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柔性铰链微定位平台的设计
被引量：
60
1
作者
马立
谢炜
+1 位作者
刘波
孙立宁
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期338-345,共8页
设计了一种以平行板铰链机构进行导向,以桥式机构进行位移放大的新型压电陶瓷驱动微定位平台。应用弹性力学和材料力学理论建立该平台的桥式放大机构和平行板铰链机构的理论模型,分析了平台的驱动力、输出位移、刚度和固有频率,并运用Ma...
设计了一种以平行板铰链机构进行导向,以桥式机构进行位移放大的新型压电陶瓷驱动微定位平台。应用弹性力学和材料力学理论建立该平台的桥式放大机构和平行板铰链机构的理论模型,分析了平台的驱动力、输出位移、刚度和固有频率,并运用Matlab软件优化了桥式机构铰链长度、厚度,平行板铰链长度及厚度等几何参数,获得了微定位平台的最优值。对优化后的结果进行了有限元仿真,并搭建了测试系统对平台性能进行了测试。测试结果显示,理论分析与实验结果的最大误差为9.8%,有限元分析与实验结果的最大误差为4.2%,得到的结果验证了理论分析和有限元分析的正确性,实现了平台体积小,放大倍数高,位移输出大的设计目标。
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关键词
微定位平台
桥式
机构
平行板机构
柔性铰链
有限元分析
优化设计
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职称材料
题名
柔性铰链微定位平台的设计
被引量：
60
1
作者
马立
谢炜
刘波
孙立宁
机构
上海大学机电工程与自动化学院
苏州大学机器人与微系统研究中心
哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期338-345,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.50905105)
上海市自然科学基金资助项目(No.13ZR1415800)
上海市教育委员会科研创新资金资助项目(No.14YZ008)
文摘
设计了一种以平行板铰链机构进行导向,以桥式机构进行位移放大的新型压电陶瓷驱动微定位平台。应用弹性力学和材料力学理论建立该平台的桥式放大机构和平行板铰链机构的理论模型,分析了平台的驱动力、输出位移、刚度和固有频率,并运用Matlab软件优化了桥式机构铰链长度、厚度,平行板铰链长度及厚度等几何参数,获得了微定位平台的最优值。对优化后的结果进行了有限元仿真,并搭建了测试系统对平台性能进行了测试。测试结果显示,理论分析与实验结果的最大误差为9.8%,有限元分析与实验结果的最大误差为4.2%,得到的结果验证了理论分析和有限元分析的正确性,实现了平台体积小,放大倍数高,位移输出大的设计目标。
关键词
微定位平台
桥式
机构
平行板机构
柔性铰链
有限元分析
优化设计
Keywords
micro-positioning stage
bridge-type mechanism
parallel board mechanism
flexure hingeFinite Element Analysis（ FEA）
optimal design
分类号
TP242 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
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被引量
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1
柔性铰链微定位平台的设计
马立
谢炜
刘波
孙立宁
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
60
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