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自聚焦平面微透镜阵列的制作及其基本特性
被引量:
6
1
作者
刘德森
高应俊
+4 位作者
朱传贵
宋光年
高凤
姚胜利
闫国安
《高技术通讯》
CAS
CSCD
1996年第4期35-39,共5页
讨论了自聚焦平面微透镜阵列的制作工艺及其基本特性。
关键词
自聚焦
平面微透镜阵列
制造
光学仪器
在线阅读
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职称材料
变折射率方形孔径平面微透镜阵列的聚焦和散焦特性
2
作者
师红燕
周素梅
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第8期49-53,共5页
为提高变折射率平面微透镜阵列的填充率,利用光刻工艺和离子交换技术制备了填充率近达100%的方形孔径平面微透镜阵列,并对其透镜元及相邻透元间间隙构成的角落区域的成像进行了理论和实验研究.根据变折射率介质光线追迹法,利用MATLAB软...
为提高变折射率平面微透镜阵列的填充率,利用光刻工艺和离子交换技术制备了填充率近达100%的方形孔径平面微透镜阵列,并对其透镜元及相邻透元间间隙构成的角落区域的成像进行了理论和实验研究.根据变折射率介质光线追迹法,利用MATLAB软件模拟,发现在透镜元区域和角落区域成像特性相反.成像系统测试表明:由于透镜元区域和角落区域的折射率分布变化规律不同,透镜元与角落区域对物体分别成倒立实像和正立虚像;透镜阵列可实现聚焦和散焦功能;角落区域得到充分的离子交换使得间隙足够小,形成了从该区域中心向外逐渐增大的新型梯度折射率模型.
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关键词
变折射率光学
散焦特性
光线轨迹
平面微透镜阵列
填充率
方形孔径
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职称材料
离子交换时间对平面微透镜阵列的透镜元光学特性的影响
被引量:
1
3
作者
谢意木男
蒋小平
+1 位作者
周素梅
袁哲
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期301-309,共9页
采用光刻离子交换工艺制作了半径不同的圆形孔径变折射率平面微透镜阵列,在离子交换过程中分6个时段取样,测量不同开孔大小的变折射率平面微透镜阵列的离子交换深度、宽度和透镜元的焦距、畸变、数值孔径,发现离子交换宽度和深度之比随...
采用光刻离子交换工艺制作了半径不同的圆形孔径变折射率平面微透镜阵列,在离子交换过程中分6个时段取样,测量不同开孔大小的变折射率平面微透镜阵列的离子交换深度、宽度和透镜元的焦距、畸变、数值孔径,发现离子交换宽度和深度之比随着离子交换时间增长而减小,在z方向和r方向的离子平均扩散速率逐渐减小,且开孔半径小的变折射率平面微透镜阵列减小得更快;随着离子交换时间增长,两种孔径的变折射率平面微透镜阵列的焦距逐渐变短,且开孔半径小的焦距相对更短;不同开孔半径的变折射率平面微透镜阵列的数值孔径随着离子交换时间增长而变大,其畸变随着离子交换时间增长而减小。变折射率平面微透镜阵列的光学特性随离子交换时间而改变的规律,为不同光学系统中所需的变折射率平面微透镜阵列的制作提供参考。
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关键词
集成光学
平面微透镜阵列
离子扩散
焦距
数值孔径
畸变
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职称材料
光学元件测试及设备
4
《中国光学》
EI
CAS
1997年第3期88-89,共2页
TH703 97032020平面微透镜折射率分布的无损测量=Non-distructionmeasurements for index--distribution ofplanar microlenses[刊.中]/李如松,孙雨南,熊剑,崔芳,秦秉坤(北京理工大学光电工程系.北京(100081))//光子学报.—1996,25(Z1)....
TH703 97032020平面微透镜折射率分布的无损测量=Non-distructionmeasurements for index--distribution ofplanar microlenses[刊.中]/李如松,孙雨南,熊剑,崔芳,秦秉坤(北京理工大学光电工程系.北京(100081))//光子学报.—1996,25(Z1).-344-347将干涉条纹与光线追迹相结合。
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关键词
折射率分布
平面微透镜阵列
干涉条纹
无损测量方法
光子学
光线追迹
相结合
光电工程
元件测试
高功率激光系统
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职称材料
题名
自聚焦平面微透镜阵列的制作及其基本特性
被引量:
6
1
作者
刘德森
高应俊
朱传贵
宋光年
高凤
姚胜利
闫国安
机构
中国科学院西安光机所
出处
《高技术通讯》
CAS
CSCD
1996年第4期35-39,共5页
基金
863计划资助
文摘
讨论了自聚焦平面微透镜阵列的制作工艺及其基本特性。
关键词
自聚焦
平面微透镜阵列
制造
光学仪器
Keywords
Gradient index, Microlens array, Photolithographicion exchange
分类号
TH740.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
变折射率方形孔径平面微透镜阵列的聚焦和散焦特性
2
作者
师红燕
周素梅
机构
西南大学物理科学与技术学院
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第8期49-53,共5页
基金
重庆市基础与前沿研究计划项目(No.cstc2013jcyjA00016)
西南大学科技基金项目(No.SWUB2006034)资助
文摘
为提高变折射率平面微透镜阵列的填充率,利用光刻工艺和离子交换技术制备了填充率近达100%的方形孔径平面微透镜阵列,并对其透镜元及相邻透元间间隙构成的角落区域的成像进行了理论和实验研究.根据变折射率介质光线追迹法,利用MATLAB软件模拟,发现在透镜元区域和角落区域成像特性相反.成像系统测试表明:由于透镜元区域和角落区域的折射率分布变化规律不同,透镜元与角落区域对物体分别成倒立实像和正立虚像;透镜阵列可实现聚焦和散焦功能;角落区域得到充分的离子交换使得间隙足够小,形成了从该区域中心向外逐渐增大的新型梯度折射率模型.
关键词
变折射率光学
散焦特性
光线轨迹
平面微透镜阵列
填充率
方形孔径
Keywords
Gradient refractive index optics
Defocusing
Ray track
Planar microlens array
Fill factor
Square aperture
分类号
O435.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
离子交换时间对平面微透镜阵列的透镜元光学特性的影响
被引量:
1
3
作者
谢意木男
蒋小平
周素梅
袁哲
机构
西南大学物理科学与技术学院微纳结构光电子学重庆市重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期301-309,共9页
基金
重庆市基础与前沿研究计划项目(No.cstc2013jcyjA00016)
中央高校基本业务费专项资金(No.XDJK2016C123)
横向项目(No.4412100284)。
文摘
采用光刻离子交换工艺制作了半径不同的圆形孔径变折射率平面微透镜阵列,在离子交换过程中分6个时段取样,测量不同开孔大小的变折射率平面微透镜阵列的离子交换深度、宽度和透镜元的焦距、畸变、数值孔径,发现离子交换宽度和深度之比随着离子交换时间增长而减小,在z方向和r方向的离子平均扩散速率逐渐减小,且开孔半径小的变折射率平面微透镜阵列减小得更快;随着离子交换时间增长,两种孔径的变折射率平面微透镜阵列的焦距逐渐变短,且开孔半径小的焦距相对更短;不同开孔半径的变折射率平面微透镜阵列的数值孔径随着离子交换时间增长而变大,其畸变随着离子交换时间增长而减小。变折射率平面微透镜阵列的光学特性随离子交换时间而改变的规律,为不同光学系统中所需的变折射率平面微透镜阵列的制作提供参考。
关键词
集成光学
平面微透镜阵列
离子扩散
焦距
数值孔径
畸变
Keywords
Integrated optics
Planar microlens array
Ion-diffusion
Focal length
Numerical aperture
Distortion
分类号
O435.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
光学元件测试及设备
4
出处
《中国光学》
EI
CAS
1997年第3期88-89,共2页
文摘
TH703 97032020平面微透镜折射率分布的无损测量=Non-distructionmeasurements for index--distribution ofplanar microlenses[刊.中]/李如松,孙雨南,熊剑,崔芳,秦秉坤(北京理工大学光电工程系.北京(100081))//光子学报.—1996,25(Z1).-344-347将干涉条纹与光线追迹相结合。
关键词
折射率分布
平面微透镜阵列
干涉条纹
无损测量方法
光子学
光线追迹
相结合
光电工程
元件测试
高功率激光系统
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
自聚焦平面微透镜阵列的制作及其基本特性
刘德森
高应俊
朱传贵
宋光年
高凤
姚胜利
闫国安
《高技术通讯》
CAS
CSCD
1996
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
变折射率方形孔径平面微透镜阵列的聚焦和散焦特性
师红燕
周素梅
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
离子交换时间对平面微透镜阵列的透镜元光学特性的影响
谢意木男
蒋小平
周素梅
袁哲
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
光学元件测试及设备
《中国光学》
EI
CAS
1997
0
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职称材料
已选择
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