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基于多频磁场耦合的平面二维位移传感器被引量：1: 1; 作者杨继森庹万章 +2 位作者张静冯济琴卢渝《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期201-213,共13页; 针对目前光刻机、超精密数控机床等高端超精密装备对于精准平面定位的要求,提出了一种基于多频磁场耦合的平面二维位移传感器。传感器组成为定尺和动尺,其中定尺由导磁基体和X、Y方向励磁线圈构成,动尺由导磁基体和X、Y方向感应线圈构... 展开更多; 关键词二维位移传感器平面二维位移测量多频磁场耦合; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于平面驻波磁场的二维位移传感器测量原理与结构优化被引量：6: 2; 作者武亮王鑫达 +1 位作者童鹏徐是《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第9期225-235,共11页; 在芯片制造、智能制造、航空航天等领域,精密平面定位迫切需要平面两维度位移的同步独立精密测量。本文提出一种基于电磁感应原理的平面位移传感器,由动阵面和定阵面组成。定阵面由m×n个平面螺旋线圈阵列串联而成,通入交变励磁电... 展开更多; 关键词平面二维位移测量螺旋线圈平面驻波磁场 CORDIC算法; 在线阅读下载PDF 职称材料

平面二维时栅位移传感器的理论模型与误差分析被引量：7: 3; 作者刘小康李佳豪 +2 位作者彭凯王合文蒲红吉《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第12期111-121,共11页; 本文提出了一种平面二维位移测量方法,并研制出了一种新型的平面二维时栅位移传感器。首先,建立了平面二维时栅测量模型,采用一种离散化的电极编码阵列,实现了二维平面上的编码;其次,提出了一种测量信号解耦方法,通过对4块正交排列的动... 展开更多; 关键词平面二维位移测量位移传感器时栅信号解耦误差特性; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于正交双行波磁场的平面二维时栅位移传感器被引量：4: 4; 作者武亮阿岩琛 +2 位作者吴玉龙苏瑞鲁进《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第12期58-65,共8页; 针对半导体行业、航空航天等领域对于精密二维位移测量的迫切需求,提出了一种基于正交双行波磁场的平面二维时栅位移传感器。传感器由定尺和动尺组成,定尺由导磁基体和沿x、y方向排列的两励磁线圈组成,动尺由导磁基体和沿x、y方向排列... 展开更多; 关键词时栅平面二维位移测量正交双行波磁场; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于多频磁场耦合的平面二维位移传感器被引量：1: 1; 作者杨继森庹万章张静冯济琴卢渝; 机构重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心重庆理工大学汽车零部件先进制造技术教育部重点实验室重庆理工大学时栅传感及先进检测技术重点市重点实验室重庆理工大学电气与电子工程学院; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期201-213,共13页; 基金国家自然科学基金(52175454) 重庆市自然科学基金面上项目(CSTB2023NSCQ-MSX0382,cstc2021jcyj-msxmX0512) +1 种基金重庆理工大学研究生教育高质量发展行动计划资助成果(gzlcx20232136)资助。; 文摘针对目前光刻机、超精密数控机床等高端超精密装备对于精准平面定位的要求,提出了一种基于多频磁场耦合的平面二维位移传感器。传感器组成为定尺和动尺,其中定尺由导磁基体和X、Y方向励磁线圈构成,动尺由导磁基体和X、Y方向感应线圈构成。通过对X、Y方向励磁线圈通入正余弦励磁信号,在定尺上构建出多频磁场耦合的二维均匀磁场阵列,动尺感应出带有位移信息的电信号,经过理论推导和电磁仿真验证了多频磁场直接解耦差动结构和幅值调制解算方法的可行性,并对仿真误差进行分析,并优化了传感器结构。最后采用PCB工艺制作传感器样机并开展相关实验研究,实验结果表明:传感器在150 mm×150 mm的测量范围可对二维位移进行精确测量,其中X方向测量精度为±33.08μm,Y方向测量精度为±36.95μm,优化后的传感器样机X、Y方向原始对极内位移误差峰峰值在原有基础上降低了49.1%和50.7%。; 关键词二维位移传感器平面二维位移测量多频磁场耦合; Keywords two-dimensional displacement sensor planar two-dimensional displacement measurement multi-frequency magnetic field coupling; 分类号 TH7 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于平面驻波磁场的二维位移传感器测量原理与结构优化被引量：6: 2; 作者武亮王鑫达童鹏徐是; 机构重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第9期225-235,共11页; 基金国家自然科学基金(51827805,51875069) 重庆理工大学研究生创新项目(clgycx20202080)资助。; 文摘在芯片制造、智能制造、航空航天等领域,精密平面定位迫切需要平面两维度位移的同步独立精密测量。本文提出一种基于电磁感应原理的平面位移传感器,由动阵面和定阵面组成。定阵面由m×n个平面螺旋线圈阵列串联而成,通入交变励磁电信号时在测量平面产生平面驻波磁场。动阵面由四个螺旋线圈以2×2矩阵形式排列,感应出振幅随x轴和y轴位移变化的四路调制信号,并利用Cordic算法求解两维度位移量。本文首先介绍了传感器的工作原理,对电磁模型进行有限元分析,并对位移解算算法进行数值模拟。根据仿真结果对测量误差进行分析溯源,优化传感器结构。制作传感器样机开展了实验验证,验证了传感器结构和位移解耦方法的可行性。实验表明,传感器在节距内最大误差为48.7μm,分辨率为0.317μm,在147 mm×147 mm量程范围内,传感器线性度达到0.15%,为高精度电磁感应式平面二维位移传感器的进一步发展提供了理论支撑和实验指导。; 关键词平面二维位移测量螺旋线圈平面驻波磁场 CORDIC算法; Keywords two-dimensional displacement measurement spiral coil planar standing wave magnetic field Coordinate rotation digital computer algorithm; 分类号 TH7 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名平面二维时栅位移传感器的理论模型与误差分析被引量：7: 3; 作者刘小康李佳豪彭凯王合文蒲红吉; 机构重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第12期111-121,共11页; 基金国家自然科学基金(51905063) 国家自然科学基金(51935004)项目资助重庆市教委科学技术研究(KJQN201801127)。; 文摘本文提出了一种平面二维位移测量方法,并研制出了一种新型的平面二维时栅位移传感器。首先,建立了平面二维时栅测量模型,采用一种离散化的电极编码阵列,实现了二维平面上的编码;其次,提出了一种测量信号解耦方法,通过对4块正交排列的动尺电极上的感应信号进行线性运算,实现了对输出行波信号的解耦;建立了三维电场仿真模型并进行仿真分析,仿真结果验证了离散化电极编码的可行性和解耦运算方法的有效性;此外,通过仿真得到了平面二维时栅位移传感器的误差特性,其主要以4次误差为主,并且随着间隙的增大而衰减;最后,采用PCB工艺制造了传感器样机进行实验。实验表明:在300 mm×300 mm范围内,二维时栅传感器在X方向大量程误差为±8μm,Y方向大量程误差为±8.4μm,实现了可靠的二维位移测量。; 关键词平面二维位移测量位移传感器时栅信号解耦误差特性; Keywords planar two-dimensional displacement measurement displacement sensor time-grating signal decoupling error characteristic; 分类号 TH711 [机械工程—测试计量技术及仪器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于正交双行波磁场的平面二维时栅位移传感器被引量：4: 4; 作者武亮阿岩琛吴玉龙苏瑞鲁进; 机构重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心重庆理工大学时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第12期58-65,共8页; 基金国家自然科学基金面上项目(51875069) 重庆市自然科学基金面上项目(cstc2021jcyj-msxmX0375) +1 种基金重庆理工大学研究生创新项目(gzlcx20222052)资助; 文摘针对半导体行业、航空航天等领域对于精密二维位移测量的迫切需求,提出了一种基于正交双行波磁场的平面二维时栅位移传感器。传感器由定尺和动尺组成,定尺由导磁基体和沿x、y方向排列的两励磁线圈组成,动尺由导磁基体和沿x、y方向排列的两层感应线圈组成。当励磁线圈通入正余弦励磁信号时,在定尺上方产生分别沿x和y方向运动的正交双行波磁场。通过对感应线圈输出的感应电信号进行解算得到x和y方向的位移值。首先介绍了传感器的结构和工作原理,对传感器模型进行了电磁场仿真;然后对仿真误差进行溯源分析,并优化传感器结构;最后采用印刷电路板技术制作了传感器样机,并设计相应的电气系统进行实验验证。实验结果表明该传感器在160 mm×160 mm测量范围内能够实现平面二维位移测量,x方向节距内位移误差峰峰值为32.8μm,y方向节距内位移误差峰峰值为34.5μm。; 关键词时栅平面二维位移测量正交双行波磁场; Keywords time grating planar two-dimensional displacement measurement orthogonal dual travelling wave magnetic field; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于多频磁场耦合的平面二维位移传感器	杨继森庹万章张静冯济琴卢渝	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2024	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于平面驻波磁场的二维位移传感器测量原理与结构优化	武亮王鑫达童鹏徐是	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2021	6	在线阅读下载PDF 职称材料
3	平面二维时栅位移传感器的理论模型与误差分析	刘小康李佳豪彭凯王合文蒲红吉	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2020	7	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于正交双行波磁场的平面二维时栅位移传感器	武亮阿岩琛吴玉龙苏瑞鲁进	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2022	4	在线阅读下载PDF 职称材料