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题名基于双内十字定子的压电宏微平面运动台研究
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作者
胡志鹏
李晨捷
潘文强
丁切
贺红林
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机构
南昌航空大学航空制造工程学院
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出处
《噪声与振动控制》
北大核心
2025年第2期243-249,共7页
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基金
国家自然科学基金资助项目(52165008)
江西省自然科学基金重点资助项目(NO.20202ACB202003)。
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文摘
为满足高精度平面运动的需要,提出一种由双内十字定子驱动的平面运动驱动器。利用定子的面内、面外弯振模态在驱动足处耦合形成的椭圆轨迹,从而推动动子沿x、y方向运动。本文阐述作动器的运行机理,基于ANSYS建立定子有限元模型,优化定子结构尺寸,简并工作模态频率并使其分别为27 457.5、27 704、27 601.3 Hz,进行谐响应分析、瞬态分析和运动调节特性分析。仿真结果表明在激励电压为250 V、频率27 344 Hz时,定子驱动足上x、y、z向振幅分别为1.5、1.4、1.6μm,模拟出椭圆轨迹,对该作动器具有良好的运动特性加以验证,并给出定子的夹持方案,设计出作动器装配结构。
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关键词
振动与波
平面运动驱动器
双内十字式定子
机电耦合模型
动力学分析
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Keywords
vibration and wave
planar motion actuator
dual-inner-cross stator
electromechanical coupling model
dynamics analysis
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分类号
TM3
[电气工程—电机]
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