的制备是关键。透射电镜样品的制备质量,直接影响到样品的观察效果与分析结果。本文以JEM-2100型透射电子显微镜为例,从样品制备方法的选择、载网与支持膜的选用、样品防污染措施及电镜操作等几方面入手,详细地介绍高质量的透射电镜照片的拍摄经验,为透射电镜相关工作人员提供技术参考。
